期刊文献+
共找到329篇文章
< 1 2 17 >
每页显示 20 50 100
基于电活性高分子声表面波CO气体传感器研究 被引量:2
1
作者 张朋 陈明 +1 位作者 何鹏举 马戎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第5期709-712,716,共5页
为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,对基于聚苯胺敏感膜的多层结构声表面波气体传感器进行了试验与理论研究,并推导了声表面波气体传感器的敏感作用公式。传感器采用声表面波双通道带延迟线的谐振器结构,将电活性... 为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,对基于聚苯胺敏感膜的多层结构声表面波气体传感器进行了试验与理论研究,并推导了声表面波气体传感器的敏感作用公式。传感器采用声表面波双通道带延迟线的谐振器结构,将电活性高分子CO气体敏感材料(掺杂有In2O3的聚苯胺)覆盖在一条延迟线路上形成敏感膜(0.5~1.2μm)。将此声表面波CO气体传感器放在CO气体中在-40~+85℃范围内进行测试实验,实验结果显示,该声表面波CO传感器的敏感性好,敏感速度和恢复速度快,精度高。 展开更多
关键词 声表面波co气体传感器 电活性高分子 聚苯胺 多层结构表面波器件
在线阅读 下载PDF
声表面波CO气体传感器温度误差补偿方法研究 被引量:5
2
作者 张朋 陈明 何鹏举 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第1期3-6,22,共5页
要提高声表面波(SAW)气体传感器的测量精确度,温度补偿是主要难题。目前有许多补偿方法,但其效果不佳。采用软件方法进行温度补偿的研究在国内外已成热点,但选用神经网络对声表面波气体传感器进行温度补偿罕见报道。该文以西北工业大学... 要提高声表面波(SAW)气体传感器的测量精确度,温度补偿是主要难题。目前有许多补偿方法,但其效果不佳。采用软件方法进行温度补偿的研究在国内外已成热点,但选用神经网络对声表面波气体传感器进行温度补偿罕见报道。该文以西北工业大学研发的声表面波CO气体传感器为研究对象,通过理论分析和实验,得到了声表面波CO气体传感器的温度特性曲线。提出了一种利用BP人工神经网络对声表面波CO气体传感器温度误差进行修正的新方法。计算机仿真和试验结果表明,该法能有效改善传感器的输出特性,且速度快,精度高,鲁棒性强,便于用硬件实现,具有较高的推广应用价值。 展开更多
关键词 表面波 co气体传感器 温度误差 补偿方法 BP神经网络
在线阅读 下载PDF
基于聚苯胺/In_2O_3的声表面波CO气体传感器研究 被引量:1
3
作者 张朋 陈明 何鹏举 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第3期302-304,308,共4页
为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,在ST切型石英晶片上成功实现了一种新型的室温下延迟线型声表面波CO气体传感器。传感器采用双通道延迟线结构,在一条延迟线路上采用光刻技术构造出一个方形敏感区,将掺杂有In2O3... 为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,在ST切型石英晶片上成功实现了一种新型的室温下延迟线型声表面波CO气体传感器。传感器采用双通道延迟线结构,在一条延迟线路上采用光刻技术构造出一个方形敏感区,将掺杂有In2O3的聚苯胺CO气体敏感材料覆盖在方形敏感区形成敏感膜(0.5~1.2μm)。在-40^+85℃间的CO气体中,对此气体传感器进行测试实验,实验结果显示该声表面波CO传感器具有好的敏感性、快的敏感速度和恢复速度、高的精度。 展开更多
关键词 表面波 质量沉积效应 聚苯胺 气体传感器 敏感特性
在线阅读 下载PDF
一种声表面波NH_(3)传感器的研制及性能优化
4
作者 许峥 范理 +2 位作者 徐晓东 程利平 张淑仪 《南京大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第1期47-57,共11页
