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题名复合量程微加速度计的研究
被引量：9
- 1
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作者
熊继军
毛海央
张文栋
徐栋
郭涛
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机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期2200-2203,共4页
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基金
国家自然科学基金资助(50535030
50405025
+1 种基金
50375050)
霍英东基金资助(01052)
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文摘
在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求.针对类似的需求,介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复合量程微加速度计,四个微加速度计量程分别为100g、500g、1000g和2000g.除了主要介绍微加速度计阵列的设计、制造和测试外,还着重介绍了低量程传感器在高过载环境下的结构防护问题.线性测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线性度,因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值.
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关键词
复合量程微加速度计
压阻式
抗过载
体硅工艺
线性度
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Keywords
Multi-Ranged Micro Accelerometer
Piezoresistive
Anti-over Loading
Bulk process
Linearity
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分类号
TN302
[电子电信—物理电子学]
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题名复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计
被引量：6
- 2
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作者
毛海央
熊继军
张文栋
郭涛
徐栋
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机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05B期2186-2189,共4页
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基金
国家自然科学基金资助(50535030
50405025
+1 种基金
50375050)
霍英东基金资助(01052)
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文摘
为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程,可知当硅-玻璃静电键合间距d=2.25μm时,复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比.
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关键词
复合量程微加速度计
压阻式
二阶系统
阻尼
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Keywords
multi-ranged micro accelerometer
piezoresistive
second-order system
damping
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分类号
TN302
[电子电信—物理电子学]
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题名复合量程微加速度计封装热应力的研究
被引量：3
- 3
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作者
向婷
郭涛
林大为
刘鹏飞
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机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2011年第2期9-11,15,共4页
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基金
国家自然科学基金(60866039)
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文摘
贴片胶的选择和贴片工艺对MEMS封装器件的可靠性和有效性影响很大。针对贴片胶固化时热效应的影响,分析复合量程微加速度计封装热应力产生的机理。从贴片胶的材料特性出发,分析贴片胶的厚度、杨式模量及热膨胀系数对硅芯片所受到封装热应力的影响。并通过有限元仿真分析,确定了适合复合量程加速度计封装的贴片胶材料及使用厚度,并用拉曼光谱仪对封装后的应力进行了测试,结果显示应力较小,封装效果良好。
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关键词
复合量程微加速度计
贴片胶
封装热应力
ANSYS仿真
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Keywords
multi-ranged micro-accelerometer
surface mount adhesive
package thermal stress
ANSYS simulation
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名复合量程微加速度计封装的设计仿真与测试
被引量：1
- 4
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作者
闫明明
鲍爱达
郭涛
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机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
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出处
《科学技术与工程》
北大核心
2013年第34期10150-10154,共5页
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基金
国家自然科学基金(51075374)资助
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文摘
针对复合量程微加速度计的封装设计与测试的理论、仿真分析和具体试验测试三个方面进行了详细论述,最终确定出最佳的封装方案。理论分析主要通过对几种典型MEMS封装类型特点的比较,确定了最优的封装类型为陶瓷封装。仿真分析主要通过ANSYS软件进行复合量程加速度计热应力仿真,确定了复合量程加速度计的陶瓷封装管壳的厚度。通过静态特性测试及动态特性测试等进一步验证了该封装结构具有抗过载能力。
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关键词
复合量程微加速度计
MEMS
封装
ANSYS
仿真
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Keywords
multi-ranged micro-accelerometer
MEMS
package
ANSYS
simulate
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分类号
TH824.3
[机械工程—精密仪器及机械]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名一种压阻式硅微复合量程加速度计
被引量：2
- 5
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作者
郭涛
鲍爱达
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机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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出处
《弹箭与制导学报》
CSCD
北大核心
2010年第6期186-189,共4页
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基金
国家自然科学基金(60866039)资助
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文摘
针对常规弹药制导化应用中对大动态范围变化加速度参数测试的需求,以及空间尺寸的限制,采用多个不同量程加速度计进行测量所带来的极大不便和误差问题。文中设计了一种具有10g、100g、500g和10000g四种量程的硅微压阻式复合量程加速度计,并对其作了静、动力学仿真分析,在此基础上对所加工和封装好的复合量程加速度计进行了静、动态特性标定,标定结果表明该复合量程加速度计具有良好的静、动态特性,可以完成四个覆盖高低量程加速度值的测量。
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关键词
硅微复合量程加速度计
动态特性
静态特性
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Keywords
silicone multi-ranged micro accelerometer
static characteristics
dynamic characteristics
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分类号
TH824.4
[机械工程—精密仪器及机械]
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