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用声表面滤波器作光－光中继器的抽时钟电路
1
作者 汪开源 唐洁影 《光通信技术》 CSCD 1994年第3期238-241,共4页
本文对影响３Ｒ光－光三次群光中继器的性能的主要因素抽时钟电路进行了分析研究，介绍了一种新型的声表面滤波器（ＳＡＷＦ）作为抽时钟电路的核心器件，实验由ＳＡＷＦ器件得到的时钟抖动较小，最大时钟抖动为０．３ｕｓ（４．５°... 本文对影响３Ｒ光－光三次群光中继器的性能的主要因素抽时钟电路进行了分析研究，介绍了一种新型的声表面滤波器（ＳＡＷＦ）作为抽时钟电路的核心器件，实验由ＳＡＷＦ器件得到的时钟抖动较小，最大时钟抖动为０．３ｕｓ（４．５°），在９连“０”时，时钟性能无明显下降，并具有电路结构简单、调整方便、时钟频率准确等优点。 展开更多
关键词 光中继器 抽时钟电路 声表面滤波器 光纤通信
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石英基极窄带声表面波滤波器的横向模式抑制研究
2
作者 冷俊林 肖强 +6 位作者 陆川 董加和 陈文远 谢晓 金巧 杜雪松 汪红兵 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期230-233,共4页
针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过... 针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过渡带产生的横向模式杂波的抑制,采用指条电极末端加厚的Piston结构,通过有限元仿真建模优化实现了横向模式的抑制。最后通过实验对比了横向模式优化前后的测试曲线,结果表明,采用Piston结构抑制后SAW滤波器的最小插损、相对带宽和带内波纹均有明显改善。 展开更多
关键词 石英 声表面波滤波器 极窄带 纵向耦合 横向模式
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双图案化技术制备声表面波滤波器的工艺路线
3
作者 季鸿雨 郭俊寒 +3 位作者 于海洋 张玉涛 史向龙 孟腾飞 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期215-219,共5页
研究了声表面波滤波器的光刻工艺。通过双图案化技术将一套密度高且复杂的芯片图形拆分成两套分立的、密度低且简单的图形。通过双重曝光技术先后将占空比差异较大的两组叉指电极曝光在同一层光刻胶中,降低了光刻工艺的复杂程度,提高了... 研究了声表面波滤波器的光刻工艺。通过双图案化技术将一套密度高且复杂的芯片图形拆分成两套分立的、密度低且简单的图形。通过双重曝光技术先后将占空比差异较大的两组叉指电极曝光在同一层光刻胶中,降低了光刻工艺的复杂程度,提高了芯片图形的光刻质量。芯片的性能与仿真结果一致。 展开更多
关键词 声表面滤波器 双图案化 叉指电极 占空比
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低频率漂移极窄带声表面波滤波器
4
作者 李桦林 詹雪奎 +3 位作者 伍平 陈彦光 董加和 马晋毅 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期20-23,共4页
保密通信系统对极窄带宽声表面波滤波器需求迫切,由于声表面波滤波器属于温度敏感型器件,在极端恶劣环境温度下器件滤波频率会发生较大漂移,无法保证有用信号提取和近端噪声抑制。为满足射频系统全温应用要求,对基于石英衬底的极窄带声... 保密通信系统对极窄带宽声表面波滤波器需求迫切,由于声表面波滤波器属于温度敏感型器件,在极端恶劣环境温度下器件滤波频率会发生较大漂移,无法保证有用信号提取和近端噪声抑制。为满足射频系统全温应用要求,对基于石英衬底的极窄带声表面波滤波器的频率温度特性进行仿真分析,研究了电极金属膜厚和电极金属化率对器件二阶温度特性拐点的影响,并通过声表面波滤波器结构参数优化,研制出低频率漂移的极窄带声表面波滤波器。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 极窄带宽 频率漂移
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基于单晶薄膜晶圆的低插损高抑制声表面波滤波器
5
作者 罗文汀 陈华志 +5 位作者 潘祺 米佳 肖强 贺艺 陈平静 张婷杨 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期683-687,共5页
