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HfO_2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的Piranha溶液清洗被引量：4: 1; 作者陈上碧盛斌 +5 位作者邱克强刘正坤徐向东刘颖洪义麟付绍军《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期2106-2110,共5页; 为了提高HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅(PCG)的抗激光损伤性能,使用Piranha溶液(浓硫酸和双氧水的混合液)清洗PCG去除其制作工艺和使用过程中残留在表面的污染物,包括CHF3作为工作气体对HfO2进行反应离子束刻蚀生成的碳氟化合物及金... 展开更多; 关键词多层介质膜脉宽压缩光栅污染物 Piranha溶液扫描电子显微镜 X射线光电子能谱; 在线阅读下载PDF 职称材料

多层介质膜脉宽压缩光栅清洗方法研究被引量：2: 2; 作者邹溪晋云霞 +3 位作者孔钒宇王勇禄张益彬邵建达《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1285-1289,共5页; 采用SPM(Sulfuric-Peroxide Mixtures,98wt%H2SO4+30wt%H2O2)+兆声(方法1)和氧等离子体+HPM(Hydrochloric/Peroxide Mixture,37wt%HCl+30wt%H2O2+DIH2O)+兆声(方法2)两种清洗方法对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗,并对清洗前后样品的... 展开更多; 关键词多层介质膜脉宽压缩光栅氧等离子体 SPM HPM; 在线阅读下载PDF 职称材料

退火温度对宽带脉冲压缩光栅载体金属/介质多层高反膜的影响被引量：4: 3; 作者吴建波晋云霞 +4 位作者关贺元孔钒宇刘文文刘世杰易葵《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1087-1092,共6页; 分别以金(Au)作为金属层材料,氧化铪(HfO2)与氧化硅(SiO2)作为高低折射率层材料,利用物理气相沉积方法制备了用于宽带脉冲压缩光栅制作的金属/介质多层高反膜,研究了退火温度对其表面均方根粗糙度、反射率及抗化学清洗破坏能力的影响。... 展开更多; 关键词金属/介质多层膜脉冲压缩光栅退火化学清洗反射率; 在线阅读下载PDF 职称材料

多层介质膜脉冲压缩光栅激光损伤特性研究进展被引量：2: 4; 作者邱志方王敏辉 +1 位作者蒲云体马平《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期329-338,共10页; 本文结合国内外研究情况,概括性介绍了用于啁啾脉冲放大系统中的多层介质膜脉冲压缩光栅的激光损伤特性研究进展,包括多层介质膜的损伤、表面浮雕结构的损伤,以及介质膜光栅损伤的影响因素。在关于介质膜光栅激光损伤的影响因素中又分... 展开更多; 关键词多层介质膜脉冲压缩光栅激光损伤影响因素损伤阈值; 在线阅读下载PDF 职称材料

介质膜光栅槽形无损检测方法的研究被引量：4: 5; 作者陈新荣耿康吴建宏《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期423-425,共3页; 为了从理论上探究介质膜基底光刻胶光栅掩模槽形的检测方法,对此种光栅掩模建立了以C方法为理论基础的衍射效率理论计算的数学模型,并将从实际光栅掩模的SEM照片得出的光栅槽形参数带入到该模型中,得到了一系列-1级衍射光的光谱分布曲线... 展开更多; 关键词光栅多层介质膜脉冲压缩 C方法; 在线阅读下载PDF 职称材料

