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声表面波陀螺仪研究进展 被引量:2
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作者 王文 邵秀婷 《信号处理》 CSCD 北大核心 2019年第9期1476-1483,共8页
高精度的惯性导航系统是水下航行器顺利完成水下作业的关键之一,陀螺仪作为一种重要的惯性敏感元件,是构成惯性导航系统的基础核心器件。基于声表面波陀螺效应的新型陀螺仪具有优良的抗振能力、良好的可靠性与稳定性等特点而引起人们的... 高精度的惯性导航系统是水下航行器顺利完成水下作业的关键之一,陀螺仪作为一种重要的惯性敏感元件,是构成惯性导航系统的基础核心器件。基于声表面波陀螺效应的新型陀螺仪具有优良的抗振能力、良好的可靠性与稳定性等特点而引起人们的浓厚兴趣,在大冲击等恶劣环境具有良好的应用前景。本文对声表面波陀螺仪的研究进展进行回顾,特别介绍了一种设置金属点阵的陀螺效应增强模式SAW陀螺仪。该结构由在同一压电晶体上反向设置的两个SAW传感器件构成,在其叉指换能器中间分布有金属点阵。结合层状介质中声波传输特性的研究方法对压电晶体及金属点阵参数对传感器响应特性的影响进行建模分析,设计并实验研制了工作频率为30MHz、80MHz及95MHz的SAW陀螺仪。实验结果表明,该结构陀螺仪实现了良好的温度补偿特性,并通过在SAW传播路径上合理设置的金属点阵,大幅提升了传感器的检测灵敏度。 展开更多
关键词 声表面波陀螺 声表面波陀螺效应 惯性导航 哥氏力
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声表面波陀螺及在惯性导航系统中的应用
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作者 江城 杨军锋 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2005年第S4期336-338,342,共4页
介绍了 SAW 陀螺的基本原理以及输出电压公式,研究了 SAW 惯性导航系统的基本原理框架,并给出单自由度 SAW 陀螺的具体配置方案。应用联合卡尔曼滤波及数据融合来处理 SAW 测量的角速度,提高系统的测量精度,同时应用六陀螺多余度配置方... 介绍了 SAW 陀螺的基本原理以及输出电压公式,研究了 SAW 惯性导航系统的基本原理框架,并给出单自由度 SAW 陀螺的具体配置方案。应用联合卡尔曼滤波及数据融合来处理 SAW 测量的角速度,提高系统的测量精度,同时应用六陀螺多余度配置方案,提高系统的可靠性及精度。 展开更多
关键词 表面波 声表面波陀螺 叉指换能器 惯性导航系统 配置方案
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压电晶体切向对声表面波陀螺刻度因子的影响 被引量:1
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作者 路书祥 陈淑芬 +3 位作者 李红浪 付雷 邹正锋 孟彦彬 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第1期10-14,共5页
刻度因子是陀螺的重要指标,而压电晶体切向对声表面波(SAW)陀螺刻度因子有重要影响。首先以铌酸锂作为分析声波波传特性的基板材料,建立不同的波传角度和不同的切面与各种模态SAW波速的物理数学模型,接着探讨旋转扰动时二次旋转欧拉角与... 刻度因子是陀螺的重要指标,而压电晶体切向对声表面波(SAW)陀螺刻度因子有重要影响。首先以铌酸锂作为分析声波波传特性的基板材料,建立不同的波传角度和不同的切面与各种模态SAW波速的物理数学模型,接着探讨旋转扰动时二次旋转欧拉角与X切、Y切及Z切等铌酸锂晶体中的陀螺效应,分析不同切向刻度因子的变化规律。根据计算结果,铌酸锂晶体中X切Y传(XY)、128°Y切X传(128°YX)、30°ZX、ZX和150°ZX对应的声表面波陀螺刻度因子最大,同时也得出了适合应用于声表面波陀螺的相对敏感切向为声表面波波速接近于慢横波时对应的切向。 展开更多
关键词 表面波(SAW)陀螺 表面波相速度 刻度因子
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新型驻波模式的声表面波MEMS-IDT陀螺仪
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作者 王文 何世堂 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期299-301,305,共4页
文中提出了一种新型基于驻波模式的声表面波(SAW)MEMS-IDT陀螺仪,包括一个谐振腔内驻波反节点位置分布金属点阵的两端SAW谐振器和一组平行于谐振器设置的双延迟线型SAW振荡器。SAW谐振器形成稳定的驻波,由于旋转利用分布的金属点阵产生C... 文中提出了一种新型基于驻波模式的声表面波(SAW)MEMS-IDT陀螺仪,包括一个谐振腔内驻波反节点位置分布金属点阵的两端SAW谐振器和一组平行于谐振器设置的双延迟线型SAW振荡器。SAW谐振器形成稳定的驻波,由于旋转利用分布的金属点阵产生Coriolis力并激发垂直于旋转方向的二次SAW,并与SAW延迟线上传播的SAW产生相干效应,以此改变声波速度,从而导致延迟线型振荡器的频率输出发生变化。双延迟线振荡器结构有效地降低由于外围温度等干扰的影响。单相单向换能器(SPUDT)以及梳状换能器结构用于构建SAW延迟线,以改善振荡器的频率稳定性。所研制的用于构建陀螺仪的80 MHz两端谐振器以及延迟线器件的测试结果表现出低损耗等特点。利用旋转台对所研制的SAW陀螺仪进行性能评价,在0~1 000 deg/s范围内表现出良好的灵敏度(119 Hz/(deg·s))以及线性度性能。 展开更多