针对新一代北斗导航系统对声表面波滤波器提出的低插损、高抑制需求,设计了一种单晶薄膜晶圆膜层结构,并建立了COM数据库和全三维电磁模型。将高频谐振器接入并联电路,在滤波器高端引入一个零点,在不改变原有插损、矩形度的情况下,提升... 针对新一代北斗导航系统对声表面波滤波器提出的低插损、高抑制需求,设计了一种单晶薄膜晶圆膜层结构,并建立了COM数据库和全三维电磁模型。将高频谐振器接入并联电路,在滤波器高端引入一个零点,在不改变原有插损、矩形度的情况下,提升了滤波器的高端带外抑制。所研制的薄膜声表面波滤波器,其中心频率为1 650 MHz,插入损耗为0.65 dB,带外抑制高达61.3 dBc,矩形系数(BW_(-40 dB)/BW_(-1 dB))为1.78,相对带宽为4.15%。 展开更多
关键词 低插入损耗 高带外抑制 单晶薄膜晶圆 薄膜声表面波滤波器
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基于OEE算法的多品种混线声表面波滤波器晶圆制造生产线产能诊断和改善
6
作者 卢丹丹 冷俊林 +2 位作者 吴金臻 程娅莉 杨京 《压电与声光》 北大核心 2025年第5期834-839,共6页
声表面波滤波器晶圆制造生产线设备价值高,具备多品种混线特点的生产线需要提升设备产能利用率,实时评估产能和有针对性地改善,以快速满足市场需要和提高投资效益。本文创新地将设备综合效率(Overall Equipment Effectiveness,简称OEE)... 声表面波滤波器晶圆制造生产线设备价值高,具备多品种混线特点的生产线需要提升设备产能利用率,实时评估产能和有针对性地改善,以快速满足市场需要和提高投资效益。本文创新地将设备综合效率(Overall Equipment Effectiveness,简称OEE)应用于声表面波滤波器晶圆制造产能诊断中,研究建立了诊断指标体系和计算模型,并应用到某企业工艺线产能提升中。结果表明,产能诊断和改善准确性提升,降低投资额效果明显,可用于帮助企业开展产线建设。 展开更多
关键词 声表面波滤波器晶圆制造生产线 多品种混线 产能瓶颈 OEE
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声表面波滤波器平行封焊飞溅多余物控制的研究
7
作者 郭俊寒 季鸿雨 +4 位作者 孟腾飞 何志新 陈瑞 史向龙 于海洋 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期225-229,共5页
通过分析因飞溅多余物而失效的声表面波滤波器,证明了飞溅多余物是由平行封焊工序产生的。研究了平行封焊工序中相关焊接参数对平行封焊的影响,通过调节焊接功率、时间和速度等参数,将焊缝宽度和焊点重叠区域面积调整至理想范围内,在保... 通过分析因飞溅多余物而失效的声表面波滤波器,证明了飞溅多余物是由平行封焊工序产生的。研究了平行封焊工序中相关焊接参数对平行封焊的影响,通过调节焊接功率、时间和速度等参数,将焊缝宽度和焊点重叠区域面积调整至理想范围内,在保证焊接质量的同时,将飞溅多余物产生的概率降至万分之二。另外,选取熔点更高的电镀镍盖板来代替化学镀镍盖板,进一步减少了平行封焊过程中飞溅多余物的产生。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 平行封焊 飞溅多余物 焊接参数
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一种横向耦合改进型结构极窄带声表面波滤波器研究 被引量：1
8
作者 张显洪 杨卫东 +3 位作者 肖强 蒋道军 张晟 施建峰 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期306-309,共4页
该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插... 该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插入损耗约为6 dB的极窄带声表面波滤波器并进行验证。结果表明,中心耦合条开腔结构的声表面波滤波器的相对带宽达到7.2‰,与不开腔结构5.2‰相对带宽相比,提升了2‰。这说明横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构变化,能改变极窄带声表面波滤波器的相对带宽。 展开更多
关键词 横向耦合 极窄带 声表面波滤波器 物理场COMSOL软件 相对带宽
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声表面波滤波器温度敏感性仿真研究
9
作者 王吉芳 郑露 +7 位作者 陈平静 潘虹芝 杜雪松 董加和 陆川 陈正林 吴浩东 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期310-314,共5页
