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薄膜生长初期多原子移动影响的模拟 被引量:2
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作者 宋晨路 刘涌 韩高荣 《浙江大学学报(理学版)》 CAS CSCD 2003年第3期274-276,280,共4页
模拟了在低温底上沉积单层薄膜初期的表面形貌.提出了新的算法,实现了多个原子同时在沉积基底上移动的过程,克服了以往只能模拟基底上仅有一个运动原子的缺点,同时引入了沉积流量,并在此基础上讨论了移动步数、沉积流量等因素对生长的... 模拟了在低温底上沉积单层薄膜初期的表面形貌.提出了新的算法,实现了多个原子同时在沉积基底上移动的过程,克服了以往只能模拟基底上仅有一个运动原子的缺点,同时引入了沉积流量,并在此基础上讨论了移动步数、沉积流量等因素对生长的影响作用.模拟结果与实验相近,获得的花样具有分形特征. 展开更多
关键词 薄膜生长 计算机模拟 初期表面形貌 沉积流量 多原子移动 移动步数 分形特征
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