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In_(2)O_(3)/TiO_(2)室温氢气传感器及其优异的氢敏性能
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作者 张先乐 刘自豪 +1 位作者 黄浩 范佳杰 《郑州大学学报(工学版)》 CAS 北大核心 2022年第4期104-110,共7页
为改善纳米TiO_(2)传感器在室温下对H_(2)虽有快速响应但恢复过慢的问题,引入商业纳米In_(2)O_(3)对其进行改性。分别采用压片法和阳极氧化-沉积法制备了In_(2)O_(3)/TiO_(2)纳米复合压片薄膜和In_(2)O_(3)/TiO_(2)纳米管阵列,并将其应... 为改善纳米TiO_(2)传感器在室温下对H_(2)虽有快速响应但恢复过慢的问题,引入商业纳米In_(2)O_(3)对其进行改性。分别采用压片法和阳极氧化-沉积法制备了In_(2)O_(3)/TiO_(2)纳米复合压片薄膜和In_(2)O_(3)/TiO_(2)纳米管阵列,并将其应用于氢气传感器,研究了其室温氢敏性能。采用扫描电镜、X射线衍射、比表面积测试等方法对样品进行了表征,并研究了不同电极(Ag、Pt、Pd)、不同热处理温度及不同质量分数的In_(2)O_(3)对复合传感器室温氢敏性能的影响。结果表明,与纯TiO_(2)传感器相比,复合传感器扩大了氢气的检测范围,室温下可检测到体积分数1×10^(-6)~1×10^(-3)的氢气,且恢复时间大大缩短。其中,以Pt为电极,经600℃退火的质量分数为20%的In_(2)O_(3)/TiO_(2)复合传感器表现出最优的氢敏性能,在室温下对体积分数1×10^(-6)H_(2)的响应时间为7 s,恢复时间为32 s。 展开更多
关键词 In_(2)O_(3)/TiO_(2) 复合氢气传感器 室温 恢复性能
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