高抗激光损伤阈值光栅后处理抛光技术研究被引量：1: 6; 作者洪小兰姜晨《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第14期2071-2079,共9页; 脉冲压缩光栅是实现高能量激光的核心光学元器件,其制造过程中产生的表面污染物和微结构缺陷成为限制高功率激光系统发展的技术瓶颈,为了提升光栅的激光诱导损伤阈值,提出利用磁性复合流体进行脉冲压缩光栅(PCG)后处理抛光研究。对抛光... 展开更多; 关键词脉冲压缩光栅多层介质膜光栅磁性复合流体激光诱导损伤阈值表面形貌; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名HfO_2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的Piranha溶液清洗被引量：4: 1; 作者陈上碧盛斌邱克强刘正坤徐向东刘颖洪义麟付绍军; 机构中国科学技术大学国家同步辐射实验室; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期2106-2110,共5页; 基金国家高技术发展计划项目; 文摘为了提高HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅(PCG)的抗激光损伤性能,使用Piranha溶液(浓硫酸和双氧水的混合液)清洗PCG去除其制作工艺和使用过程中残留在表面的污染物,包括CHF3作为工作气体对HfO2进行反应离子束刻蚀生成的碳氟化合物及金属氟化物。对Piranha溶液的清洗温度、组成成分、清洗时间、清洗遍数等参数进行了系统研究,用扫描电子显微镜(SEM)观察清洗前后的PCG表面形貌,用X射线光电子能谱仪(XPS)检测清洗前后PCG表面的元素成分及其原子分数的变化,并分析了各残留污染物的去除机理。实验结果表明:Piranha溶液能有效去除PCG表面污染物,而且清洗温度越高,清洗遍数越多,对PCG表面残留污染物的去除效果越显著。在90℃下60min有效活性时间内,使用浓硫酸和双氧水体积比为2∶1的Piranha溶液清洗3遍以上,PCG表面残留的F元素的原子分数接近0.1%(XPS的分辨极限),达到良好的清洗效果。; 关键词多层介质膜脉宽压缩光栅污染物 Piranha溶液扫描电子显微镜 X射线光电子能谱; Keywords multilayer dielectric pulse compressor gratings contamination Piranha solution scanning eleclron microscope X ray photoelectron spectroscopy; 分类号 TH745 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多层介质膜脉宽压缩光栅清洗方法研究被引量：2: 2; 作者邹溪晋云霞孔钒宇王勇禄张益彬邵建达; 机构中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院强激光材料重点实验室中国科学院大学材料与光电研究中心上海科技大学物质科学与技术学院; 出处《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第12期1285-1289,共5页; 基金国家自然科学基金重点项目(11604352,61875212) 上海市科学技术委员会(16JC1420600)~~; 文摘采用SPM(Sulfuric-Peroxide Mixtures,98wt%H2SO4+30wt%H2O2)+兆声(方法1)和氧等离子体+HPM(Hydrochloric/Peroxide Mixture,37wt%HCl+30wt%H2O2+DIH2O)+兆声(方法2)两种清洗方法对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗,并对清洗前后样品的表面元素含量、衍射效率、表面粗糙度、表面温升以及激光损伤阈值等参数进行测量以评估两种清洗方法清洗效果。在入射角70°,脉宽12 ns,s偏振,波长1064 nm的激光辐照下,经过清洗方法1清洗后的光栅样品单脉冲激光损伤阈值为7.55 J/cm2,而方法2清洗后的样品损伤阈值为5.32 J/cm2。另外,虽然经过方法2清洗后样品表面杂质含量更低,但是在衍射效率、表面粗糙度和表面温升都劣于经方法1清洗后的样品,进一步分析发现方法2中氧等离子体清洗过程引入的Fe元素影响了其样品损伤性能和温升性能。因此,SPM清洗方法可以作为多层介质膜脉宽压缩光栅提升抗激光损伤性能的优化清洗方案。; 关键词多层介质膜脉宽压缩光栅氧等离子体 SPM HPM; Keywords multilayer dielectric pulse compression grating oxygen plasma SPM HPM; 分类号 TH745 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名退火温度对宽带脉冲压缩光栅载体金属/介质多层高反膜的影响被引量：4: 3; 作者吴建波晋云霞关贺元孔钒宇刘文文刘世杰易葵; 机构中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院大学; 出处《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1087-1092,共6页; 基金国家自然科学基金重点项目(1070029 1104295)~~; 文摘分别以金(Au)作为金属层材料,氧化铪(HfO2)与氧化硅(SiO2)作为高低折射率层材料,利用物理气相沉积方法制备了用于宽带脉冲压缩光栅制作的金属/介质多层高反膜,研究了退火温度对其表面均方根粗糙度、反射率及抗化学清洗破坏能力的影响。实验结果表明:退火前后样品表面均方根粗糙度变化很小;提高退火温度能提高金属/介质多层膜的抗化学清洗破坏能力,但反射率会随之下降。250℃退火10 h后金属/介质多层膜不仅可以承受住化学清洗过程,而且反射率下降也比较小,可以作为金属/介质多层膜的最佳退火工艺。