氨气(NH_(3))是人类生活与化工生产中最常见的气体之一.高浓度的NH_(3)对人体与环境会产生危害,需要开发高灵敏度的NH_(3)传感器对痕量的NH_(3)进行检测,因此,提出了一种用于室温下检测痕量NH_(3)的声表面波传感器.该传感器是在128°... 氨气(NH_(3))是人类生活与化工生产中最常见的气体之一.高浓度的NH_(3)对人体与环境会产生危害,需要开发高灵敏度的NH_(3)传感器对痕量的NH_(3)进行检测,因此,提出了一种用于室温下检测痕量NH_(3)的声表面波传感器.该传感器是在128°YX⁃LiNbO_(3)压电基底上生长一层还原氧化石墨烯(Reduced Graphere Oxide,RGO)敏感层,并通过真空溅射的方法在敏感层上镀一层铂(Pt)来进一步增强传感器的传感能力.实验表明,该传感器具有高灵敏度,在室温下对浓度为50 ppm的NH_(3)能获得8.68 kHz的频率偏移.此外,研究了湿度与背景气对传感器性能的影响,实验结果表明,较高的湿度有利于提高传感器灵敏度,并且传感器在氩气背景气中的灵敏度稍高于在空气背景气中的灵敏度.该传感器的响应与NH_(3)浓度呈线性关系,并且具有良好的可重复性与稳定性. 展开更多
关键词 表面波传感器 石墨烯 NH_(3)传感器
在线阅读 下载PDF
基于氧化石墨烯的高灵敏DMMP声表面波传感器
5
作者 张颖 金晶 +4 位作者 杨世林 张嵩 胡文韬 阮林萍 蔡建兵 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期246-250,共5页
以沙林的模拟物甲基磷酸二甲酯(DMMP)为检测对象,开发了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)DMMP气体传感器。该传感器利用半导体平面工艺在石英基底上沉积金属铝换能器,形成延迟线结构,并通过滴涂法在声传播路径上沉积GO气敏薄膜。... 以沙林的模拟物甲基磷酸二甲酯(DMMP)为检测对象,开发了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)DMMP气体传感器。该传感器利用半导体平面工艺在石英基底上沉积金属铝换能器,形成延迟线结构,并通过滴涂法在声传播路径上沉积GO气敏薄膜。在室温条件下,该SAW传感器在1 ppm至40 ppm的DMMP浓度范围内展现出高灵敏度(0.6 mV/ppm)和快速响应(T_(90)=45 s)。此外,该传感器具有较好的稳定性,放置两周后其传感性能衰退较小。 展开更多
关键词 表面波 DMMP传感器 氧化石墨烯 高灵敏
在线阅读 下载PDF
具有快速响应特性的TiO_(2)薄膜声表面波湿度传感器研究
6
作者 苏朝葵 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期698-703,共6页
湿度作为环境监测和工业过程控制的关键参数,在多领域具有重要的应用价值,尤其在核电站中安全壳内湿度控制对设备稳定及放射性物质管理意义重大。以声表面波(SAW)谐振器为传感平台,用磁控溅射法沉积TiO_(2)薄膜作为湿敏薄膜,研究了TiO_... 湿度作为环境监测和工业过程控制的关键参数,在多领域具有重要的应用价值,尤其在核电站中安全壳内湿度控制对设备稳定及放射性物质管理意义重大。以声表面波(SAW)谐振器为传感平台,用磁控溅射法沉积TiO_(2)薄膜作为湿敏薄膜,研究了TiO_(2)薄膜沉积时间对SAW湿度传感器性能的影响。实验采用具有高品质因数(Q)值的SAW单端对谐振器,通过磁控溅射系统在不同溅射时间下制备TiO_(2)薄膜。采用扫描电子显微镜、X线衍射和能谱对材料进行表征分析,搭建检测系统对湿度性能进行测试。结果表明,在SAW谐振器上成功制备了TiO_(2)薄膜,其为结晶性多晶薄膜。沉积60 min,TiO_(2)薄膜的SAW传感器感湿能力较好,该传感器平均灵敏度约为-5.22 kHz/%,湿滞为9.0%,当相对湿度从10%快速增加至70%时,响应时间约为14.3 s,从70%快速降低至10%的恢复时间约为11.5 s,与已报道的基于TiO_(2)材料的湿度传感器相比,其具有更快的响应恢复速度。 展开更多
关键词 表面波 湿度传感器 TiO_(2)薄膜 射频磁控溅射
在线阅读 下载PDF
声表面波气体传感器研究进展 被引量:1
7
