基于单光束干涉仪的机床主轴热误差实时测量 被引量：9

1

作者 高赛 曾理江 +2 位作者 殷纯永 郑力 叶佩青 《计量学报》 CSCD 北大核心 2001年第1期1-6,共6页

主轴热误差是数控机床的主要热误差源 ,本文提出了一种使用三路单光束干涉仪 (SBI3)进行机床主轴热误差的非接触式实时测量方法 ,可以快速准确地测量主轴热误差。实验结果表明 ,所测立式加工中心主轴热误差沿Z轴方向最大 ,约为 50μm ,... 主轴热误差是数控机床的主要热误差源 ,本文提出了一种使用三路单光束干涉仪 (SBI3)进行机床主轴热误差的非接触式实时测量方法 ,可以快速准确地测量主轴热误差。实验结果表明 ,所测立式加工中心主轴热误差沿Z轴方向最大 ,约为 50μm ,测量误差约为 1 0 μm。 展开更多

关键词 数控机床 主轴热误差 实时测量 单光束干涉仪

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细丝直径测量的双光束干涉法 被引量：3

2

作者 高伟 吴卫民 +4 位作者 孙晓红 吴云霞 白明 明海 谢建平 《量子电子学报》 CAS CSCD 1999年第3期257-259,共3页

本文提出一种双光束干涉法测量细丝直径的方法．两束平行光波相向入射到细丝上，反射后形成两条虚线源，它们产生平直的条纹，条纹周期与丝径成反比．由ＣＣＤ摄取条纹图进入微机处理，给出细丝直径。文中将介绍该方法的原理和装置，给... 本文提出一种双光束干涉法测量细丝直径的方法．两束平行光波相向入射到细丝上，反射后形成两条虚线源，它们产生平直的条纹，条纹周期与丝径成反比．由ＣＣＤ摄取条纹图进入微机处理，给出细丝直径。文中将介绍该方法的原理和装置，给出相应的实验结果，并对其应用前景作简要的讨论． 展开更多

关键词 双光束干涉 细丝直径测量 CCD 激光测量

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采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量研究 被引量：1

3

作者 孙杰 刘铁根 +1 位作者 张以谟 江俊峰 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期8-12,共5页

提出了一种可以快速实现采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量的方法。在测量中 ,以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔 ,以相邻的四个采样值为一组进行相应的干涉条纹调制度计算 ,以干涉条纹调制度的最大值位置作为零... 提出了一种可以快速实现采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量的方法。在测量中 ,以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔 ,以相邻的四个采样值为一组进行相应的干涉条纹调制度计算 ,以干涉条纹调制度的最大值位置作为零光程差位置。还对光电测量系统中的机械与光电转换精度、采样点位置、采样点密度、双光束光强比、光源相干长度等多方面对测量精度的影响进行了定量分析。 展开更多

关键词 双光束干涉 光程差 干涉条纹 条纹间距 相干长度 最大值 光强 宽带光源 光电测量系统 调制度

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楔形平板干涉法精确测量激光束微小发散角 被引量：1

4

作者 赵明山 李国华 《激光技术》 CAS CSCD 1992年第2期122-125,共4页

本文介绍一种基于楔形平板剪切干涉原理测量激光束微小发散角的方法,实验结果和理论分析表明,该方法的测量精度可达1％,发散角分辨率达0.01mrad,并具有测量方便、应用范围广等优点。

关键词 激光器 光束 发射角 测量 干涉法

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近场拉盖尔-高斯光束传输参数的双缝干涉测量实验 被引量：1