针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复... 针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的温度敏感性,实现不同温度作用下SAW滤波器频率响应曲线、频率温度系数(TCF)值、损耗、带宽及带外抑制等性能的综合分析。通过41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW滤波器的优化设计与研制,其设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 温度敏感性 声表面波(SAW)滤波器 分层级联 全波仿真
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具有片上电感的改进型梯形声表面波滤波器
10
作者 杨茂坤 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期439-442,共4页
针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和... 针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和利用纵向耦合双模谐振器型滤波器(DMS)特殊接地结构相结合的电路拓扑结构,有助于提高带外抑制和设计灵活性。在标准的42°Y-X钽酸锂(LiTaO_(3))基板上制作滤波器,通过仿真分析得到中心频率2580 MHz、带宽50 MHz、插入损耗小于2.5 dB的高阶梯形射频SAW滤波器的最优拓扑结构。测试结果表明,通过改变电路拓扑结构关键参数和引入新的传输零点,可改善在高频段内的带外抑制特性。 展开更多
关键词 封装 声表面波(SAW)滤波器 片上电感 DMS结构 传输零点 带外抑制
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高阻带抑制宽带低损耗声表面波滤波器研究 被引量：7
11
作者 毛世平 曾庆高 +2 位作者 陈彦光 蒋世义 彭昱皓 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期337-339,共3页
基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB... 基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB,产品综合性能指标优异,有很好的实用性。 展开更多
关键词 大带宽 声表面波滤波器 五换能器 谐振器
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宽带低损耗声表面波滤波器 被引量：3
12
作者 曹亮 黄广伦 +3 位作者 秦廷辉 杨勋 朱勇 肖燕 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第4期209-213,共5页
介绍了利用在３６°Ｙ－ＸＬｉＴａＯ３、６４°Ｙ－Ｘ　ＬｉＮｂＯ３、４１°Ｙ－Ｘ　ＬｉＮｂＯ３基片漏声表面波设计制作的宽带低损耗滤波器，给出了用耦合模理论模拟的曲线和实验结果，其相对带宽为２ ．８％～６． ５... 介绍了利用在３６°Ｙ－ＸＬｉＴａＯ３、６４°Ｙ－Ｘ　ＬｉＮｂＯ３、４１°Ｙ－Ｘ　ＬｉＮｂＯ３基片漏声表面波设计制作的宽带低损耗滤波器，给出了用耦合模理论模拟的曲线和实验结果，其相对带宽为２ ．８％～６． ５％，插损为１．７～２．４ ｄＢ，带外抑制大于４５ ｄＢ。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 宽带 低损耗 耦合谐振滤波器
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一种宽带低损耗声表面波滤波器 被引量：5
13
作者 秦廷辉 朱自湘 周平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1998年第2期77-79,共3页
阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法，给出了理论计算方法和计算机模拟结果，最后给出了制作中心频率为４５３ＭＨｚ的声表面波滤波器实验结果，插入损耗为１．９ｄＢ，１ｄＢ带宽为６．６６ＭＨｚ，远端带... 阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法，给出了理论计算方法和计算机模拟结果，最后给出了制作中心频率为４５３ＭＨｚ的声表面波滤波器实验结果，插入损耗为１．９ｄＢ，１ｄＢ带宽为６．６６ＭＨｚ，远端带外抑制大于４５ｄＢ。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 反射器 叉指换能器 滤波器
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一种低损耗高抑制的声表面波滤波器 被引量：3
14
