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多层状结构声表面波扭矩传感器研究
被引量：
2
1
作者
孟旭
赵青青
+2 位作者
李志鹏
王博男
张超
《森林工程》
北大核心
2021年第6期74-81,共8页
扭矩传感器是监测工程机械工作状态的重要部件,尤其对保证旋转机械及轴体的安全运行起着至关重要的作用。本文利COMSOL有限元仿真软件建立叉指换能器/铌酸锂/金刚石/硅的多层状结构仿真模型并进行特征频率与频域分析。通过仿真分析与实...
扭矩传感器是监测工程机械工作状态的重要部件,尤其对保证旋转机械及轴体的安全运行起着至关重要的作用。本文利COMSOL有限元仿真软件建立叉指换能器/铌酸锂/金刚石/硅的多层状结构仿真模型并进行特征频率与频域分析。通过仿真分析与实验结果表明:与现有石英单晶体制备的声表面波扭矩传感器相比,多层状结构的声表面波扭矩传感器波长更小、体积更小、特征频率可以达到2 GHz,机电耦合系数为5,扭矩灵敏度高,输出频率线性度好,完全适用于扭矩测量系统。
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关键词
声表面波
多层状结构
有限元分析
参数优化
扭矩传感器
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职称材料
题名
多层状结构声表面波扭矩传感器研究
被引量：
2
1
作者
孟旭
赵青青
李志鹏
王博男
张超
机构
东北林业大学交通学院
黑龙江东方学院机电工程学部
出处
《森林工程》
北大核心
2021年第6期74-81,共8页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金项目(2572018AB29)
中央高校基本科研业务费专项资金项目(2572019CP04)。
文摘
扭矩传感器是监测工程机械工作状态的重要部件,尤其对保证旋转机械及轴体的安全运行起着至关重要的作用。本文利COMSOL有限元仿真软件建立叉指换能器/铌酸锂/金刚石/硅的多层状结构仿真模型并进行特征频率与频域分析。通过仿真分析与实验结果表明:与现有石英单晶体制备的声表面波扭矩传感器相比,多层状结构的声表面波扭矩传感器波长更小、体积更小、特征频率可以达到2 GHz,机电耦合系数为5,扭矩灵敏度高,输出频率线性度好,完全适用于扭矩测量系统。
关键词
声表面波
多层状结构
有限元分析
参数优化
扭矩传感器
Keywords
Surface acoustic wave
layered structure
finite element analysis
optimization
torque sensor
分类号
S776.22 [农业科学—森林工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多层状结构声表面波扭矩传感器研究
孟旭
赵青青
李志鹏
王博男
张超
《森林工程》
北大核心
2021
2
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