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多层介质膜光谱调制反射镜的反应离子束刻蚀误差容限 被引量:3
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作者 李铭 张彬 +2 位作者 戴亚平 王韬 范正修 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期761-766,共6页
在千焦拍瓦高功率放大系统设计中,激光脉冲的时空和光谱整形技术一直受到人们的广泛关注。利用反应离子束刻蚀等微纳超精细加工而成的多层电介质结构反射镜可在高功率条件下实现啁啾脉冲的光谱整形。在光谱整形介质结构反射镜的设计与... 在千焦拍瓦高功率放大系统设计中,激光脉冲的时空和光谱整形技术一直受到人们的广泛关注。利用反应离子束刻蚀等微纳超精细加工而成的多层电介质结构反射镜可在高功率条件下实现啁啾脉冲的光谱整形。在光谱整形介质结构反射镜的设计与制造中,需要根据要求的反射率来合理提出反应离子束刻蚀误差容限指标。推导出反应离子束刻蚀误差容限的解析表达式。针对神光Ⅱ千焦拍瓦高功率放大系统设计中提出的多层介质光谱调制反射镜,分析了调制结构反射镜各层加工的容许误差,确定了反应离子束刻蚀误差容限指标。研究表明:刻蚀高折射率介质的加工误差容限为35 nm;刻蚀低折射率介质的加工误差容限为62 nm。此外,还从使用需要和加工难易的角度,对刻蚀方案进行了讨论。就加工难易程度而言,优选反应离子束刻蚀方案,且采用刻蚀并残留低折射率介质的方案更容易实现。 展开更多
关键词 光学器件 光谱整形 多层介质膜光谱调制反射镜 微纳超精细加工 误差容限
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光控取向铁电液晶的多层介质膜反射镜空间光调制器
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作者 雨竹 《液晶与显示》 CAS CSCD 2001年第3期169-169,共1页
关键词 光控取向 铁电液晶 多层介质 调制 反射镜
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运动电极法光学介质膜层的直接发射光谱分析—ZnSe膜层中Zn、Se原子比的测定
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作者 谷松海 《光学机械》 CSCD 1989年第2期54-55,共2页
本文用滤纸吸附标准溶液制作标样,用发射光谱法对ZnSe膜层中Zn、Se原子比进行了测定。考察了测定条件,方法相对标准偏差为7.5%。
关键词 发射光谱分析 电极法 光学介质
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多层介质膜偏振无关光栅的研制 被引量:6
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作者 申碧瑶 曾理江 +1 位作者 李立峰 颜宏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期73-74,共2页
介绍了一种应用于光纤激光光谱合束的高衍射效率多层介质膜偏振无关光栅的设计及制作,给出了设计参数、制作流程和最终制作的偏振无关光栅的测量结果,在1.044-1.084μm波长范围内,实验测得的TE偏振光、TM偏振光的平均衍射效率分别为89.7... 介绍了一种应用于光纤激光光谱合束的高衍射效率多层介质膜偏振无关光栅的设计及制作,给出了设计参数、制作流程和最终制作的偏振无关光栅的测量结果,在1.044-1.084μm波长范围内,实验测得的TE偏振光、TM偏振光的平均衍射效率分别为89.7%,93.8%。 展开更多
关键词 衍射光栅 偏振无关光栅 多层介质光栅 光谱合束
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基于高光谱成像芯片中布拉格反射镜的设计和制备 被引量:3
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作者 王天鹤 刘舒扬 +1 位作者 张晨 贾晓东 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第10期218-224,共7页
针对传统高光谱成像系统体积质量大、光机结构复杂、成本高等缺点,亟待微小型化的需求,开展高光谱成像芯片中布拉格反射镜设计和制备的研究,根据布拉格分布膜系理论开发的多层膜系结构的模拟器,并根据结构设计完成了5层和7层膜系布拉格... 针对传统高光谱成像系统体积质量大、光机结构复杂、成本高等缺点,亟待微小型化的需求,开展高光谱成像芯片中布拉格反射镜设计和制备的研究,根据布拉格分布膜系理论开发的多层膜系结构的模拟器,并根据结构设计完成了5层和7层膜系布拉格反射镜的制作,利用可见/近红外分光光度计,对布拉格反射镜的反射率进行测量,与模拟器进行对比,由于布拉格镜的实际制备存在"瑕疵",导致误差≤3%,多层膜系结构模拟器可以指导实际布拉格反射镜的制备,为高光谱成像芯片化奠定基础。 展开更多
