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表面层外全反射角X射线能谱微分析
被引量：
1
1
作者
仇满德
姚子华
+1 位作者
安伟
陈敏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期261-264,共4页
电子探针微区分析(EPMA,XRMA)由于X射线激发深度较大而对薄层分析产生困难,无法准确确定分析结果是样品表面的成分还是样品体相的成分。本工作在通常的X射线微区分析设备上,采用外全反射角X射线能谱微分析方法,通过对硅衬底上不同膜厚...
电子探针微区分析(EPMA,XRMA)由于X射线激发深度较大而对薄层分析产生困难,无法准确确定分析结果是样品表面的成分还是样品体相的成分。本工作在通常的X射线微区分析设备上,采用外全反射角X射线能谱微分析方法,通过对硅衬底上不同膜厚的铝膜和铜膜的测定,探索出一种区分膜成分和体相成分的新方法。结果表明:与常规的方法相比,该法有较高的表面灵敏度,可很好地解决薄层分析的困难。
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关键词
电子探针微区分析
外全反射角x射线
能谱微分析
灵敏度
薄膜物理
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职称材料
题名
表面层外全反射角X射线能谱微分析
被引量：
1
1
作者
仇满德
姚子华
安伟
陈敏
机构
河北大学化学与环境科学学院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期261-264,共4页
基金
河北省自然科学基金资助项目(No.196061).
文摘
电子探针微区分析(EPMA,XRMA)由于X射线激发深度较大而对薄层分析产生困难,无法准确确定分析结果是样品表面的成分还是样品体相的成分。本工作在通常的X射线微区分析设备上,采用外全反射角X射线能谱微分析方法,通过对硅衬底上不同膜厚的铝膜和铜膜的测定,探索出一种区分膜成分和体相成分的新方法。结果表明:与常规的方法相比,该法有较高的表面灵敏度,可很好地解决薄层分析的困难。
关键词
电子探针微区分析
外全反射角x射线
能谱微分析
灵敏度
薄膜物理
Keywords
e
x
ternal-total reflection angle
x
-ray microanalysis
surface layer
SEM
EDS
分类号
O657.62 [理学—分析化学]
O484 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
表面层外全反射角X射线能谱微分析
仇满德
姚子华
安伟
陈敏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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