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微机电系统(ME MS)的仿真和模型分析(英文)
被引量：
3
1
作者
潘武
钟先信
刘积学
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第1期30-36,共7页
微机电系统 (MEMS)器件及系统仿真正日益受到MEMS研究者的重视。其仿真内容涉及力学、电子学、热学、光学、流体学等许多学科。MEMS和其他微系统可看作为一个多域物理系统。本文从方法学观点讨论了建模方法、计算机辅助模拟工具、多域...
微机电系统 (MEMS)器件及系统仿真正日益受到MEMS研究者的重视。其仿真内容涉及力学、电子学、热学、光学、流体学等许多学科。MEMS和其他微系统可看作为一个多域物理系统。本文从方法学观点讨论了建模方法、计算机辅助模拟工具、多域模型库以及不同仿真器的耦合问题。将电网络概念引入到不同域系统仿真中以及等效电路被应用到不同的物理域系统。对于系统模拟和仿真来说 ,元件模型库的建立非常重要 ,引入多端口元件 ,并用线性和非线性微分方程加以描述。另外 ,本文也简单分析了系统仿真中涉及的降阶问题、模型优化方法以及相关的仿真工具和仿真器间的耦合问题。
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关键词
多域系统仿真
广义网络
优化
模型库
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职称材料
题名
微机电系统(ME MS)的仿真和模型分析(英文)
被引量：
3
1
作者
潘武
钟先信
刘积学
机构
重庆邮电学院微光机电系统研究所
重庆大学微系统研究中心
四川压电与声光技术研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第1期30-36,共7页
基金
thedoctorscientificresearchinitiatingfundofChongqingUniversityofPostsandTelecommunications (ProjectNo .A2 0 0 2_36 )
文摘
微机电系统 (MEMS)器件及系统仿真正日益受到MEMS研究者的重视。其仿真内容涉及力学、电子学、热学、光学、流体学等许多学科。MEMS和其他微系统可看作为一个多域物理系统。本文从方法学观点讨论了建模方法、计算机辅助模拟工具、多域模型库以及不同仿真器的耦合问题。将电网络概念引入到不同域系统仿真中以及等效电路被应用到不同的物理域系统。对于系统模拟和仿真来说 ,元件模型库的建立非常重要 ,引入多端口元件 ,并用线性和非线性微分方程加以描述。另外 ,本文也简单分析了系统仿真中涉及的降阶问题、模型优化方法以及相关的仿真工具和仿真器间的耦合问题。
关键词
多域系统仿真
广义网络
优化
模型库
Keywords
multi-domain system simulation
generalized net works
optimization
model library
分类号
TN47 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微机电系统(ME MS)的仿真和模型分析(英文)
潘武
钟先信
刘积学
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003
3
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