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题名宽带FBAR滤波器的研制
被引量：3
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作者
王强
李丽
张仕强
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2021年第8期630-634,共5页
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文摘
采用阶梯型结构的薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器芯片和外匹配电路实现了一种输入输出端口阻抗均为50Ω的宽带FBAR滤波器。FBAR滤波器芯片采用自主的FBAR滤波器工艺实现,外匹配电路采用0.35μm GaAs工艺实现,并在该芯片上植球,采用倒装工艺将FBAR滤波器芯片与外匹配电路芯片进行异构集成。然后采用微组装工艺将异构集成芯片装配在标准陶瓷外壳中,外壳通过平行封焊工艺实现气密封装,体积仅为3.8 mm×3.8 mm×1.8 mm。测试结果显示,该滤波器通带频率范围为3 300~3 600 MHz, 1 dB带宽约为300 MHz,相对带宽为8.7%,插入损耗为1.41 dB,在3 250 MHz和3 650 MHz处带外抑制分别为16.5 dBc和48.2 dBc。将实测结果与仿真结果进行了对比,两者基本吻合。
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关键词
薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器
阶梯型结构
宽带
异构集成
外匹配电路
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Keywords
film bulk acoustic resonator(FBAR)filter
ladder structure
broadband
heterogeneous integration
external matching circuit
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分类号
TN713
[电子电信—电路与系统]
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