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薄膜生长初期多原子移动影响的模拟
被引量:
2
1
作者
宋晨路
刘涌
韩高荣
《浙江大学学报(理学版)》
CAS
CSCD
2003年第3期274-276,280,共4页
模拟了在低温底上沉积单层薄膜初期的表面形貌.提出了新的算法,实现了多个原子同时在沉积基底上移动的过程,克服了以往只能模拟基底上仅有一个运动原子的缺点,同时引入了沉积流量,并在此基础上讨论了移动步数、沉积流量等因素对生长的...
模拟了在低温底上沉积单层薄膜初期的表面形貌.提出了新的算法,实现了多个原子同时在沉积基底上移动的过程,克服了以往只能模拟基底上仅有一个运动原子的缺点,同时引入了沉积流量,并在此基础上讨论了移动步数、沉积流量等因素对生长的影响作用.模拟结果与实验相近,获得的花样具有分形特征.
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关键词
薄膜生长
计算机模拟
初期表面形貌
沉积流量
多原子移动
移动
步数
分形特征
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职称材料
题名
薄膜生长初期多原子移动影响的模拟
被引量:
2
1
作者
宋晨路
刘涌
韩高荣
机构
浙江大学材化学院
出处
《浙江大学学报(理学版)》
CAS
CSCD
2003年第3期274-276,280,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(69890230)
教育部优秀年轻教师基金资助项目(59872029).
文摘
模拟了在低温底上沉积单层薄膜初期的表面形貌.提出了新的算法,实现了多个原子同时在沉积基底上移动的过程,克服了以往只能模拟基底上仅有一个运动原子的缺点,同时引入了沉积流量,并在此基础上讨论了移动步数、沉积流量等因素对生长的影响作用.模拟结果与实验相近,获得的花样具有分形特征.
关键词
薄膜生长
计算机模拟
初期表面形貌
沉积流量
多原子移动
移动
步数
分形特征
Keywords
computer simulation
appearance in early stage
flux
motion of poly-atoms
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
薄膜生长初期多原子移动影响的模拟
宋晨路
刘涌
韩高荣
《浙江大学学报(理学版)》
CAS
CSCD
2003
2
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