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题名声表面波延迟线振荡器为核心的气体传感器
被引量：1
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作者
刘镇清
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机构
上海同济大学声学研究所
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
1992年第3期1-8,共8页
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文摘
声表面波(SAW)器件的工作频率随基片表面上的负载质量变化而发生漂移,通常利用这一性质作气相分析与检测,已经有了若干用SAW延迟线器件制成的化学传感器。传感器表面涂着一层有化学选择性的薄膜,这一涂层则在化学分析时有选择地吸收待测气体分子,涂层在吸收了气体后发生一些物理变化,因而这种传感器的灵敏度与SAW延迟线表面上的涂层对气体的吸收量有关。许多实际使用的传感器是用双SAW延迟线组成的,它们集成在一片基体上,并在一个延迟线表面上涂上气体吸附薄膜,而另一个则不涂任何物质。 本文讨论了这种传感器的若干问题,如温度影响、响应时间以及频率变化与气体浓度间关系的非线性。最后提出了在传感器应用时的改进方法与措施。
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关键词
声表面波器
气体传感器
振荡器
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Keywords
SAW device, Vapor Sensor
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
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