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诱导透射滤光片监控误差的计算机模拟
1
作者
郑燕飞
唐晋发
何孟权
《浙江大学学报（工学版）》
EI
CAS
1987年第1期-,共6页
本文讨论了膜系控制误差模拟计算的方法,并利用此方法计算了控制误差对诱导透射滤光片特性的影响;对诱导透射滤光片的两种控制方法作了计算机模拟。模拟结果表明,诱导透射滤光片的直接监控具有较高的成品率。实验结果与理论模拟是符合的。
关键词
透射滤光片
控制方
法
计算
机模拟
计算
机
仿真
间隔
层
厚度
透射率
直接控制
法
在线阅读
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职称材料
题名
诱导透射滤光片监控误差的计算机模拟
1
作者
郑燕飞
唐晋发
何孟权
出处
《浙江大学学报（工学版）》
EI
CAS
1987年第1期-,共6页
文摘
本文讨论了膜系控制误差模拟计算的方法,并利用此方法计算了控制误差对诱导透射滤光片特性的影响;对诱导透射滤光片的两种控制方法作了计算机模拟。模拟结果表明,诱导透射滤光片的直接监控具有较高的成品率。实验结果与理论模拟是符合的。
关键词
透射滤光片
控制方
法
计算
机模拟
计算
机
仿真
间隔
层
厚度
透射率
直接控制
法
分类号
O48 [理学—固体物理]
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作者
出处
发文年
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1
诱导透射滤光片监控误差的计算机模拟
郑燕飞
唐晋发
何孟权
《浙江大学学报（工学版）》
EI
CAS
1987
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