-
题名复合式MEMS水听器的设计
被引量：4
- 1
-
-
作者
王雁
刘梦然
张国军
-
机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学电子测试技术重点实验室
-
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期243-247,共5页
-
基金
山西省应用基础研究基金资助项目(201601D011035)
国家自然科学基金资助项目(61127008)
+1 种基金
国家重点研发基金资助计划(2016YFC0101900)
山西省研究生教育创新基金资助项目(2016BY122)
-
文摘
针对微机电系统(MEMS)仿生矢量水听器工作频带窄,灵敏度低,且存在左、右舷模糊问题,设计了高灵敏宽频带复合式MEMS水听器。矢量部分选择4个不同纤毛长度的仿生矢量水听器组成阵列,各结构间采用并联方式,工作频带拓宽到4 800Hz,并分割出4个不同的频率段,在拓宽了频响带宽的同时保证了灵敏度。标量部分采用低频电容水声传感器进行优化设计,空腔注满硅油、振膜开设声学孔,提高振膜承压性的同时保证了良好的动态性能。后续对标量和矢量信息进行声能流联合算法处理,解决了左右舷模糊的难题。该文主要介绍了复合式MEMS水听器的工作原理,结合ANSYS workbench进行了仿真验证。选用玻璃片及绝缘衬底上的硅(SOI)片键合的单片集成复合结构工艺设计,在玻璃上定义空腔及下电极,在SOI片上定义十字梁和振膜,整体结构一致性好,定位精度高。
-
关键词
频带
复合式微机电系统(mems)水听器
声能流联合算法
左右舷模糊
ANSYS
WORKBENCH
振膜
-
Keywords
frequency band
composite mems hydrophone
joint algorithm of acoustic energy flux
the ambiguity between the port hand and the starboard
ANSYS workbench
diaphragm
-
分类号
TN55
[电子电信]
TB565.2
[交通运输工程—水声工程]
-
-
题名谐振式MEMS磁传感器数字锁相放大器设计
被引量：6
- 2
-
-
作者
任泽龙
刘松
梁亨茂
李宝清
熊斌
-
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室
中国科学院大学
-
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2019年第4期86-88,92,共4页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(51577186)
-
文摘
介绍了一种用于谐振式微机电系统(MEMS)磁传感器输出信号检测的数字锁相放大器。通过分析MEMS磁传感器的工作原理和输出信号特征,并根据相干解调原理,设计了数字锁相放大器,其中包括信号通道、参考通道和数字式相干解调器的设计。在数字式相干解调器的设计中,通过正交解调法来消除相位差对磁传感器灵敏度的影响,利用带通采样和降采样来降低硬件要求。将数字锁相放大器应用于磁传感器,顺利实现了对磁传感器输出信号的解调。测试结果具有良好线性度,其非线性度为0. 46%。
-
关键词
谐振式微机电系统(mems)磁传感器
相干解调
数字锁相放大器
正交解调
-
Keywords
resonant micro-electro-mechanical system(mems)magnetic sensor
coherent demodulation
digital lock-in amplifier
quadrature demodulation
-
分类号
TP212.13
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
