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高纯及超高纯四氯化钛制备技术研究进展
被引量：
1
1
作者
张兴毅
赵雄
+3 位作者
万烨
郭树虎
袁振军
刘见华
《应用化工》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第S01期244-247,266,共5页
四氯化钛是钛及其化合物生产中的重要中间产品,钛工业的重要原料,有着极其广泛的应用。综述了通过除钒、蒸馏、精馏、多级精馏等方法以及这些方法的组合来制备高纯四氯化钛;阐述了在高纯四氯化钛的基础上,通过吸附、汽提、蒸馏、亚沸蒸...
四氯化钛是钛及其化合物生产中的重要中间产品,钛工业的重要原料,有着极其广泛的应用。综述了通过除钒、蒸馏、精馏、多级精馏等方法以及这些方法的组合来制备高纯四氯化钛;阐述了在高纯四氯化钛的基础上,通过吸附、汽提、蒸馏、亚沸蒸馏、多级精馏等方法以及此类方法的组合,来制备可应用于半导体行业的超高纯四氯化钛。对超高纯四氯化钛的制备工艺进行探讨,并展望超高纯四氯化钛制备工艺的发展趋势和方向。
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关键词
四氯化钛
除钒
蒸馏
复合提纯
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题名
高纯及超高纯四氯化钛制备技术研究进展
被引量：
1
1
作者
张兴毅
赵雄
万烨
郭树虎
袁振军
刘见华
机构
多晶硅制备技术国家工程实验室
洛阳中硅高科技有限公司
中国恩菲工程技术有限公司
出处
《应用化工》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第S01期244-247,266,共5页
基金
工业和信息化部工业强基工程项目(0714-EMTC02-5593/13)
郑洛新国家自主创新示范区创新引领型产业集群专项(18100212700)。
文摘
四氯化钛是钛及其化合物生产中的重要中间产品,钛工业的重要原料,有着极其广泛的应用。综述了通过除钒、蒸馏、精馏、多级精馏等方法以及这些方法的组合来制备高纯四氯化钛;阐述了在高纯四氯化钛的基础上,通过吸附、汽提、蒸馏、亚沸蒸馏、多级精馏等方法以及此类方法的组合,来制备可应用于半导体行业的超高纯四氯化钛。对超高纯四氯化钛的制备工艺进行探讨,并展望超高纯四氯化钛制备工艺的发展趋势和方向。
关键词
四氯化钛
除钒
蒸馏
复合提纯
Keywords
titanium tetrachloride
vanadium removal
distillation
compound purification
分类号
TQ134.11 [化学工程—无机化工]
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出处
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被引量
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1
高纯及超高纯四氯化钛制备技术研究进展
张兴毅
赵雄
万烨
郭树虎
袁振军
刘见华
《应用化工》
CAS
CSCD
北大核心
2021
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