作者 崔柏乐 杨启明 王文 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期827-839,共13页
声表面波(SAW)气体传感器以其独特的微纳声学传感结构和力-声-电多物理场耦合传感机制,表现出高灵敏度、快速响应、宽量程及微型轻质等特点,逐渐成为广受人们关注的新兴气体传感技术之一。该文从SAW传播及传感理论出发,详细介绍敏感膜... 声表面波(SAW)气体传感器以其独特的微纳声学传感结构和力-声-电多物理场耦合传感机制,表现出高灵敏度、快速响应、宽量程及微型轻质等特点,逐渐成为广受人们关注的新兴气体传感技术之一。该文从SAW传播及传感理论出发,详细介绍敏感膜式与非敏感膜式SAW气体传感效应及机制、传感器件设计与制备、传感信号采集与处理等相关研究进展,探讨了SAW气体传感器在新能源、航空航天、国防、工业控制及智能制造等众多领域的潜在应用,最后对其发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 表面波 气体传感 传感机理及效应 SAW传感器 SAW气体传感应用
在线阅读 下载PDF
一种高精度声表面波扭矩传感器 被引量:1
8
作者 周硕 高孜航 +2 位作者 肖强 王为标 范彦平 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期865-870,877,共7页
扭矩测量是衡量动力系统输出功率是否满足运行指标的重要手段,是动力设备运行状态和故障预警的关键信息来源。声表面波(SAW)传感器无源无线的特点有利于旋转工况下的转轴扭矩测量,避免了有源扭矩传感器在扭矩测量中能量和信号难以传输... 扭矩测量是衡量动力系统输出功率是否满足运行指标的重要手段,是动力设备运行状态和故障预警的关键信息来源。声表面波(SAW)传感器无源无线的特点有利于旋转工况下的转轴扭矩测量,避免了有源扭矩传感器在扭矩测量中能量和信号难以传输的问题。为实现高精度的声表面波扭矩传感,从压电基底材料选择、高品质因数(Q)值谐振器设计以及高精度SAW传感器回波信号频率解调算法三方面考虑,设计了一种高精度声表面波扭矩传感器。对所设计的声表面波扭矩传感器进行测试,结果表明,扭矩传感器的加载非线性误差为0.183%,卸载非线性误差为0.160%,加载重复性为0.260%,卸载重复性为0.103%,迟滞为0.299%,实现了一种高精度的无源扭矩传感。 展开更多
关键词 表面波 扭矩传感器 谐振器设计 有限元 频率解调算法
在线阅读 下载PDF
声表面波气体传感器研究进展 被引量:8
9
作者 何世堂 王文 +2 位作者 刘久玲 刘明华 李顺洲 《应用声学》 CSCD 北大核心 2013年第4期252-262,共11页
基于声表面波技术的气体传感器包括采用敏感膜和结合气相色谱两种方式。比较而言,采用敏感膜的声表面波气体传感器体积小、功耗低,适应小型化毒气报警器的发展要求,但可检测的气体种类少、灵敏度低、存在交叉干扰问题;声表面波与气相色... 基于声表面波技术的气体传感器包括采用敏感膜和结合气相色谱两种方式。比较而言,采用敏感膜的声表面波气体传感器体积小、功耗低,适应小型化毒气报警器的发展要求,但可检测的气体种类少、灵敏度低、存在交叉干扰问题;声表面波与气相色谱联用的气体分析仪灵敏度高、可检测气体种类多、很好地解决交叉干扰问题,特别适合于复杂大气背景条件下的气体成分分析。本文从传感器响应机理分析与物理功能结构两方面出发介绍了两类声表面波气体传感器的研究进展情况。 展开更多
关键词 表面波 气体传感器 敏感膜 气相色谱 灵敏度
在线阅读 下载PDF
基于多条耦合器的双声路声表面波气体传感器 被引量:5
10
作者 文常保 朱长纯 +2 位作者 刘君华 巨永锋 许宏科 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2543-2547,共5页
