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模拟浮法在线工艺制备多功能TiN镀膜玻璃
被引量：
1
1
作者
鲍思权
姜宏
+2 位作者
赵会峰
张振华
王琦
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第5期752-756,847,共6页
本文模拟浮法玻璃在线CVD镀膜工艺,利用常压化学气相沉积小型镀膜机,以TiCl_4和NH_3作为反应物前驱体,成功地在玻璃表面镀制一层TiN薄膜,获得了具有高阻隔紫外及反射红外的多功能镀膜玻璃。对其性能进行分析显示:随着反应物NH3流量的增...
本文模拟浮法玻璃在线CVD镀膜工艺,利用常压化学气相沉积小型镀膜机,以TiCl_4和NH_3作为反应物前驱体,成功地在玻璃表面镀制一层TiN薄膜,获得了具有高阻隔紫外及反射红外的多功能镀膜玻璃。对其性能进行分析显示:随着反应物NH3流量的增加,TiN薄膜阻隔紫外线的性能逐渐提高,在近红外区的Drude型反射区域有所缩小,但其在高频近红外波段的反射率有所提高。当NH_3达到300sccm时,能够完全阻隔低于380nm的紫外线波段,反射红外线效果良好。随着基板移动速率的增大,在一定程度内可以提高薄膜对近红外线的反射能力,但阻隔紫外线的性能逐渐降低。
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关键词
CVD
镀膜
工艺
化学气相沉积法
多功能镀膜玻璃
阻隔紫外线
反射红外线
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职称材料
题名
模拟浮法在线工艺制备多功能TiN镀膜玻璃
被引量：
1
1
作者
鲍思权
姜宏
赵会峰
张振华
王琦
机构
海南省特种玻璃重点实验室海南大学
特种玻璃国家重点实验室海南中航特玻材料有限公司
海南中航特玻科技有限公司
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第5期752-756,847,共6页
基金
国家十二五支撑计划项目基金资助项目(2013BAJ15B00)
文摘
本文模拟浮法玻璃在线CVD镀膜工艺,利用常压化学气相沉积小型镀膜机,以TiCl_4和NH_3作为反应物前驱体,成功地在玻璃表面镀制一层TiN薄膜,获得了具有高阻隔紫外及反射红外的多功能镀膜玻璃。对其性能进行分析显示:随着反应物NH3流量的增加,TiN薄膜阻隔紫外线的性能逐渐提高,在近红外区的Drude型反射区域有所缩小,但其在高频近红外波段的反射率有所提高。当NH_3达到300sccm时,能够完全阻隔低于380nm的紫外线波段,反射红外线效果良好。随着基板移动速率的增大,在一定程度内可以提高薄膜对近红外线的反射能力,但阻隔紫外线的性能逐渐降低。
关键词
CVD
镀膜
工艺
化学气相沉积法
多功能镀膜玻璃
阻隔紫外线
反射红外线
Keywords
stimulating on-line coating process atmospheric pressure chemical vapor deposition
multifunctional coating glass
ultraviolet-shielding
reflecting infrared
分类号
TQ171.73 [化学工程—玻璃工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
模拟浮法在线工艺制备多功能TiN镀膜玻璃
鲍思权
姜宏
赵会峰
张振华
王琦
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2017
1
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