5

作者 吕宏 杜玉军 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期62-66,共5页

拉盖尔-高斯(Laguerre-Gaussian,LG)光束具有轨道角动量,分析近场条件下LG光束通过含光阑光学系统传输的解析公式,对不同阶LG光束通过双缝时双缝间的相位差变化进行了计算。利用计算机生成叉形衍射光栅显示在空间光调制器上,基模高斯光... 拉盖尔-高斯(Laguerre-Gaussian,LG)光束具有轨道角动量,分析近场条件下LG光束通过含光阑光学系统传输的解析公式,对不同阶LG光束通过双缝时双缝间的相位差变化进行了计算。利用计算机生成叉形衍射光栅显示在空间光调制器上,基模高斯光束产生衍射,得到不同阶次LG涡旋光束,通过CCD采集LG空心光束的光斑及双缝干涉后的图样,实现对LG光束传输轨道角动量特性的实验测量。在确定光束束径下,分析了叉形衍射光栅密度、空心光束宽度半径比、双缝宽度等参数对双缝干涉条纹的影响,在距离激光器1m处的SLM上显示4mm×5mm叉形衍射光栅,光栅密度约为16lines/mm,可产生暗斑尺寸在0.5mm^0.9mm之间、宽度半径比为0.2的LG空心光束。LG光束通过双缝宽度0.2mm,双缝间距0.5mm的光栅,可以得到清晰的干涉条纹。研究结果为近场光通信中利用光学涡旋轨道角动量编码信息提供了理论依据。 展开更多

关键词 LG光束 双缝干涉 轨道角动量 测量

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双向剪切干涉法测量高斯光束远场发散角

6

作者 孙东平 刘秉琦 +1 位作者 华文深 骆新新 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2327-2331,共5页

对双向剪切干涉理论和高斯光束传输特性进行了研究.提出了一种测量高斯光束远场发散角的方法:利用双向剪切干涉仪分别在激光传输路径上两个特定位置测出波前曲率半径,然后由曲率半径得出发散角.通过理论推导建立了相应的检测模型,并对... 对双向剪切干涉理论和高斯光束传输特性进行了研究.提出了一种测量高斯光束远场发散角的方法:利用双向剪切干涉仪分别在激光传输路径上两个特定位置测出波前曲率半径,然后由曲率半径得出发散角.通过理论推导建立了相应的检测模型,并对模型进行了实验验证.实验测量和误差分析表明该方法的测量准确度能达到10″;发散角测量准确度的主要影响因素为干涉条纹宽度测量误差. 展开更多

关键词 光学测量 双向剪切干涉 发散角 高斯光束

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基于双光束干涉原理的微小推力测量系统实验研究 被引量：1

7

作者 黄子惟 田松岩 商圣飞 《火箭推进》 CAS 2014年第5期80-85,共6页

微小推力测量技术是微推进器研制的关键技术之一,是微小卫星技术发展的重要支撑。为了发展更高精度的测量系统,基于双光束干涉原理,提出了一种新的高精度光学微小推力测量方法,设计并搭建了一套测量微小推力的实验装置。进行了三次标定... 微小推力测量技术是微推进器研制的关键技术之一,是微小卫星技术发展的重要支撑。为了发展更高精度的测量系统,基于双光束干涉原理,提出了一种新的高精度光学微小推力测量方法,设计并搭建了一套测量微小推力的实验装置。进行了三次标定和测量实验,探索和总结出微推力测量的经验和方法,并对测量系统进行改进。实验结果表明,该测量系统使用方便,能获取实时推力曲线,最大测量误差1.86%,测量精度已达到现有推力架的测量精度,但没有达到双光束干涉原理的理论精度要求,在未来有较大的提升空间。 展开更多

关键词 微推进器 微小卫星 双光束干涉 推力测量

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双光束直线度干涉测量装置

8

作者 王棫蔚 翟绪圣 唐家才 《激光杂志》 CAS 1988年第3期151-154,共4页

本文介绍在直线度测量研究中采用的一种双光束干涉装置,该装置较好地解决了激光束漂移对测量的影响,在实验室内,若忽略大气扰动的影响,精度可达0.2μm。

关键词 双光束干涉 测量装置 直线度 测量研究 光束漂移 实验室内 大气扰动

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基于铌酸锂晶体的光束精密指向控制技术研究(特邀)