作者 陈彦光 董加和 +6 位作者 陈清华 蒋世义 陈华志 李桦林 陈尚权 陆川 赵雪梅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第4期453-455,共3页
该文采用周期调制及双通道设计的方法实现了一种低损耗高抑制声表面波滤波器的研制。该滤波器以64°Y-X LiNbO3为基片材料,其中心频率约475 MHz,插入损耗小于2 dB,阻带抑制优于60 dB及1 dB相对带宽约5%。研制的滤波器具有低插损及... 该文采用周期调制及双通道设计的方法实现了一种低损耗高抑制声表面波滤波器的研制。该滤波器以64°Y-X LiNbO3为基片材料,其中心频率约475 MHz,插入损耗小于2 dB,阻带抑制优于60 dB及1 dB相对带宽约5%。研制的滤波器具有低插损及高阻带抑制的特性,结果表明该设计方法具有很好的实用性。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 周期调制 三换能器
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一种窄带温补型声表面波滤波器 被引量：3
15
作者 冷俊林 董加和 +7 位作者 陆川 陈运祥 李桦林 陈尚权 彭霄 寇俊 唐永红 米佳 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第1期67-70,共4页
该文介绍了一种频率温度系数接近0的窄带温补型声表面波滤波器。该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底,温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜,利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌。制作了温补型声表面波滤波器样品并进... 该文介绍了一种频率温度系数接近0的窄带温补型声表面波滤波器。该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底,温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜,利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌。制作了温补型声表面波滤波器样品并进行了测试。测试结果表明,该温补型声表面波滤波器的中心频率约1360 MHz,在-55~85℃内频率漂移仅约390 kHz,频率温度系数约-2×10^-6/℃,插入损耗约1.3 dB。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 温补型声表面波 频率温度系数
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ZnO/蓝宝石结构声表面波滤波器试验研究 被引量：2
16
作者 董加和 陈运祥 +4 位作者 冷俊林 张显洪 张永川 王岚 王洁 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期954-956,共3页
该文从理论上计算得到了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构的声表面波相速度和机电耦合系数色散曲线。依据该色散曲线设计了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构声表面波滤波器。采用在蓝宝石衬底上先制备ZnO薄膜然后再制作芯片结构的方案研制出了声表面... 该文从理论上计算得到了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构的声表面波相速度和机电耦合系数色散曲线。依据该色散曲线设计了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构声表面波滤波器。采用在蓝宝石衬底上先制备ZnO薄膜然后再制作芯片结构的方案研制出了声表面波器件样品。研制过程中生长出了a面结构的ZnO薄膜,其中厚膜样品测试得到了3种声波模式,即模式0、1及2,模式0、1和2的频率分别为1 073.79 MHz,1 290.63 MHz和1 572.3 MHz,因此,间接测得了模式0、1和2的相速度分别为3 865.67m/s,4 646.25m/s和5 660.27m/s。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 蓝宝石 相速度 机电耦合系数 ZnO膜
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基于变周期反射栅结构的梯形SAW滤波器设计
17
