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聚乙二醇对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响被引量：18: 1; 作者王娟张长瑞冯坚《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期435-441,共7页; 以聚乙二醇(PEG)为添加剂,正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用溶胶-凝胶法、结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.利用FTIR、TG-DTA、 AFM和椭偏仪研究了该SiO2薄膜的性能.与未加.PEG的SiO2薄膜相比,加入PEG得到... 展开更多; 关键词纳米多孔二氧化硅薄膜溶胶-凝胶聚乙二醇低介电常数; 在线阅读下载PDF 职称材料

纳米多孔二氧化硅薄膜的制备与表征被引量：8: 2; 作者王娟冯坚 +1 位作者杨大祥张长瑞《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期54-56,共3页; 以正硅酸乙酯为原料,采用酸/碱两步溶胶-凝胶法、结合匀胶和超临界干燥等工艺在硅片上成功制备了纳米多孔二氧化硅薄膜.适合匀胶的二氧化硅溶胶的粘度范围为9～15mPa·s;多孔二氧化硅薄膜表面均匀平整,其厚度为400～1000nm;折射率为... 展开更多; 关键词纳米多孔二氧化硅薄膜溶胶-凝胶正硅酸乙酯低介电常数; 在线阅读下载PDF 职称材料

碱催化多孔二氧化硅薄膜的制备和性能表征被引量：14: 3; 作者殷明志姚熹张良莹《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期103-105,共3页; 　以水为介质,NH3·H2O为催化剂,丙三醇(C3H5(OH)3和聚乙烯醇(PVA)为添加剂,正硅酸乙脂(TEOS)溶胶凝胶工艺可制备纳米多孔二氧化硅薄膜。体系的H2O/TEOS>15,TEOS的水解聚合过程可通过添加剂效应,pH效应等控制。碱催化会使二氧... 展开更多; 关键词碱催化多孔二氧化硅薄膜制备性能表征; 在线阅读下载PDF 职称材料

纳米多孔二氧化硅薄膜的制备及其光学性质研究被引量：1: 4; 作者王娟张长瑞冯坚《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期55-57,共3页; 以正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用溶胶-凝胶法,结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺,在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.XRD和AFM表明该SiO2薄膜为无定形态,具有多孔网络结构,表面均匀平整,其SiO2基本粒子和孔隙的直径为30～40nm.利用椭偏光... 展开更多; 关键词纳米多孔二氧化硅薄膜制备方法光学性质溶胶-凝胶低介电常数椭偏光谱; 在线阅读下载PDF 职称材料

