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多孔Al_2O_3薄膜感湿材料的湿敏特性研究
1
作者
任豪
章佩娴
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第8期11-13,共3页
通过对阳极氧化多孔Al2 O3 薄膜感湿材料的制备工艺及其电容湿敏特性进行研究 ,将阳极氧化参数对多孔Al2 O3 薄膜的结构和形态的影响与多孔Al2 O3 薄膜作为湿度传感器感湿材料的湿敏特性联系起来进行分析 ,为优化制备工艺参数提供更充...
通过对阳极氧化多孔Al2 O3 薄膜感湿材料的制备工艺及其电容湿敏特性进行研究 ,将阳极氧化参数对多孔Al2 O3 薄膜的结构和形态的影响与多孔Al2 O3 薄膜作为湿度传感器感湿材料的湿敏特性联系起来进行分析 ,为优化制备工艺参数提供更充分的实验数据 ,使新型多孔Al2 O3 薄膜湿度传感器具有更好的感湿特性。
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关键词
感湿材料
湿敏特性
多孔al2o3薄膜
湿度传感器
阳极氧化
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职称材料
题名
多孔Al_2O_3薄膜感湿材料的湿敏特性研究
1
作者
任豪
章佩娴
机构
广州市光机电工程研究开发中心
中山大学物理系
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第8期11-13,共3页
文摘
通过对阳极氧化多孔Al2 O3 薄膜感湿材料的制备工艺及其电容湿敏特性进行研究 ,将阳极氧化参数对多孔Al2 O3 薄膜的结构和形态的影响与多孔Al2 O3 薄膜作为湿度传感器感湿材料的湿敏特性联系起来进行分析 ,为优化制备工艺参数提供更充分的实验数据 ,使新型多孔Al2 O3 薄膜湿度传感器具有更好的感湿特性。
关键词
感湿材料
湿敏特性
多孔al2o3薄膜
湿度传感器
阳极氧化
Keywords
p
o
r
o
us
al
2
o
3 thin film
humidity sens
o
r
an
o
dic
o
xidati
o
n
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
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作者
出处
发文年
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1
多孔Al_2O_3薄膜感湿材料的湿敏特性研究
任豪
章佩娴
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002
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