; 关键词金属/介质多层膜脉冲压缩光栅退火化学清洗反射率; Keywords metal/dielectric multilayers pulse compression gratings annealing chemical cleaning reflectivity; 分类号 TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名多层介质膜脉冲压缩光栅激光损伤特性研究进展被引量：2: 4; 作者邱志方王敏辉蒲云体马平; 机构武汉理工大学材料科学与工程学院武汉船用电力推进装置研究所中国工程物理研究院; 出处《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期329-338,共10页; 基金国家自然科学基金和中国工程物理研究院联合基金资助项目(U1430121); 文摘本文结合国内外研究情况,概括性介绍了用于啁啾脉冲放大系统中的多层介质膜脉冲压缩光栅的激光损伤特性研究进展,包括多层介质膜的损伤、表面浮雕结构的损伤,以及介质膜光栅损伤的影响因素。在关于介质膜光栅激光损伤的影响因素中又分别介绍了槽型结构、制备工艺、激光参数、脉冲数量、热应力和杂质缺陷对其抗激光损伤阈值的影响。最后,从结构设计、制备工艺以及后期处理等方面,介绍了提高多层介质膜光栅抗激光损伤阈值的常用方法。; 关键词多层介质膜脉冲压缩光栅激光损伤影响因素损伤阈值; Keywords multilayer dielectric film pulse compression grating laser damage influence factors damage threshold; 分类号 O484 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名介质膜光栅槽形无损检测方法的研究被引量：4: 5; 作者陈新荣耿康吴建宏; 机构苏州大学信息光学工程研究所; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期423-425,共3页; 文摘为了从理论上探究介质膜基底光刻胶光栅掩模槽形的检测方法,对此种光栅掩模建立了以C方法为理论基础的衍射效率理论计算的数学模型,并将从实际光栅掩模的SEM照片得出的光栅槽形参数带入到该模型中,得到了一系列-1级衍射光的光谱分布曲线,这些曲线的变化趋势与一定光栅槽形相对应,提出了通过测量衍射光的光谱分布曲线判断光栅槽形的无损检测方法。分析表明,该方法在光栅槽形的检测过程中,可以较为有效地判断光刻胶是否到底,而这一点在掩模的制作工艺中至关重要。; 关键词光栅多层介质膜脉冲压缩 C方法; Keywords grating multilayer dielectric stack pulse compression C method; 分类号 TN253 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高抗激光损伤阈值光栅后处理抛光技术研究被引量：1: 6; 作者洪小兰姜晨; 机构上海理工大学机械工程学院; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第14期2071-2079,共9页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.51475310) 机械系统与振动国家重点实验室课题资助(No.MSV202315)。; 文摘脉冲压缩光栅是实现高能量激光的核心光学元器件,其制造过程中产生的表面污染物和微结构缺陷成为限制高功率激光系统发展的技术瓶颈,为了提升光栅的激光诱导损伤阈值,提出利用磁性复合流体进行脉冲压缩光栅(PCG)后处理抛光研究。对抛光前后光栅样品的微观结构,表面形貌、表面粗糙度、衍射效率和激光诱导损伤阈值等参数进行测量,进行抛光前后光栅表面质量和光栅性能的评估。研究发现,磁性复合流体抛光能够在不破坏实际光栅结构的前提下抑制加工过程产生的毛刺,微结构缺陷等;经3 min抛光后,光栅顶部表面粗糙度从21.36 nm下降到3.73 nm;激光诱导损伤阈值从2.8 J/cm^(2)提高到3.8 J/cm^(2),抗激光损伤性能提升35.7%,且不影响衍射效率。实验结果表明:磁性复合流体抛光是一种可以提高光栅元件表面质量,提升光栅元件光学性能的有效方法。; 关键词脉冲压缩光栅多层介质膜光栅磁性复合流体激光诱导损伤阈值表面形貌; Keywords pulse compression gratings(PCG) multilayer dielectric grating(MDG) magnetic com⁃pound fluid(MCF) laser induced damage threshold(LIDT) surface topography; 分类号 TH745 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	HfO_2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的Piranha溶液清洗	陈上碧盛斌邱克强刘正坤徐向东刘颖洪义麟付绍军	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	多层介质膜脉宽压缩光栅清洗方法研究	邹溪晋云霞孔钒宇王勇禄张益彬邵建达	《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2019	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	退火温度对宽带脉冲压缩光栅载体金属/介质多层高反膜的影响	吴建波晋云霞关贺元孔钒宇刘文文刘世杰易葵	《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2014	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	多层介质膜脉冲压缩光栅激光损伤特性研究进展	邱志方王敏辉蒲云体马平	《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心	2017	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	介质膜光栅槽形无损检测方法的研究	陈新荣耿康吴建宏	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2005	4	在线阅读下载PDF 职称材料
6	高抗激光损伤阈值光栅后处理抛光技术研究	洪小兰姜晨	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2023	1	在线阅读下载PDF 职称材料