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复合热释电薄膜红外探测器的制备和性能测试
被引量：
4
1
作者
王三红
吴小清
姚熹
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期146-148,共3页
为解决热释电薄膜红外探测器中的热损失问题 ,引入了复合热释电薄膜的概念 .它利用多孔二氧化硅具有的低热导率特点 ,有效地减少了热量从热释电层向衬底的热扩散 .利用溶胶 凝胶和金属有机物热分解等工艺制备的复合热释电薄膜红外探测...
为解决热释电薄膜红外探测器中的热损失问题 ,引入了复合热释电薄膜的概念 .它利用多孔二氧化硅具有的低热导率特点 ,有效地减少了热量从热释电层向衬底的热扩散 .利用溶胶 凝胶和金属有机物热分解等工艺制备的复合热释电薄膜红外探测器 ,在温度为 4 2 0K、频率为 10Hz时 ,电压响应率约为 140 0V/W ,探测器的星探测率D ( 4 2 0 ,10 ,2 )为 9 3× 10 7cm·Hz1/2 /W .
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关键词
红外探测器
复合热释电薄膜
溶胶-凝胶
电压响应率
星探测率
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职称材料
复合热释电薄膜红外探测器的研究
2
作者
吴小清
任巍
姚熹
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第z1期6-,共1页
热绝缘结构是热释电红外探测器的关键技术之一."复合热释电薄膜红外探测器"是用多孔SiO2薄膜来绝热的,这种无空气隙的新型结构被认为具有更高的机械强度和可靠性.采用溶胶-凝胶技术制备了热导率极低的多孔SiO2薄膜,用金属有...
热绝缘结构是热释电红外探测器的关键技术之一."复合热释电薄膜红外探测器"是用多孔SiO2薄膜来绝热的,这种无空气隙的新型结构被认为具有更高的机械强度和可靠性.采用溶胶-凝胶技术制备了热导率极低的多孔SiO2薄膜,用金属有机物热分解法制备了优质的铁电薄膜,实现了"复合热释电薄膜"热绝缘结构,获得的星探测率最大值达9.3×107cm.Hz1/2/W.通过快速热处理工艺的采用,提高薄膜一次成膜厚度的研究,改善了薄膜制备与微电路工艺的兼容性.研究了多孔膜厚度、孔径分布与探测率的关系,探讨了镍酸镧(LNO)薄膜作为缓冲层、红外吸收层和上电极的多功能作用.结果表明:孔径分布小的多孔膜有利于探测器性能的提高.在此结构中,存在热性能和电性能的折中问题,多孔膜厚度有一个临界值.LNO薄膜的引入,可以改善性能、简化结构和工艺.讨论了低温铁电薄膜的制备和性能,以及与微电路实现单片集成等问题.
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关键词
热
释电
红外探测器
热
绝缘结构
复合热释电薄膜
多孔SiO2绝
热
膜
星探测率
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职称材料
LATGS-PVDF热释电复合薄膜研究
被引量：
1
3
作者
张红梅
徐平茂
+4 位作者
冯传胜
刘雪兰
韦建中
武子生
房昌水
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第2期152-156,共5页
研制了ＬＡＴＧＳ－ＰＶＤＦ热释电复合薄膜，测试分析了膜的介电和热释电性能．制膜过程中加极化电场使复合膜中ＬＡＴＧＳ晶粒的内偏场沿极化场取向，达到既具有好的热释电性又不退极化的目的．用这种复合膜研制的热释电探测器的探测...