9

作者 赵卫岗 呼新荣 +2 位作者 葛锦蔓 刁文婷 冯野 《光子学报》 北大核心 2025年第2期39-49,共11页

系统对比分析现有光束指向控制技术,提出了一种基于铌酸锂晶体的高精度电光光束指向控制方法。采用光轴对称结构,有效降低了电光晶体系统的有效热光系数,显著提升了器件的环境适应性能。数值计算和物理仿真证明了光束偏转的可行性。器... 系统对比分析现有光束指向控制技术,提出了一种基于铌酸锂晶体的高精度电光光束指向控制方法。采用光轴对称结构,有效降低了电光晶体系统的有效热光系数,显著提升了器件的环境适应性能。数值计算和物理仿真证明了光束偏转的可行性。器件完成封装后,利用Zygo干涉仪测得器件中心通光区域的透射波像差RMS为0.2λ(λ=632.8 nm),红外电荷耦合器件图像传感器角度测量法,测得系统在15 kV电压下的最大光束偏转角度为1.88 mrad。实验结果证明了该器件设计的有效性和可行性,为基于铌酸锂晶体的高精度光束偏转器件的研发奠定了基础,同时为星间激光干涉系统的半物理地面验证实验提供了关键技术储备。 展开更多

关键词 空间引力波探测 激光干涉测量 光束指向控制 电光晶体 半物理地面验证

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压电细分多光束干涉平面度测量方法

10

作者 钱石南 《仪器仪表学报》 EI CAS 1983年第1期5-10,共6页

高精度平板的平面度一般用等厚干涉条纹测量,它的一个条纹间距相应于二分之一波长的光程差,用目测可以判别的平面度最高仅1/20波长,但是F-P干涉板要求1/100～1/200波长的平面度。本文描述了压电细分多光束干涉法,用压电陶瓷平移干涉板... 高精度平板的平面度一般用等厚干涉条纹测量,它的一个条纹间距相应于二分之一波长的光程差,用目测可以判别的平面度最高仅1/20波长,但是F-P干涉板要求1/100～1/200波长的平面度。本文描述了压电细分多光束干涉法,用压电陶瓷平移干涉板从而建立一组参考干涉条纹,设原相邻两条纹的距离为α,而参考条纹与原条纹的距离为α/m,用距离为α/m的条纹作基准目视或照相测量平面度,因此精度提高了m倍.在m=10时用目测方法可以探测到近1/200波长的误差。调节压电陶瓷的电压可方便连续地调节m,采用普通低频信号发生器产生的方波来驱动压电陶瓷。 展开更多

关键词 多光束干涉 干涉条纹 平面度 光程差 低频信号发生器 楔角 光强 干涉仪测量 照相测量 时用

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高精度双光束干涉指零仪的研制 被引量：3

11

作者 黄云 黄海乐 +1 位作者 刘贱平 龙兴武 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第9期2498-2502,共5页

在激光陀螺动态测角过程中,瞄准并建立一个可靠的零点是比较关键的问题。利用双光束干涉原理设计了指零仪的光路,描述了其瞄准原理和电路组成,分析了研制过程中应该注意的问题。利用高精度速率偏频激光陀螺的输出脉冲对指零仪进行了稳... 在激光陀螺动态测角过程中,瞄准并建立一个可靠的零点是比较关键的问题。利用双光束干涉原理设计了指零仪的光路,描述了其瞄准原理和电路组成,分析了研制过程中应该注意的问题。利用高精度速率偏频激光陀螺的输出脉冲对指零仪进行了稳定性和重复性的实验,在转速为144(°)/s时指零仪的指零精度优于±0.1″,指零重复精度优于±0.05″。结果证明,所研制的指零仪具有很高的指零精度和良好的动态响应能力,验证了设计的合理性和可行性,为高精度激光陀螺测角仪的研制奠定了良好的基础。 展开更多

关键词 角度测量 激光陀螺 双光束干涉 指零仪 道威棱镜

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基于快速蒙特卡罗的散射介质光学参量干涉测量方法研究 被引量：2

12

作者 张梅 林林 +1 位作者 高应俊 罗云瀚 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期781-785,共5页

提出了一种散射介质光学参量的干涉测量方法.在蒙特卡罗数值模拟的基础上引入聚焦高斯光源模型和基于比例缩放的压缩算法,实现了对光子后向散射分布和干涉特性的快速模拟.利用计算数据训练了前向人工神经网络进行了介质光学参量的反向求... 提出了一种散射介质光学参量的干涉测量方法.在蒙特卡罗数值模拟的基础上引入聚焦高斯光源模型和基于比例缩放的压缩算法,实现了对光子后向散射分布和干涉特性的快速模拟.利用计算数据训练了前向人工神经网络进行了介质光学参量的反向求解.实验中以脂肪乳注射剂和生物染色剂印度墨水组成的悬混液为样本,通过光学干涉系统测量得到了后向散射光依赖于深度的干涉光强分布,并对其中散射和吸收系数进行了反向计算.所得结果能够正确反映散射和吸收系数与散射和吸收物质浓度之间的线性关系,验证了该方法的可行性. 展开更多