关键词 声表面波陀螺 两端谐振器 延迟线型振荡器 CORIOLIS力 COM
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声表面波微弱信号接收电路研究 被引量:2
5
作者 周敏 周向东 +1 位作者 王如根 江城 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2007年第3期62-64,共3页
由声表面波陀螺的基本原理以及原理公式推导声表面波陀螺的输出信号是频率电压信号。由于声表面波压电效应产生的电压信号非常微弱,一般放大不能分辨出信号电压和噪声电压。文中利用锁相放大的方法将此微弱的电压信号从噪声中提取放大,... 由声表面波陀螺的基本原理以及原理公式推导声表面波陀螺的输出信号是频率电压信号。由于声表面波压电效应产生的电压信号非常微弱,一般放大不能分辨出信号电压和噪声电压。文中利用锁相放大的方法将此微弱的电压信号从噪声中提取放大,解决了声表面波陀螺的信号放大问题。 展开更多
关键词 声表面波陀螺 微弱信号 接收电路 锁相放大
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先进微陀螺器件及微惯性测量单元最新研究进展 被引量:9
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作者 何杰 朴继军 +2 位作者 朱玲瑞 袁小平 胡少勤 《压电与声光》 CAS 北大核心 2019年第3期410-415,共6页
微纳加工技术与振动惯性技术的结合使惯性仪表技术发生了重大的变革,拓展了惯性技术在军用和民用领域的应用。高性能微惯性器件对军事装备和国民经济的发展起着越来越大的作用。该文基于美国国防高级研究计划局(DARPA)近年来在微惯性传... 微纳加工技术与振动惯性技术的结合使惯性仪表技术发生了重大的变革,拓展了惯性技术在军用和民用领域的应用。高性能微惯性器件对军事装备和国民经济的发展起着越来越大的作用。该文基于美国国防高级研究计划局(DARPA)近年来在微惯性传感器技术领域的资助项目,综合研究了微机电系统(MEMS)谐振陀螺、微光学陀螺(MOG)、声表面波(SAW)陀螺等微惯性传感器技术及微惯性测量单元的最新发展现状,并对其发展面临的技术挑战进行了详细地分析与评述。 展开更多
关键词 微纳加工技术 陀螺 微半球谐振陀螺 微光学陀螺 表面波(SAW)陀螺 微惯性测量单元
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声学惯性技术的发展现状 被引量:1
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作者 刘荣贵 袁小平 +1 位作者 何杰 马晋毅 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第2期266-270,共5页
声学惯性器件是一种新型的惯性器件,其具有工作频率高,品质因数Q值高,封装简单等特点,与其他惯性器件相比,声学惯性器件在体积和成本上拥有较大优势。该文在分析了国内、外相关声学惯性技术报道的基础上,对声学惯性技术的国内、外研究... 声学惯性器件是一种新型的惯性器件,其具有工作频率高,品质因数Q值高,封装简单等特点,与其他惯性器件相比,声学惯性器件在体积和成本上拥有较大优势。该文在分析了国内、外相关声学惯性技术报道的基础上,对声学惯性技术的国内、外研究现状及应用情况等进行了综合报道和评述,并对声学惯性技术的未来发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 学惯性技术 表面波(SAW)陀螺 波(BAW)陀螺 发展趋势
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共线TE-TM模式转换器中的陀螺效应
8
作者 赵毅 陈淑芬 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第4期470-471,475,共3页
简要介绍了声表面波(SAW)陀螺效应及TE-TM模式转换理论,提出了检测SAW陀螺效应的一种新方法。该方法的核心是通过模式耦合理论的作用,把SAW陀螺效应引起的器件轻微形变反应到器件耦合效率的变化中,通过检测特定偏振态的出射光强度进而... 简要介绍了声表面波(SAW)陀螺效应及TE-TM模式转换理论,提出了检测SAW陀螺效应的一种新方法。该方法的核心是通过模式耦合理论的作用,把SAW陀螺效应引起的器件轻微形变反应到器件耦合效率的变化中,通过检测特定偏振态的出射光强度进而推算出陀螺的转动角速度。讨论了检测SAW陀螺效应的实验方案,设计了检测系统,并推导出了陀螺效应的系统测量公式。 展开更多
关键词 表面波(SAW)陀螺效应 模式转换 光检测技术 LINBO3
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