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题名新型声表面波湿度传感器的研究
被引量：1
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作者
童筱钧
王心语
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机构
常州工学院电子信息与电气工程学院
上海电力学院能源与机械工程学院
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2014年第5期727-729,738,共4页
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基金
江苏基础研究计划基金资助项目(SBK200930229)
近代声学教育部重点实验室(南京大学)基金资助项目(0806)
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文摘
乐甫(Love)波其质点振动方向垂直于传播方向,同时又平行于基片表面,在基片法线方向上无振动分量。因此当基于Love波的电子器件在接触液体时Love波能量损耗很少,因而乐甫波声表面波(SAW)传感器主要用于液相检测。在石英上表面及在其上面淀积的SiO2薄膜中激发、传播的乐甫波对SiO2薄膜质量的变化很敏感,因此该文研究了基于乐甫波的湿度传感器感知气体环境的湿度含量。该文乐甫波湿度传感器采用42.75°Y-旋转切割石英基片,传播方向为[0°,132.75°,90°]。吸湿膜采用APCVD制作的多孔SiO2薄膜,此类膜比PECVD制作的SiO2膜疏松,吸湿、脱湿迅速。传感器灵敏度为62kHz/%RH,最大湿滞约3%,测得的湿敏特性、迟滞特性表明,Love波SAW湿度传感器线性度较好,实验验证了该结构具有很好的气体测试前景。
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关键词
乐甫(Love)波
声表面波湿度传感器
相对湿度
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Keywords
Love wave
SAW humidity sensor
relative humidity
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
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