针对目前声表面波气体传感器在消除外界因素干扰及抑制体声波中存在的问题,提出一种基于多条耦合器的双声路声表面波气体传感器结构。由于该传感器中的双声路结构关于输入小波换能器左右对称,且具有相同的设计参数,所以该传感器可以消... 针对目前声表面波气体传感器在消除外界因素干扰及抑制体声波中存在的问题,提出一种基于多条耦合器的双声路声表面波气体传感器结构。由于该传感器中的双声路结构关于输入小波换能器左右对称,且具有相同的设计参数,所以该传感器可以消除由于外界测量条件改变而引起的扰动量。同时,由于将具有体声波抑制功能的多条耦合器应用到传感器中,所以能够对造成假响应信号的体声波进行有效地抑制。此外,该传感器中的输入换能器采用了小波函数包络进行加权,所以与传统等指长、等周期的均匀换能器相比提高了对频率响应曲线中旁瓣的抑制效果。中心频率为101.764 MHz SO2气体传感器的实现和测量结果表明,该气体传感器在测量范围内,对各种浓度的SO2气体具有好的响应特性:传感器在0.5×10-6到20×10-6浓度范围内,SO2气体浓度与输出频率参量信号之间具有比较理想的线性特性,测量的灵敏度约为6.5 kHz/10-6。 展开更多
关键词 表面波器件 多条耦合器 气体传感器 小波
在线阅读 下载PDF
声表面波化学战剂气体传感器的研究 被引量:10
11
作者 马晋毅 江洪敏 +1 位作者 李燕 杨靖 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第5期525-527,共3页
介绍了声表面波气体传感器的基本工作原理和设计方法,通过SAW芯片拓扑结构、敏感膜、覆膜工艺和信号处理电路等方面的优化,研制出两种SAW化学战剂气体传感器,具有灵敏度高、响应和解吸附快,抗干扰能力强的特点。
关键词 表面波 化学战剂 传感器
在线阅读 下载PDF
双电极叉指换能器声表面波低温传感器的设计与仿真分析
12
作者 叶梦莹 崔永俊 王红亮 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期871-877,共7页
为了应对低温环境下的温度测试需求,设计了一种具有双电极叉指换能器(IDT)的128°YX-LiNbO_(3)延迟线型声表面波(SAW)温度传感器。利用COMSOL软件搭建了温度传感器模型,确定了传感器的最佳模型参数,并在-196~100℃对传感器进行仿真... 为了应对低温环境下的温度测试需求,设计了一种具有双电极叉指换能器(IDT)的128°YX-LiNbO_(3)延迟线型声表面波(SAW)温度传感器。利用COMSOL软件搭建了温度传感器模型,确定了传感器的最佳模型参数,并在-196~100℃对传感器进行仿真测试。结果表明,采用双电极叉指结构的传感器的机电耦合系数达到5.35%,同时传感器的谐振频率与温度呈现出良好的线性关系,温度灵敏度为26.2 kHz/℃,频率温度系数达到-83.4×10^(-6)/℃,证明了LiNbO_(3)在低温环境下的可靠性。 展开更多
关键词 表面波 温度传感器 低温 双电极叉指换能器 有限元
在线阅读 下载PDF
声表面波气体传感器发展概况 被引量:6
13
作者 何世堂 李顺洲 +1 位作者 王文 刘久玲 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期117-120,147,共5页
声表面波气体传感器包括采用敏感膜和结合气相色谱两种方式。比较而言,采用敏感膜的声表面波气体传感器体积小、功耗低,但可检测的气体种类少、灵敏度低、存在交叉干扰问题;声表面波与气相色谱联用的气体分析仪灵敏度高、可检测气体种... 声表面波气体传感器包括采用敏感膜和结合气相色谱两种方式。比较而言,采用敏感膜的声表面波气体传感器体积小、功耗低,但可检测的气体种类少、灵敏度低、存在交叉干扰问题;声表面波与气相色谱联用的气体分析仪灵敏度高、可检测气体种类多、很好地解决交叉干扰问题,特别适合于复杂大气背景条件下的气体成分分析。文中介绍了两类声表面波气体传感器的发展概况。 展开更多
关键词 表面波 传感器 敏感膜 气相色谱
在线阅读 下载PDF
声表面波SO_2气体传感器敏感膜的研究 被引量:7
14
作者 魏培永 朱长纯 刘君华 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第9期17-19,24,共4页
