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脉冲激光沉积低内应力多层类金刚石膜
被引量：
1
1
作者
陆益敏
郭延龙
+3 位作者
黄国俊
黎伟
万强
唐璜
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017年第9期275-280,共6页
为解决类金刚石膜内应力极大的问题,利用很薄的岛状结构锗层与较厚的类金刚石层循环,设计并制备了具有低内应力的多层类金刚石膜。其中,类金刚石层为主要功能膜层,起到硬质保护和光学增透的作用;而锗层作为缓冲层,起到缓解纯类金刚石膜...
为解决类金刚石膜内应力极大的问题,利用很薄的岛状结构锗层与较厚的类金刚石层循环,设计并制备了具有低内应力的多层类金刚石膜。其中,类金刚石层为主要功能膜层,起到硬质保护和光学增透的作用;而锗层作为缓冲层,起到缓解纯类金刚石膜内应力过大的问题,同时由于锗层很薄,对整个膜层的机械性能和红外特性的影响很小。测试表明,制备的多层类金刚石膜内应力为2.14 GPa,比纯类金刚石膜降低了39%,通过了GJB2485-95《光学膜层通用规范》中的重摩擦测试;同时,其纳米硬度仍保持在47 GPa的高水平。该多层类金刚石膜可以作为实际应用的红外窗口保护膜。
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关键词
脉冲激光沉积
多层类金刚石膜
锗缓冲
层
低内应力
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职称材料
激光制备多层结构的软质基底耐磨类金刚石膜
2
作者
程勇
陆益敏
+5 位作者
黄国俊
万强
黎伟
韦尚方
田方涛
米朝伟
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期102-106,共5页
为提高金属铜软基底的耐磨、抗蚀能力,采用脉冲激光沉积技术制备了金属铜基底上的多层结构类金刚石保护膜;其中的碳化硅-类金刚石循环层避免了类金刚石膜层中内应力的累积,降低了功能类金刚石层破裂的风险,碳化硅持力层降低了软质铜基...
为提高金属铜软基底的耐磨、抗蚀能力,采用脉冲激光沉积技术制备了金属铜基底上的多层结构类金刚石保护膜;其中的碳化硅-类金刚石循环层避免了类金刚石膜层中内应力的累积,降低了功能类金刚石层破裂的风险,碳化硅持力层降低了软质铜基底与高硬度类金刚石层的硬度差,金属钛层则使得铜基底与上层碳化硅层牢固结合。实验测试表明,多层结构类金刚石保护膜在铜基底上附着牢固,可通过美军标MIL-48497A规定的重摩擦和国军标GJB150.5A-2009规定的高低温冲击试验,同时能够承受弱碱溶液的腐蚀;摩擦系数低、处于0.093以下,耐磨性能好、2h摩擦未见磨痕。针对不同金属基底特性改进工艺,该技术可应用于存在腐蚀性环境中机械工具的抗磨保护膜。
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关键词
脉冲激光沉积
多层
结构
类
金刚石
膜
摩擦性能
耐蚀性能
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职称材料
题名
脉冲激光沉积低内应力多层类金刚石膜
被引量：
1
1
作者
陆益敏
郭延龙
黄国俊
黎伟
万强
唐璜
机构
武汉军械士官学校光电技术研究所
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017年第9期275-280,共6页
基金
国家部委预先研究项目(51318060212)
文摘
为解决类金刚石膜内应力极大的问题,利用很薄的岛状结构锗层与较厚的类金刚石层循环,设计并制备了具有低内应力的多层类金刚石膜。其中,类金刚石层为主要功能膜层,起到硬质保护和光学增透的作用;而锗层作为缓冲层,起到缓解纯类金刚石膜内应力过大的问题,同时由于锗层很薄,对整个膜层的机械性能和红外特性的影响很小。测试表明,制备的多层类金刚石膜内应力为2.14 GPa,比纯类金刚石膜降低了39%,通过了GJB2485-95《光学膜层通用规范》中的重摩擦测试;同时,其纳米硬度仍保持在47 GPa的高水平。该多层类金刚石膜可以作为实际应用的红外窗口保护膜。
关键词
脉冲激光沉积
多层类金刚石膜
锗缓冲
层
低内应力
Keywords
pulsed laser deposition
multilayers diamond-like carbon film
germanium buffer layers
low inner-stress
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
激光制备多层结构的软质基底耐磨类金刚石膜
2
作者
程勇
陆益敏
黄国俊
万强
黎伟
韦尚方
田方涛
米朝伟
机构
陆军工程大学光电技术研究所
出处
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期102-106,共5页
基金
国家部委基金资助项目(012016017000B12503)
文摘
为提高金属铜软基底的耐磨、抗蚀能力,采用脉冲激光沉积技术制备了金属铜基底上的多层结构类金刚石保护膜;其中的碳化硅-类金刚石循环层避免了类金刚石膜层中内应力的累积,降低了功能类金刚石层破裂的风险,碳化硅持力层降低了软质铜基底与高硬度类金刚石层的硬度差,金属钛层则使得铜基底与上层碳化硅层牢固结合。实验测试表明,多层结构类金刚石保护膜在铜基底上附着牢固,可通过美军标MIL-48497A规定的重摩擦和国军标GJB150.5A-2009规定的高低温冲击试验,同时能够承受弱碱溶液的腐蚀;摩擦系数低、处于0.093以下,耐磨性能好、2h摩擦未见磨痕。针对不同金属基底特性改进工艺,该技术可应用于存在腐蚀性环境中机械工具的抗磨保护膜。
关键词
脉冲激光沉积
多层
结构
类
金刚石
膜
摩擦性能
耐蚀性能
Keywords
pulsed laser deposition
multi-layer diamond-like carbon film
tribological property
corrosion resistance
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
脉冲激光沉积低内应力多层类金刚石膜
陆益敏
郭延龙
黄国俊
黎伟
万强
唐璜
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
激光制备多层结构的软质基底耐磨类金刚石膜
程勇
陆益敏
黄国俊
万强
黎伟
韦尚方
田方涛
米朝伟
《国防科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
0
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职称材料
已选择
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