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金属氧化物pH传感器的研究进展
被引量：
1
1
作者
李曼曼
吕旖雯
+1 位作者
居家奇
金妍
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第2期184-194,共11页
围绕近年来金属氧化物pH传感器的相关研究,对其传感机理进行了概述,对不同类型金属氧化物pH传感器的研究进展进行了介绍,根据二氧化钌、二氧化铱、五氧化二钽等金属氧化物的特性,分析其作为pH敏感电极的优点和不足,重点分析了4种pH传感...
围绕近年来金属氧化物pH传感器的相关研究,对其传感机理进行了概述,对不同类型金属氧化物pH传感器的研究进展进行了介绍,根据二氧化钌、二氧化铱、五氧化二钽等金属氧化物的特性,分析其作为pH敏感电极的优点和不足,重点分析了4种pH传感器(电位型、电导型、离子敏感场效应管型和外延栅极场效应管型)的制备工艺、工作原理、灵敏度和响应时间,并总结了针对不同应用最适宜的金属氧化物pH传感器类型。最后,对金属氧化物pH传感器面临的问题进行了概述,展望了其未来的发展方向。
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关键词
PH传感器
金属氧化物
pH敏感电极
离子敏感
场效应管
外延栅极场效应管
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职称材料
题名
金属氧化物pH传感器的研究进展
被引量：
1
1
作者
李曼曼
吕旖雯
居家奇
金妍
机构
上海应用技术大学理学院
中国科学院、上海微系统与信息技术研究所、传感技术联合国家重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023年第2期184-194,共11页
基金
上海应用技术大学中青年发展基金项目(ZQ2021-22)。
文摘
围绕近年来金属氧化物pH传感器的相关研究,对其传感机理进行了概述,对不同类型金属氧化物pH传感器的研究进展进行了介绍,根据二氧化钌、二氧化铱、五氧化二钽等金属氧化物的特性,分析其作为pH敏感电极的优点和不足,重点分析了4种pH传感器(电位型、电导型、离子敏感场效应管型和外延栅极场效应管型)的制备工艺、工作原理、灵敏度和响应时间,并总结了针对不同应用最适宜的金属氧化物pH传感器类型。最后,对金属氧化物pH传感器面临的问题进行了概述,展望了其未来的发展方向。
关键词
PH传感器
金属氧化物
pH敏感电极
离子敏感
场效应管
外延栅极场效应管
Keywords
pH sensor
mental oxide
pH sensitive electrode
ion sensitive field effect transistor
extended gate field effect transistor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
金属氧化物pH传感器的研究进展
李曼曼
吕旖雯
居家奇
金妍
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2023
1
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