关键词 蒙特卡罗 干涉测量 人工神经网络 高斯光束

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检测薄膜压电形变的双光束探测干涉仪的设计 被引量：2

13

作者 黄傲 施柏煊 陈王丽华 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期45-48,共4页

为了检测压电薄膜的在电场作用下的微小形变,同时避免基底弯曲效应的影响,设计了一 种双光束探测干涉仪,通过反馈控制和锁相检测技术,实现了高稳定度、高分辨力的目标,最小可探测形变可达到0.001nm。系统采用计算机控制测量和数据处理,... 为了检测压电薄膜的在电场作用下的微小形变,同时避免基底弯曲效应的影响,设计了一 种双光束探测干涉仪,通过反馈控制和锁相检测技术,实现了高稳定度、高分辨力的目标,最小可探测形变可达到0.001nm。系统采用计算机控制测量和数据处理,使测量更加便捷、准确。 展开更多

关键词 双光束干涉仪 压电效应 弯曲效应 压电薄膜 变形测量

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关于利用激光光束偏转法测量热扩散率的研究 被引量：2

14

作者 邢进华 陈金星 周军 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第8期1037-1040,共4页

本文介绍了激光光束偏转法测量材料热扩散率的原理 ,从理论上分析了光的粒子性和光的衍射限制了该方法对热扩散率的测量精度 ,指出了提高测量精度的关键在于提高信号对光束偏转的灵敏度 为此给出了一种带有Ronchi光栅的迈克耳孙干涉仪... 本文介绍了激光光束偏转法测量材料热扩散率的原理 ,从理论上分析了光的粒子性和光的衍射限制了该方法对热扩散率的测量精度 ,指出了提高测量精度的关键在于提高信号对光束偏转的灵敏度 为此给出了一种带有Ronchi光栅的迈克耳孙干涉仪的探测装置 ,从而使灵敏度提高了约 5 . 展开更多