为了深入研究声表面波 (SAW )SO2 气敏传感器频移与浓度之间的关系 ,对聚苯胺敏感膜的SAWSO2 传感器进行了试验与理论研究 ,并用双能谷模型推导了有关公式 .解释了频移与浓度关系曲线中的拐点问题 ,为聚苯胺敏感膜的SAW传感器应用提供... 为了深入研究声表面波 (SAW )SO2 气敏传感器频移与浓度之间的关系 ,对聚苯胺敏感膜的SAWSO2 传感器进行了试验与理论研究 ,并用双能谷模型推导了有关公式 .解释了频移与浓度关系曲线中的拐点问题 ,为聚苯胺敏感膜的SAW传感器应用提供了理论和实践依据 .将有机物聚苯胺 (PAn)和硫化镉 (CdS)两者的气敏特性进行了对比 ,得出了SO2 气敏膜具有双峰吸收的特点 ,并从理论上进行了论证 ,这对研究其他气敏膜也有指导意义 . 展开更多
关键词 表面波传感器 二氧化硫气体传感器 敏感膜
在线阅读 下载PDF
覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器机理分析 被引量:3
15
作者 谢晓 王文 +1 位作者 刘明华 何世堂 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1627-1630,共4页
采用微扰理论分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器(SH-SAW)的响应机理。以针对有机磷毒剂具有良好选择性的含氟多羟基聚硅氧烷(FPOL)膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应... 采用微扰理论分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器(SH-SAW)的响应机理。以针对有机磷毒剂具有良好选择性的含氟多羟基聚硅氧烷(FPOL)膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响。计算结果表明,SH-SAW气体传感器对于不同浓度的甲基磷酸二甲酯(DMMP)气体响应随FPOL膜厚和传感器工作频率的改变呈现非线性变化。为了获得线性特性的传感器响应及较小的声波衰减,在一定的DMMP气体浓度检测范围内,通过理论计算提取出了优化的FPOL敏感膜膜厚和传感器工作频率等参数。 展开更多
关键词 气体传感器 响应机理 水平剪切型表面波 聚合物敏感膜
在线阅读 下载PDF
声表面波气体传感器的检测优化设计 被引量:2
16
作者 李淑红 赵启大 +1 位作者 廖继平 田爽 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期912-914,952,共4页
介绍了声表面波气体传感器的检测原理。设计了传感器的驱动电路,把声表面波器件作为反馈回路中的一个感抗元件,使回路产生振荡,同时检测输出频率和幅度的变化,比以往单一检测频率的变化,提高了检测精度。采用基底为ST切石英延迟线型结构... 介绍了声表面波气体传感器的检测原理。设计了传感器的驱动电路,把声表面波器件作为反馈回路中的一个感抗元件,使回路产生振荡,同时检测输出频率和幅度的变化,比以往单一检测频率的变化,提高了检测精度。采用基底为ST切石英延迟线型结构,镀上金属氧化物,测试了对二氧化氮的敏感特性。由于气体和氧化物的相互作用,输出频率和幅度均下降。当把测试箱打开放出气体,频率很快恢复到初始频率点,而幅度基本保持平稳。 展开更多
关键词 表面波 气体传感器 延迟线 二氧化氮
在线阅读 下载PDF
氧化锌声表面波气体传感器对氨气的检测 被引量:3
17
作者 郭袁俊 李伟 +1 位作者 徐世珍 祖小涛 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2017年第12期9-12,共4页
以乙酸锌水溶液为前驱液,采用旋涂法在石英声表面波器件上制备了氧化锌纳米薄膜,研究退火时间对气体声表面波传感器的频率响应及其机制的影响。利用X射线衍射仪对氧化锌纳米薄膜的晶体结构进行了分析,并利用扫描电镜对其表面形貌进行了... 以乙酸锌水溶液为前驱液,采用旋涂法在石英声表面波器件上制备了氧化锌纳米薄膜,研究退火时间对气体声表面波传感器的频率响应及其机制的影响。利用X射线衍射仪对氧化锌纳米薄膜的晶体结构进行了分析,并利用扫描电镜对其表面形貌进行了表征。利用谐振电路测试了声表面波传感器对氨气的频率响应特性。实验中将声表面波器件分为A/B两组进行实验:A组退火1h,制备的气体传感器检测时出频率偏移△f_A>0;B组经过5 h退火处理,输出频率偏移△f_B分两个阶段,初始△f_B>0然后减小变为△f_B<0。对所得的实验结果进行了理论分析。 展开更多