纳米多孔二氧化硅绝热薄膜的研究进展被引量：6: 5; 作者赵宗彦柳清菊 +1 位作者张瑾朱忠其《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1859-1863,共5页; 作为微电子机械系统(MEMS)技术中最有潜力的绝热材料,纳米多孔二氧化硅薄膜近年来引起了广泛的关注。研究表明其绝热性能与微观结构密切相关。综述了纳米多孔二氧化硅薄膜的制备方法、表征手段和绝热机理,并讨论了目前存在的一些问题和... 展开更多; 关键词纳米多孔二氧化硅薄膜绝热材料绝热机理; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名聚乙二醇对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响被引量：18: 1; 作者王娟张长瑞冯坚; 机构国防科技大学航天与材料工程学院新型陶瓷纤维及其复合材料国防科技重点实验室; 出处《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期435-441,共7页; 基金国防预研项目(41312040307); 文摘以聚乙二醇(PEG)为添加剂,正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用溶胶-凝胶法、结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.利用FTIR、TG-DTA、 AFM和椭偏仪研究了该SiO2薄膜的性能.与未加.PEG的SiO2薄膜相比,加入PEG得到的SiO2薄膜表面粗糙度增大,但孔隙率较高,介电常数可降至2.0以下.PEG参与并修饰了 TEOS的溶胶-凝胶过程.加入PEG制备的SiO2薄膜因含有Si-OH基团而呈亲水性,该薄膜经三甲基氯硅烷(TMCS)修饰后为疏水性.; 关键词纳米多孔二氧化硅薄膜溶胶-凝胶聚乙二醇低介电常数; Keywords nanoporous silica film sol-gel poly(ethylene glycol) low dielectric constant; 分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳米多孔二氧化硅薄膜的制备与表征被引量：8: 2; 作者王娟冯坚杨大祥张长瑞; 机构国防科学技术大学航天与材料工程学院; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期54-56,共3页; 基金国防预研项目资助项目(41312040307); 文摘以正硅酸乙酯为原料,采用酸/碱两步溶胶-凝胶法、结合匀胶和超临界干燥等工艺在硅片上成功制备了纳米多孔二氧化硅薄膜.适合匀胶的二氧化硅溶胶的粘度范围为9～15mPa·s;多孔二氧化硅薄膜表面均匀平整,其厚度为400～1000nm;折射率为1.09～1.24;介电常数为1.5～2.5.该多孔二氧化硅薄膜具有三维网络结构,二氧化硅微粒直径为10～20nm.; 关键词纳米多孔二氧化硅薄膜溶胶-凝胶正硅酸乙酯低介电常数; Keywords Dielectric properties of solids Microporous materials Nanostructured materials Refractive index Sol gels Spin coating Thin films; 分类号 TB321 [一般工业技术—材料科学与工程] TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名碱催化多孔二氧化硅薄膜的制备和性能表征被引量：14: 3; 作者殷明志姚熹张良莹; 机构西安交通大学电子材料及器件研究所; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期103-105,共3页; 文摘　以水为介质,NH3·H2O为催化剂,丙三醇(C3H5(OH)3和聚乙烯醇(PVA)为添加剂,正硅酸乙脂(TEOS)溶胶凝胶工艺可制备纳米多孔二氧化硅薄膜。体系的H2O/TEOS>15,TEOS的水解聚合过程可通过添加剂效应,pH效应等控制。碱催化会使二氧化硅的溶解度增大,也能使二氧化硅胶粒带负电荷,抑制了二氧化硅胶粒之间的聚合长大,而丙三醇与TEOS的水解中间Si(OR)4-x(OH)x结合,抑制其与二氧化硅胶粒的聚合。聚乙烯醇(PVA)能使二氧化硅溶胶具有网状结构,使二氧化硅溶胶易于成膜。该工艺制备的多孔二氧化硅薄膜具有纳米多孔结构。其Vicker硬度在600～800N/mm2,热导率<0.2W·m-1K-1。; 关键词碱催化多孔二氧化硅薄膜制备性能表征; Keywords sol-gel technique TEOS nanoporous silica film; 分类号 TN304.21 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳米多孔二氧化硅薄膜的制备及其光学性质研究被引量：1: 4; 作者王娟张长瑞冯坚; 机构国防科技大学航天与材料工程学院新型陶瓷纤维及其复合材料国防科技重点实验室; 出处《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心 2005年第6期55-57,共3页; 基金武器装备预研基金; 文摘以正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用溶胶-凝胶法,结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺,在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.XRD和AFM表明该SiO2薄膜为无定形态,具有多孔网络结构,表面均匀平整,其SiO2基本粒子和孔隙的直径为30～40nm.利用椭偏光谱仪测量了SiO2薄膜在波长245～1650nm的椭偏光谱,采用Si/cauchy/rough结构模型对该光谱进行了拟合,获得了SiO2薄膜的厚度和光学常数.SiO2薄膜的厚度为500～1100nm;折射率为1.13～1.21;孔隙率为56%～70%;介电常数为1.9～2.3.; 关键词纳米多孔二氧化硅薄膜制备方法光学性质溶胶-凝胶低介电常数椭偏光谱; 分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名纳米多孔二氧化硅绝热薄膜的研究进展被引量：6: 5; 作者赵宗彦柳清菊张瑾朱忠其; 机构云南大学材料科学与工程系; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1859-1863,共5页; 基金教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-04-0915); 文摘作为微电子机械系统(MEMS)技术中最有潜力的绝热材料,纳米多孔二氧化硅薄膜近年来引起了广泛的关注。研究表明其绝热性能与微观结构密切相关。综述了纳米多孔二氧化硅薄膜的制备方法、表征手段和绝热机理,并讨论了目前存在的一些问题和今后的发展方向。; 关键词纳米多孔二氧化硅薄膜绝热材料绝热机理; Keywords nanoporous silica films thermal insulating materials thermal insulating mechanism; 分类号 O484.4 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	聚乙二醇对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响	王娟张长瑞冯坚	《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2005	18	在线阅读下载PDF 职称材料
2	纳米多孔二氧化硅薄膜的制备与表征	王娟冯坚杨大祥张长瑞	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	8	在线阅读下载PDF 职称材料
3	碱催化多孔二氧化硅薄膜的制备和性能表征	殷明志姚熹张良莹	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	14	在线阅读下载PDF 职称材料
4	纳米多孔二氧化硅薄膜的制备及其光学性质研究	王娟张长瑞冯坚	《高技术通讯》 CAS CSCD 北大核心	2005	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	纳米多孔二氧化硅绝热薄膜的研究进展	赵宗彦柳清菊张瑾朱忠其	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	6	在线阅读下载PDF 职称材料