作者 郝焰莹 王红亮 +2 位作者 张鹏 张昆 张玮莉 《压电与声光》 北大核心 2025年第5期818-822,共5页
5G新无线系统(NR)的发展要求滤波器具有更高的性能,因此对谐振器的性能也提出了更高的要求。谐振器是组成滤波器的关键器件,位于谐振频率(fr)和反谐振频率(fa)附近的杂散寄生响应将严重影响滤波器的频率响应特性,因此提出了一种变周期... 5G新无线系统(NR)的发展要求滤波器具有更高的性能,因此对谐振器的性能也提出了更高的要求。谐振器是组成滤波器的关键器件,位于谐振频率(fr)和反谐振频率(fa)附近的杂散寄生响应将严重影响滤波器的频率响应特性,因此提出了一种变周期和加厚的反射栅结构。通过综合考虑谐振器反射栅的周期值和电极厚度,对存在于fr和fa周围的杂散模态进行消除。结果表明,优化后的滤波器具有更低的插入损耗和更高的矩形系数。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 谐振器 有限元法 低插入损耗 高矩形系数
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声表面波谐振滤波器中纵横向耦合模式的研究及其复合应用 被引量：3
18
作者 张燕 林彬 +1 位作者 马晓东 章德 《南京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期553-559,共7页
在通常的声表面波谐振滤波器中,由于采用的模式不同,纵向耦合谐振器具带宽大和插损低,带外抑制较差的特点;而横向耦合谐振器则具有带外抑制高,低插损及通带较窄的特点,为了综合两种滤波器的优点,采用了一种改进的滤波器结构,可同时利用... 在通常的声表面波谐振滤波器中,由于采用的模式不同,纵向耦合谐振器具带宽大和插损低,带外抑制较差的特点;而横向耦合谐振器则具有带外抑制高,低插损及通带较窄的特点,为了综合两种滤波器的优点,采用了一种改进的滤波器结构,可同时利用纵向与横向耦合模式,得到既有较大带宽又有高带外抑制的声表面波谐振滤波器,运用耦合膜理论对纵横向模式的复合进行了分析,并在计算机上对这种结构的滤波器特性作了模拟,实验结果与模拟结果得到了较好的吻合。 展开更多
关键词 声表面波谐振滤波器 纵向耦合 横向耦合 耦合模式 耦合膜理论
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GSM用低损耗声表面波滤波器的设计 被引量：2
19
作者 秦廷辉 黄广伦 +1 位作者 曹亮 朱勇 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第4期249-252,280,共5页
　报道了双模声表面波滤波器（ Ｓ Ａ Ｗ Ｆ）的研究结果和设计出的 Ｇ Ｓ Ｍ 用９０２５ Ｍ Ｈｚ的 Ｓ Ａ Ｗ Ｆ。对双膜 Ｓ Ａ Ｗ Ｆ 的基本原理和分析方法进行了描述，并给出理论模拟结果，对几个关键参数进行了比较计算。研... 　报道了双模声表面波滤波器（ Ｓ Ａ Ｗ Ｆ）的研究结果和设计出的 Ｇ Ｓ Ｍ 用９０２５ Ｍ Ｈｚ的 Ｓ Ａ Ｗ Ｆ。对双膜 Ｓ Ａ Ｗ Ｆ 的基本原理和分析方法进行了描述，并给出理论模拟结果，对几个关键参数进行了比较计算。研究表明，双模 Ｓ Ａ Ｗ Ｆ 具有低损耗、宽带的特性， 较好地满足了 Ｇ Ｓ Ｍ 用９０２５ Ｍ Ｈｚ的 Ｓ Ａ Ｗ Ｆ电性能要求。 展开更多
关键词 GSM 声表面波滤波器 双模SAWF 设计
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基于纵向耦合结构的宽带声表面波滤波器设计 被引量：2
20
作者 蒋世义 张幸 +2 位作者 陈彦光 蒋欣 董加和 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第3期315-317,共3页
基于纵向耦合五换能器结构,采用41°YX-LiNbO3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232MHz,3dB带宽23.5MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗-3dB,相对带宽达到10.1%,矩形系数小于2.5,阻带抑制大于40dB,产品综合性能指标优异,有... 基于纵向耦合五换能器结构,采用41°YX-LiNbO3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232MHz,3dB带宽23.5MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗-3dB,相对带宽达到10.1%,矩形系数小于2.5,阻带抑制大于40dB,产品综合性能指标优异,有很好的实用性。 展开更多
关键词 大带宽 声表面波滤波器 五换能器
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