关键词 激光光束偏转法 热扩散率 灵敏度 散粒噪音 材料测量 测量精度 Ronchi光栅 迈克耳逊干涉仪

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激光束角漂移对双频激光直线度测量的影响 被引量：2

15

作者 于瀛洁 张之江 张善钟 《光电工程》 CAS CSCD 1998年第4期55-61,72,共8页

利用惠更斯关于波面传播的理论，分析计算了双频激光渥拉斯顿棱镜直线度测量系统中激光束角漂移以及渥拉斯顿棱镜和双面反射镜倾角对测量精度的影响，得到了相应的结论。

关键词 双频激光干涉仪 直线度测量 激光束角漂移

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双光束法测速度时测量角产生的影响 被引量：1

16

作者 宗德蓉 黎俊杰 《光电工程》 EI CAS CSCD 1993年第5期59-64,共6页

本文讲述了利用双光束法进行无接触流速的测量。并着重讨论和分析了不同测量角所带来的不同影响,以及最佳测量角的选定。

关键词 激光 双光束干涉 入射角 速度测量

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高灵敏度的多波长多光束干涉仪 被引量：1

17

作者 吴宝根 《激光技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期354-357,共4页

作者用多纵模ＨｅＮｅ激光照明多光束ＦａｂｒｙＰｅｒｏｔ或Ｆｉｚｅａｕ干涉仪，在一个自由光谱范围内，形成与不同波长对应的子条纹，相邻条纹间的间隔代表的波长数依赖于ＨｅＮｅ激光腔的光学长度ｎｐＬ与ＦＰ腔长ｎｄ之比... 作者用多纵模ＨｅＮｅ激光照明多光束ＦａｂｒｙＰｅｒｏｔ或Ｆｉｚｅａｕ干涉仪，在一个自由光谱范围内，形成与不同波长对应的子条纹，相邻条纹间的间隔代表的波长数依赖于ＨｅＮｅ激光腔的光学长度ｎｐＬ与ＦＰ腔长ｎｄ之比ｒ＝ｎｄ／ｎｐＬ。当ｒ是整数时，不同波长对应的相邻干涉级次相互重叠，条纹间隔为λ／２且强度最大；当ｒ是分数时，ｒ＝Ｎ／Ｍ，Ｎ，Ｍ为互质的整数，相邻条纹之间间隔为λ／２Ｍ。不难做到Ｍ＝１０，条纹间隔为λ／２０。由于多光束干涉条纹细而锐，有利于读数精度提高，可以测量λ／５００的程差变化，不需内插就可以给出空间分布的足够信息。这对光学元件的高精度面形检验及低密度流场显示有实际的应用前景。给出了应用的若干例子。 展开更多

关键词 多光束干涉 流场测量 光学元件检验 干涉计

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两相干平面波照射球体的远场干涉及直径测量

18

作者 李建民 牛振风 +5 位作者 王延峰 邵雪辉 陈方 张晓攀 罗静 杨富 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期73-78,共6页

提出一种球远场干涉理论模型,即两相干平面波以任意夹角照射表面光滑球体,其反射波在远场发生干涉.推出两反射波在远场的光程差公式,并用远场干涉准确测量球直径,给出了测量球直径的公式.用分光仪、CCD照相机、氦氖激光器、光学平台和... 提出一种球远场干涉理论模型,即两相干平面波以任意夹角照射表面光滑球体,其反射波在远场发生干涉.推出两反射波在远场的光程差公式,并用远场干涉准确测量球直径,给出了测量球直径的公式.用分光仪、CCD照相机、氦氖激光器、光学平台和电脑等组成测量系统,给出使用原始激光束测量球直径的方法.将远场干涉法测量结果与阿贝比较仪测量结果进行比较,相对差为0.2%;使用高斯光束所产生的测量误差为5×10-5 mm且可略.此测量方法还可对相机镜头畸变实现自校正.结果表明理论和测量方法正确,用高斯激光束测量球直径可行. 展开更多

关键词 测量和计量 干涉 直径测量 高斯光束 畸变校正

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减小多光束干涉影响的算法研究

19

作者 黄深旺 陈进榜 《南京理工大学学报》 EI CAS CSCD 1996年第5期465-468,共4页

该文对斐索干涉仪中的多光束干涉效应作了研究和分析，并应用移相干涉术的三步法和四步法，分析和比较了多光束干涉对干涉仪测试精度的影响。结果表明，即使２个相干表面未镀膜或反射率很低时，这种影响仍是不可忽视的，但只要选择合适... 该文对斐索干涉仪中的多光束干涉效应作了研究和分析，并应用移相干涉术的三步法和四步法，分析和比较了多光束干涉对干涉仪测试精度的影响。结果表明，即使２个相干表面未镀膜或反射率很低时，这种影响仍是不可忽视的，但只要选择合适的移相算法，便可有效地加以抑制。给出了反射率Ｒ＝０．１时的计算和模拟实例，与三步法相比。 展开更多

关键词 干涉仪 干涉测量法 移相干涉术 多光束干涉

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小位移量的动态双频干涉测量

20

作者 Y. Ohtsuka M. Tsubokawa 吴明强 《应用光学》 CAS CSCD 1989年第3期54-58,共5页

从实用观点检验了小位移量的双频率干涉测量。用声光布莱恪盒进行正弦强度调制的激光束,产生动态干涉的信号和参考光波。接收干涉的光电探测器的输出信号,由光零差和外差分量组成。外差分量携带振动性位移以探测其振幅。正弦振幅可测到0... 从实用观点检验了小位移量的双频率干涉测量。用声光布莱恪盒进行正弦强度调制的激光束,产生动态干涉的信号和参考光波。接收干涉的光电探测器的输出信号,由光零差和外差分量组成。外差分量携带振动性位移以探测其振幅。正弦振幅可测到0.5nm。 展开更多

关键词 位移测量 干涉测量 强度调制 输出信号 声光调制器 激光束 光电探测器 参考光 光探测器 迈克尔逊干涉仪

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