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金刚石/碳化硅复合梯度膜制备研究 被引量:5
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作者 石玉龙 姜辛 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期253-256,共4页
采用微波等离子化学气相沉积(MW-PCVD)制备金刚石/碳化硅复合梯度膜.工作气体为H2,CH4和Si[CH3]4(四甲基硅烷,TMS),其中H2∶CH4=100∶0.6,Si[CH3]4为0%-O.05%,沉积压力为3300Pa,基体温度为700℃,微波功率为700W.基体为单晶硅,在沉积... 采用微波等离子化学气相沉积(MW-PCVD)制备金刚石/碳化硅复合梯度膜.工作气体为H2,CH4和Si[CH3]4(四甲基硅烷,TMS),其中H2∶CH4=100∶0.6,Si[CH3]4为0%-O.05%,沉积压力为3300Pa,基体温度为700℃,微波功率为700W.基体为单晶硅,在沉积前用纳米金刚石颗粒处理.沉积后的样品经扫描电子显微镜(SEM),电子探针显微分析(EPMA),X射线能量损失分析(EDX)表明:沉积膜中的碳化硅含量是随Si[CH3]4流量的变化而改变.通过改变Si[CH3]4的流量可以制备金刚石/碳化硅复合梯度膜,且梯度膜中金刚石与复合膜过渡自然平滑. 展开更多
关键词 微波等离子体化学气相沉积 金刚石 复合梯度膜
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Ti_(0.33)Al_(0.67)N复合梯度膜层的高温抗氧化性能 被引量:3
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作者 张会霞 战宏伟 《有色金属工程》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期18-20,共3页
研究梯度Ti0.33Al0.67N膜层与其他膜层的高温抗氧化性能。结果表明,40Cr基体在300℃时已出现明显氧化。TiN膜层在500℃左右时开始出现氧化现象,导致膜层硬度、膜基结合力等性能显著下降。在800℃的氧化环境中,梯度Ti0.33Al0.67N膜层性... 研究梯度Ti0.33Al0.67N膜层与其他膜层的高温抗氧化性能。结果表明,40Cr基体在300℃时已出现明显氧化。TiN膜层在500℃左右时开始出现氧化现象,导致膜层硬度、膜基结合力等性能显著下降。在800℃的氧化环境中,梯度Ti0.33Al0.67N膜层性能最佳,TiN膜层出现明显氧化现象,40Cr基体氧化现象十分严重。梯度Ti0.33Al0.67N膜层的高温抗氧化性能比40Cr基体和TiN膜层优异,涂层适合应用于高温环境。 展开更多
关键词 材料科学与工程 复合梯度膜 抗氧化性能 Ti0 33Al0 67N
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Ti-C→DLC梯度复合膜及其摩擦性能 被引量:10
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作者 孙明仁 夏立芳 +3 位作者 孙跃 马欣新 李光 金小欧 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 1999年第1期17-21,共5页
在GCr15轴承钢基体上制备了Ti-C→DLC梯度复合膜.对其深度成分分布、化学结构及其在试验室环境下对GCr15商品钢球的摩擦性能进行了研究.结果表明,在轴承钢基体与DLC膜之间形成了Ti,C成分呈梯度变化的Ti-C过渡层,C和对以TiC态和... 在GCr15轴承钢基体上制备了Ti-C→DLC梯度复合膜.对其深度成分分布、化学结构及其在试验室环境下对GCr15商品钢球的摩擦性能进行了研究.结果表明,在轴承钢基体与DLC膜之间形成了Ti,C成分呈梯度变化的Ti-C过渡层,C和对以TiC态和游离态两种化学状态存在.Ti—C梯度过渡层对摩擦承载能力起着关键性的影响,Ti-C→DLC梯度复合膜具有高的摩擦持久寿命和稳定的低摩擦系数,其摩擦系数约为0.16左右. 展开更多
关键词 梯度复合 Ti-C过渡层 DLC 摩擦性能 类金刚石 离子注入 金属材料 等离子体注入
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聚合物基金属梯度复合膜合成中的电化学行为 被引量:1
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作者 刘海燕 唐建国 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期76-79,共4页
通过将聚合物-金属盐-有机溶剂三元浓溶液涂于阴极材料表面,干燥至一定程度,然后用电化学还原方法,制备了聚合物基金属梯度复合膜(MPGCF),对电化学反应体系及反应温度等重要条件进行了研究。结果表明,采用碳-碳-B液体系及碳-铜-C液体系... 通过将聚合物-金属盐-有机溶剂三元浓溶液涂于阴极材料表面,干燥至一定程度,然后用电化学还原方法,制备了聚合物基金属梯度复合膜(MPGCF),对电化学反应体系及反应温度等重要条件进行了研究。结果表明,采用碳-碳-B液体系及碳-铜-C液体系时,均可合成结构可控的MPGCF,但以后者的合成条件更温和,适当提高介质温度,有利于MPGCF沉积和过渡层的形成。 展开更多
关键词 聚合物基金属梯度复合 合成 电化学行为 聚合物-金属盐-有机溶剂三元浓溶液
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类金刚石薄膜对纯钛的磨损保护及安全性评价 被引量:4
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作者 尹路 郭天文 +1 位作者 赵雯 弥谦 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期261-265,共5页
评价了以TiN为过渡层的类金刚石(DLC)复合梯度膜对齿科纯钛(TA2)的磨损防护效果以及生物安全性。采用脉冲真空多弧等离子体镀膜机,在齿科纯钛表面镀制TiN梯度膜和DLC表面膜。在体外对比检测镀膜的耐磨损能力和与纯钛的结合力,同时观察... 评价了以TiN为过渡层的类金刚石(DLC)复合梯度膜对齿科纯钛(TA2)的磨损防护效果以及生物安全性。采用脉冲真空多弧等离子体镀膜机,在齿科纯钛表面镀制TiN梯度膜和DLC表面膜。在体外对比检测镀膜的耐磨损能力和与纯钛的结合力,同时观察检测磨损后的表面形貌和元素分布。应用MTT法评价其生物相容性。结果表明,DLC薄膜的耐磨损能力以及与纯钛的结合力明显高于其余表面处理方法,表面形貌改变小。细胞毒性实验表明,DLC膜表面的L-929细胞增值良好。复合梯度膜的应用,可以明显提高DLC镀膜与纯钛基体的结合力。耐磨试验表明,DLC复合梯度膜可以承受日常口腔刷牙的磨耗,安全可靠,可以应用于人体。 展开更多
关键词 类金刚石 纯钛 复合梯度膜 耐磨试验 划痕实验 生物安全性
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