关键词 氧化锌纳米薄膜 表面波传感器 退火 频移
在线阅读 下载PDF
二维双通路正交式声表面波矢量磁场传感器
18
作者 吴雨桐 贾雅娜 王文 《压电与声光》 北大核心 2024年第6期860-864,共5页
声表面波(SAW)矢量磁场传感器因对空间磁场方向具有高度指向性而展现出良好的应用前景。然而单通路传感器存在的响应随机性和可靠性较低等问题,限制了其在精确磁场测量中的应用。针对高灵敏空间矢量磁场的检测需求,提出了一种高灵敏的SA... 声表面波(SAW)矢量磁场传感器因对空间磁场方向具有高度指向性而展现出良好的应用前景。然而单通路传感器存在的响应随机性和可靠性较低等问题,限制了其在精确磁场测量中的应用。针对高灵敏空间矢量磁场的检测需求,提出了一种高灵敏的SAW矢量磁场传感器及二维双通路正交式结构设计方法。该传感器采用平面半导体工艺在ST-90°X石英基底上沉积金属铝叉指换能器,形成延迟线结构,并利用磁控溅射技术在声传播路径上沉积各向异性的钴铁硼(CoFeB)磁敏薄膜。实验结果表明,所设计的200 MHz SAW磁场传感器在SAW传播方向与外加磁场垂直时,其相位响应灵敏度为55.214(°)/Oe,且在不同方向磁场下差异明显,展现出良好的重复性与稳定性。二维双通路正交式结构保持了单通路元件的高灵敏度特性,为实现高精度二维全平面磁场检测提供了新的思路与方案。 展开更多
关键词 表面波 矢量磁场传感器 钴铁硼薄膜 磁场指向性
在线阅读 下载PDF
ZnO薄膜声表面波型SF6气体传感器的研究 被引量:1
19
作者 朱长纯 陈文会 文常保 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期445-449,461,共6页
提出了一种基于ZnO薄膜的声表面波型SF6气体传感器.将利用微乳液法制备的ZnO颗粒制作在声表面波器件上,形成了一种对SF6气体具有物理吸附和脱吸附作用的ZnO薄膜.应用小波函数加权的输入换能器和具有抑制体声波作用的多条耦合器到声表面... 提出了一种基于ZnO薄膜的声表面波型SF6气体传感器.将利用微乳液法制备的ZnO颗粒制作在声表面波器件上,形成了一种对SF6气体具有物理吸附和脱吸附作用的ZnO薄膜.应用小波函数加权的输入换能器和具有抑制体声波作用的多条耦合器到声表面波器件中,传感器的频率响应特性得到了提高.声表面波器件的双声路结构消除了因外界测量条件改变引起的测量误差,进一步提高了传感器的可靠性和准确性.实验结果表明,基于ZnO薄膜的声表面波型SF6气体传感器具有较好的重复性和较强的连续测量特性,在测量范围内对各种浓度的SF6气体具有好的响应特性,传感器在φ(SF6)为0.5×10-6到20×10-6范围内的线性灵敏度大约为7.3 kHz/10-6,但对CO2、N2具有一定的交叉灵敏度. 展开更多
关键词 ZNO薄膜 表面波器件 SF6气体 气体传感器
在线阅读 下载PDF
声表面波气体传感器振荡电路设计 被引量:1
20
作者 李川 杜晓松 +1 位作者 胡佳 蒋亚东 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第1期124-126,共3页
基于反馈振荡器的工作原理,采用对振荡电路的开环增益和相位进行检测和调节的方法,设计制作了用于声表面波(SAW)气体传感器的振荡电路。根据开环测量的结果,通过改变匹配电感值来使得0°相位在增益峰值附近,以获得稳定的振荡和提高... 基于反馈振荡器的工作原理,采用对振荡电路的开环增益和相位进行检测和调节的方法,设计制作了用于声表面波(SAW)气体传感器的振荡电路。根据开环测量的结果,通过改变匹配电感值来使得0°相位在增益峰值附近,以获得稳定的振荡和提高振荡器可承受的最大传感器插损。在印制电路板(PCB)版图设计中,采用50Ω特性阻抗和保证最短RF回流电流路径等措施以实现稳定的振荡。基于上述方法,分别制作了频率为315,433.92 MHz的振荡电路。后者的噪声幅度在20 Hz以内,标准方差约为3.92。该实验结果表明:此设计方法具有快速、便捷、可靠的优点,设计的振荡电路具有较高的稳定性,可广泛用于SAW传感器设计。 展开更多
关键词 反馈振荡器 振荡电路 表面波 气体传感器
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 17 下一页 到第
使用帮助 返回顶部