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基于指条厚度优化的冷凝式声表面波气体传感器灵敏度提升方法
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作者 邹亮桃 刘久玲 +3 位作者 游然 刘明华 任伟 何世堂 《应用声学》 CSCD 北大核心 2022年第3期412-420,共9页
该文通过对声表面波谐振器指条厚度的优化提升了冷凝式气体传感器的灵敏度。基于流固耦合理论,利用有限元商业软件建立了有液膜负载和无液膜负载下的多物理场三维周期模型,并提取了相应的耦合模参量,利用耦合模模型及P矩阵级联技术,计... 该文通过对声表面波谐振器指条厚度的优化提升了冷凝式气体传感器的灵敏度。基于流固耦合理论,利用有限元商业软件建立了有液膜负载和无液膜负载下的多物理场三维周期模型,并提取了相应的耦合模参量,利用耦合模模型及P矩阵级联技术,计算了不同指条厚度下液膜负载引起的传感器响应,获得了冷凝式声表面波气体传感器灵敏度随指条厚度的变化关系。实验中制备了6种不同电极厚度的声表面波谐振器,并利用甲基膦酸二甲酯实验样品完成了传感器的响应测试,验证了理论分析的正确性。结果表明,冷凝式声表面波气体传感器的灵敏度随指条厚度的增加先变大后减小,最优归一化电极厚度为6.4%7.6%之间。该研究结果对进一步提升传感器灵敏度具有重要意义。 展开更多
关键词 冷凝式声表面波气体传感器 流固耦合理论 指条厚度优化 灵敏度
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基于电活性高分子声表面波CO气体传感器研究 被引量:2
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作者 张朋 陈明 +1 位作者 何鹏举 马戎 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第5期709-712,716,共5页
为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,对基于聚苯胺敏感膜的多层结构声表面波气体传感器进行了试验与理论研究,并推导了声表面波气体传感器的敏感作用公式。传感器采用声表面波双通道带延迟线的谐振器结构,将电活性... 为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,对基于聚苯胺敏感膜的多层结构声表面波气体传感器进行了试验与理论研究,并推导了声表面波气体传感器的敏感作用公式。传感器采用声表面波双通道带延迟线的谐振器结构,将电活性高分子CO气体敏感材料(掺杂有In2O3的聚苯胺)覆盖在一条延迟线路上形成敏感膜(0.5~1.2μm)。将此声表面波CO气体传感器放在CO气体中在-40~+85℃范围内进行测试实验,实验结果显示,该声表面波CO传感器的敏感性好,敏感速度和恢复速度快,精度高。 展开更多
关键词 表面波CO气体传感器 电活性高分子 聚苯胺 多层结构表面波器件
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《压电与声光》2010年第32卷总索引
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《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第6期I0001-I0015,共15页
关键词 压电陶瓷 压电 声表面波气体传感器 总索引 2010
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《舰船科学技术》2006年总目次
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《舰船科学技术》 北大核心 2006年第6期139-144,共6页
关键词 舰船科学技术 声表面波气体传感器 目次
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