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多功能激光衍射测量仪
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《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期62-62,共1页
关键词 多功能激光衍射测量仪 非接触测量 测量精度 尺寸测量 形位公差
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基于无衍射姿态探针和全站仪组合测量空间隐藏坐标 被引量:13
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作者 马国鹭 曾国英 赵斌 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期363-370,共8页
针对大尺度空间中构件特征隐藏区的空间坐标测量,提出了一种基于无衍射光束的测量探针,并将该探针与全站仪结合构成了空间坐标组合测量系统。介绍了探针姿态测量系统和组合测量系统的结构与原理。测量时,首先将探针测头接触于被测点,并... 针对大尺度空间中构件特征隐藏区的空间坐标测量,提出了一种基于无衍射光束的测量探针,并将该探针与全站仪结合构成了空间坐标组合测量系统。介绍了探针姿态测量系统和组合测量系统的结构与原理。测量时,首先将探针测头接触于被测点,并用全站仪或激光跟踪仪瞄准探针的光学系统,测得探针的空间位置坐标。接着,使用探针将测距激光通过axicon透镜变换为无衍射光,并由CCD摄像机获得图像。由无衍射光的中心一对一映射激光的入射方向,通过无衍射光图像定中计算,获得探针的水平角和俯仰角。最后,通过电子倾角仪测得探针滚动角;联合测得各姿态角和位置坐标,通过坐标变换,计算得出被测点的空间坐标。实验显示,该探针的姿态角测量精度为1mrad,组合测量空间位置偏差为±1mm,表明基于无衍射光束的探针与全站仪所构成的组合测量系统可满足大尺度空间中特征隐藏区空间坐标测量的要求。 展开更多
关键词 坐标测量 衍射光探针 全站 激光跟踪 特征隐藏区
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Malvern粒度仪的使用和测试分析 被引量:24
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作者 田英姿 陈克复 张恒 《中国造纸》 CAS 北大核心 2003年第12期33-35,共3页
利用MalvernMS2000粒度仪,分析了SiO2、CaCO3、Al2O3等纳米级粉体粒径测定的最优方法。通过分析进一步确定了粉体的相关性质及不同粒径引起的功能差异。
关键词 Malvern MS2000粒度 测试分析 纳米级粉体 粒径 测量原理 使用 激光衍射
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光栅参数测量技术研究进展 被引量:15
4
作者 刘洪兴 张巍 巩岩 《中国光学》 EI CAS 2011年第2期103-110,共8页
光栅参数测量技术是衡量光栅制作水平的重要标准。本文从直接测量法和间接测量法两个角度对现阶段较成熟的光栅参数测量技术进行了研究。重点介绍了原子力显微镜(AFM)测量法、扫描电子显微镜(SEM)测量法、激光衍射(LD)测量法以及散射测... 光栅参数测量技术是衡量光栅制作水平的重要标准。本文从直接测量法和间接测量法两个角度对现阶段较成熟的光栅参数测量技术进行了研究。重点介绍了原子力显微镜(AFM)测量法、扫描电子显微镜(SEM)测量法、激光衍射(LD)测量法以及散射测量术的测量原理和研究进展,指出了这些方法各自的优缺点和适用范围。AFM测量法和SEM测量法均可测得光栅的局部形貌信息,可用于检测光栅表面形貌缺陷;LD测量法和散射测量术反映的是激光照射区域的平均结果,其中LD测量法能得到光栅周期参数,而椭偏测量术能得到光栅周期以外的其他形貌参数。这些方法测得的光栅参数结果比较吻合,其中LD测量法不确定度最小,AFM次之,SEM最大。文章最后对未来光栅参数测量技术的发展方向进行了论述。 展开更多
关键词 光栅 光栅参数测量 原子力显微镜 扫描电子显微镜 激光衍射 椭偏
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激光计量与测试
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《中国光学》 EI CAS 1996年第4期47-49,共3页
TH741.14 96042428长距离精密激光准直系统=A long-distancelaser collimating system with high accuracy[刊,中]/赵家淇,赵文奎,郭力之(中国计量学院.浙江,杭州(310034))∥现代计量测试.—1995,(6).—8—10介绍新研制成功的长距离终... TH741.14 96042428长距离精密激光准直系统=A long-distancelaser collimating system with high accuracy[刊,中]/赵家淇,赵文奎,郭力之(中国计量学院.浙江,杭州(310034))∥现代计量测试.—1995,(6).—8—10介绍新研制成功的长距离终端锁定式智能激光准直系统,该系统在60米范围垂直方向准直不确定度为0.06 mm,水平方向为0.05 mm。图3表2参2(李瑞琴)TH741.3 96042429激光光洁度测量仪=Laser surface finish measuringinstruments[刊,中]/范恩荣(绍兴市管道煤气公司.浙江,绍兴(312000))∥仪器仪表与分析监测.—1995,(4). 展开更多
关键词 激光准直系统 激光衍射 计量测试 激光测微 长距离 不确定度 研制成功 测量 光洁度 绍兴市
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