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题名多叉指Rayleigh波器件的建模及特性研究
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作者
文常保
牛涛涛
王蒙
洪吉童
巨永锋
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机构
长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2019年第4期485-488,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60806043)
陕西省自然科学基础研究计划基金资助项目(2018JQ6056,2018XNCG-G-01)
中央高校教育教学改革专项基金资助项目(300103187051,300104283215)
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文摘
针对目前改变Rayleigh波器件中波的传播方向和强度较复杂的问题,提出了一种多叉指Rayleigh波器件结构和三维建模方案。该三维建模方案用有限元分析法去逼近实际器件的压电基片和叉指换能器等真实器件结构和尺寸。选取压电基片材料为128°YX-LiNbO3、叉指换能器为Al电极,分别对叉指换能器数目为4、6、8的多叉指Rayleigh波器件进行三维模型实验,验证了该器件的可行性。实验结果表明,多叉指Rayleigh波器件可以在不同角度激发Rayleigh波,该波只有x、y方向的质点位移分量,且质点的最大位移主要集中在器件表面的中心位置。此外,器件的模态频率和质点最大位移随着叉指换能器数目的增加而增大,由此产生的Rayleigh波强度和器件的混合性能也会增强。
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关键词
多叉指换能器
RAYLEIGH波
有限元分析
三维建模
模态分析
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Keywords
multi-interdigital transducer
Rayleigh wave
finite element analysis
three-dimensional modeling
modal analysis
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
TN602
[电子电信—电路与系统]
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