关键词 光谱成像芯片 布拉格反射镜设计 法珀腔多光束干涉 多层系结构
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光学薄膜中界面层和表面吸附层对相位延迟的影响 被引量:2
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作者 黄建兵 邵建达 范正修 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期105-108,共4页
多层介质反射镜在非正入射的时候,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移.根据空气与膜层、膜层之间的实际情况,建立了界面层和表面吸附层模型,并运用它分析相位延迟产生误差的原因.通过优化设计,入射角为54°,在1285~1345nm之间p,... 多层介质反射镜在非正入射的时候,两个不同的偏振态之间会产生不同的相移.根据空气与膜层、膜层之间的实际情况,建立了界面层和表面吸附层模型,并运用它分析相位延迟产生误差的原因.通过优化设计,入射角为54°,在1285~1345nm之间p,s波获得了270±1°的相移,同时也使反射率在99.5%以上.用离子束溅射技术制备相位延迟膜,用分光光度计测试了光谱特性和用椭偏仪测试了相位特性,在相应波段获得了262.4±1.8°的相移,同时也使反射率在99.6%以上.误差的主要来源是离子源工作特性会产生不均匀的过渡层和最外层会吸收一些水汽、灰尘等也产生表面过渡层.由误差分析得出了制备中过渡层的物理厚度和折射率的变化情况,最外层的厚度误差和折射率偏差是发生相移偏小的主要因素. 展开更多
关键词 界面 表面吸附 相位延迟 光学薄 介质反射镜 分光光度计 过渡 优化设计 溅射技术 相位特性 光谱特性 工作特性 变化情况 误差分析 厚度误差 反射 折射率 相移 正入射 偏振态 模型 入射角 延迟 离子束 椭偏仪 不均匀 离子源 制备 测试
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光纤激光共孔径光谱合成实现5kW高效优质输出 被引量:19
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作者 马毅 颜宏 +15 位作者 田飞 孙殷宏 赵磊 王树峰 谢庚承 李腾龙 王小军 梁小宝 王岩山 冉欢欢 彭万敬 柯伟伟 冯昱骏 唐淳 张凯 高清松 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期1-3,共3页
采用多层介质膜衍射光栅实现多路高功率光纤激光共孔径光谱合成有望成为光纤激光同时实现高功率、高效率和高光束质量的最具发展潜力的技术途径。搭建了一套基于双光栅色散补偿设计的5kW共孔径光谱合成系统。采用国产多层介质膜衍射光... 采用多层介质膜衍射光栅实现多路高功率光纤激光共孔径光谱合成有望成为光纤激光同时实现高功率、高效率和高光束质量的最具发展潜力的技术途径。搭建了一套基于双光栅色散补偿设计的5kW共孔径光谱合成系统。采用国产多层介质膜衍射光栅实现了5路kW级窄谱子束激光的高效优质共孔径光谱合成,最大输出功率达5.07kW,光束质量因子(M2)小于3,合成效率达到91.2%。初步研究表明:多层介质膜衍射光栅在较高功率水平、较宽光谱范围内均能保持较高衍射效率,是实现高功率光纤激光高效率光谱合成的重要器件;参与合成的子束自身的光束质量水平和线宽是影响合成输出光束质量的重要因素,光谱合成系统的输出功率主要受限于窄谱子束的输出功率和合成路数,增加窄谱子束的功率或合成路数均可进一步提升系统的输出功率。 展开更多
关键词 光纤激光 多层介质光栅 共孔径 光谱合成
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光纤激光器光谱合束技术综述 被引量:6
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作者 张大勇 郝金坪 +2 位作者 朱辰 张昆 张利明 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期517-521,共5页
对实现高功率、高光束质量输出的光纤激光器光谱合束技术进行了综述。针对体布拉格光栅合束和多层介质膜光栅合束两种技术方案进行介绍,从合束原理、高功率窄线宽光纤激光器单元、光栅器件以及合束方案等方面进行分析。同时,针对近年来... 对实现高功率、高光束质量输出的光纤激光器光谱合束技术进行了综述。针对体布拉格光栅合束和多层介质膜光栅合束两种技术方案进行介绍,从合束原理、高功率窄线宽光纤激光器单元、光栅器件以及合束方案等方面进行分析。同时,针对近年来国内外在光纤激光光谱合束技术领域的发展也进行了归纳性的介绍。 展开更多
关键词 光纤激光器 光谱合束 体布拉格光栅 多层介质光栅
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