研制了ＬＡＴＧＳ－ＰＶＤＦ热释电复合薄膜，测试分析了膜的介电和热释电性能．制膜过程中加极化电场使复合膜中ＬＡＴＧＳ晶粒的内偏场沿极化场取向，达到既具有好的热释电性又不退极化的目的．用这种复合膜研制的热释电探测器的探测率Ｄ＊（５００Ｋ，１０Ｈｚ）高达１．１２×１０８ｃｍ·Ｈｚ１／２·Ｗ－１．
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关键词
热
释电
复合
薄膜
介电常数
热
释电
系数
薄膜
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职称材料
题名
复合热释电薄膜红外探测器的制备和性能测试
被引量：
4
1
作者
王三红
吴小清
姚熹
机构
西安交通大学电子与信息工程学院
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期146-148,共3页
基金
国家自然科学基金!资助项目 (6 97770 18)
文摘
为解决热释电薄膜红外探测器中的热损失问题 ,引入了复合热释电薄膜的概念 .它利用多孔二氧化硅具有的低热导率特点 ,有效地减少了热量从热释电层向衬底的热扩散 .利用溶胶 凝胶和金属有机物热分解等工艺制备的复合热释电薄膜红外探测器 ,在温度为 4 2 0K、频率为 10Hz时 ,电压响应率约为 140 0V/W ,探测器的星探测率D ( 4 2 0 ,10 ,2 )为 9 3× 10 7cm·Hz1/2 /W .
关键词
红外探测器
复合热释电薄膜
溶胶-凝胶
电压响应率
星探测率
Keywords
Multilayers
Pyroelectricity
Sol
gels
Thermal insulation
Thin films
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
复合热释电薄膜红外探测器的研究
2
作者
吴小清
任巍
姚熹
机构
西安交通大学
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第z1期6-,共1页
文摘
热绝缘结构是热释电红外探测器的关键技术之一."复合热释电薄膜红外探测器"是用多孔SiO2薄膜来绝热的,这种无空气隙的新型结构被认为具有更高的机械强度和可靠性.采用溶胶-凝胶技术制备了热导率极低的多孔SiO2薄膜,用金属有机物热分解法制备了优质的铁电薄膜,实现了"复合热释电薄膜"热绝缘结构,获得的星探测率最大值达9.3×107cm.Hz1/2/W.通过快速热处理工艺的采用,提高薄膜一次成膜厚度的研究,改善了薄膜制备与微电路工艺的兼容性.研究了多孔膜厚度、孔径分布与探测率的关系,探讨了镍酸镧(LNO)薄膜作为缓冲层、红外吸收层和上电极的多功能作用.结果表明:孔径分布小的多孔膜有利于探测器性能的提高.在此结构中,存在热性能和电性能的折中问题,多孔膜厚度有一个临界值.LNO薄膜的引入,可以改善性能、简化结构和工艺.讨论了低温铁电薄膜的制备和性能,以及与微电路实现单片集成等问题.
关键词
热
释电
红外探测器
热
绝缘结构
复合热释电薄膜
多孔SiO2绝
热
膜
星探测率
分类号
TN21 [电子电信—物理电子学]
TN24 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
LATGS-PVDF热释电复合薄膜研究
被引量：
1
3
作者
张红梅
徐平茂
冯传胜
刘雪兰
韦建中
武子生
房昌水
机构
山东大学光电系
山东大学晶体所
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第2期152-156,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
研制了ＬＡＴＧＳ－ＰＶＤＦ热释电复合薄膜，测试分析了膜的介电和热释电性能．制膜过程中加极化电场使复合膜中ＬＡＴＧＳ晶粒的内偏场沿极化场取向，达到既具有好的热释电性又不退极化的目的．用这种复合膜研制的热释电探测器的探测率Ｄ＊（５００Ｋ，１０Ｈｚ）高达１．１２×１０８ｃｍ·Ｈｚ１／２·Ｗ－１．
关键词
热
释电
复合
薄膜
介电常数
热
释电
系数
薄膜
Keywords
pyroelectric composite film, dielectric constant, pyroelectric coefficient, pyroelectric detector.
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
复合热释电薄膜红外探测器的制备和性能测试
王三红
吴小清
姚熹
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
复合热释电薄膜红外探测器的研究
吴小清
任巍
姚熹
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
LATGS-PVDF热释电复合薄膜研究
张红梅
徐平茂
冯传胜
刘雪兰
韦建中
武子生
房昌水
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
1
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职称材料
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