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题名一种新型光学传感器的理论和实验研究
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作者
张乐欣
张冉
李志全
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机构
燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室
燕山大学电气工程学院
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出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第10期129-133,共5页
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文摘
当多孔硅处于有机物蒸汽环境时,由于自身的多孔结构和巨大的比表面积,有机物蒸汽分子将迅速地吸附到多孔硅的表面,并在多孔硅的孔内发生毛细冷凝作用,这将引起多孔硅层有效折射率的变化,从而导致多孔硅微腔反射谱透射峰峰位的变化。本文主要利用Bruggeman介电常数近似理论与光子晶体传输矩阵的方法,建立了多孔硅微腔的理论传感模型。使用光学实验装置对多孔硅微腔进行了传感实验,证明多孔硅微腔可以实现对有机物蒸汽分子种类的检测,且分辨率较高,响应时间和恢复时间短,可重复性好。
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关键词
多孔硅光学微腔
传感器
传输矩阵
Bruggeman介电常数近似理论
毛细冷凝
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Keywords
PSMs
sensor
transfer matrix
Bruggman effective medium approximation theory
capillary condensation
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分类号
TP212.14
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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