期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
复合膜吸杂技术在硅分立器件制造中的应用
1
作者
孙以材
张储林
《河北工业大学学报》
CAS
1990年第2期48-55,共8页
利用复合膜吸杂技术处理硅晶体材料改善硅衬底及外延片质量的吸杂原理.通过三探针测量、DLTS 检测、MOS 电容器弛预时间、器件结特性的改善和成品率的提高显示了复合膜吸杂的吸杂效果.实验结果表明,复合膜吸杂枝术是有效、简便、可控、...
利用复合膜吸杂技术处理硅晶体材料改善硅衬底及外延片质量的吸杂原理.通过三探针测量、DLTS 检测、MOS 电容器弛预时间、器件结特性的改善和成品率的提高显示了复合膜吸杂的吸杂效果.实验结果表明,复合膜吸杂枝术是有效、简便、可控、稳定、成本低廉且与器件制造工艺是相容的.很有开发、推广价值.
展开更多
关键词
复合膜吸杂
外延
衬底
分立器件
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
复合膜吸杂技术在硅分立器件制造中的应用
1
作者
孙以材
张储林
机构
河北工学院电气工程系
出处
《河北工业大学学报》
CAS
1990年第2期48-55,共8页
文摘
利用复合膜吸杂技术处理硅晶体材料改善硅衬底及外延片质量的吸杂原理.通过三探针测量、DLTS 检测、MOS 电容器弛预时间、器件结特性的改善和成品率的提高显示了复合膜吸杂的吸杂效果.实验结果表明,复合膜吸杂枝术是有效、简便、可控、稳定、成本低廉且与器件制造工艺是相容的.很有开发、推广价值.
关键词
复合膜吸杂
外延
衬底
分立器件
Keywords
Complex membrane gettering
Epitaxy
Substrate
Seperated devices
分类号
T-55 [一般工业技术]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
复合膜吸杂技术在硅分立器件制造中的应用
孙以材
张储林
《河北工业大学学报》
CAS
1990
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
