声表面波（SAW）中陀螺效应的理论研究 被引量：4

1

作者 陈明 邢珺 范正翥 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1995年第1期46-54,共9页

本文从定性、定量分析哥氏惯性力对声表面波传播特性的影响，详细推导了声表面波传播速度的改变量与各向同性传播介质旋转角速度的关系．并与光学中的法拉第（Ｆａｒａｄａｙ）效应相比，进一步说明了ＳＡＷ陀螺效应的产生原因。

关键词 声表面波(saw) 陀螺效应 哥氏力 波动方程 法拉第效应 传播速度 弹性系数 瑞利波 声表面波振荡器 离心力

在线阅读 下载PDF 职称材料

声表面波速度的计算 被引量：1

2

作者 俞宽新 张兰霞 刘韬 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第5期713-716,共4页

石英和铌酸锂晶体具有优良的压电性能,常用来制作声表面波(SAW)器件(如延迟线、滤波器、振荡器、卷积器、声光器件等)的基底。该文推导表面波晶体声学基本方程和表面波力学边界条件方程,使用一种新的计算表面波声速的循环迭代法,分别对... 石英和铌酸锂晶体具有优良的压电性能,常用来制作声表面波(SAW)器件(如延迟线、滤波器、振荡器、卷积器、声光器件等)的基底。该文推导表面波晶体声学基本方程和表面波力学边界条件方程,使用一种新的计算表面波声速的循环迭代法,分别对石英、铌酸锂2种晶体,在最佳的退耦声弧矢面,即yz平面内,系统计算沿不同方向的声表面波速度,并绘制出倒速度曲线。 展开更多

关键词 声表面波(saw) 倒速度曲线 石英晶体 铌酸锂晶体

在线阅读 下载PDF 职称材料

新型声表面波三轴加速度传感器的设计仿真 被引量：5

3

作者 郭欣榕 张永威 +1 位作者 谭秋林 张文栋 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第5期644-648,共5页

该文提出一种新型声表面波三轴加速度传感器,并对传感器进行了建模和有限元仿真分析,获得了不同加速度载荷下传感器结构的位移和应变分布。该传感器采用四端五梁结构,通过谐振器位置和算法的设计消除了温度漂移对x、y轴向加速度响应的影... 该文提出一种新型声表面波三轴加速度传感器,并对传感器进行了建模和有限元仿真分析,获得了不同加速度载荷下传感器结构的位移和应变分布。该传感器采用四端五梁结构,通过谐振器位置和算法的设计消除了温度漂移对x、y轴向加速度响应的影响,并实现了各轴向加速度的解耦。从理论和仿真上验证了所提出的三轴加速度传感器整体设计的可行性。结果表明,对传感器结构的模态分析为避免实际应用中对传感器的破坏提供了一定的依据。对所设计传感器进行模态分析,求得传感器的固有频率,以规避传感器的共振损伤。 展开更多

关键词 声表面波(saw) 硅酸镓镧 有限元模型 加速度传感器 温度漂移

在线阅读 下载PDF 职称材料

声表面波加速度计

4

作者 周绍明 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1990年第5期41-44,53,共5页

悬臂梁声表面波加速度计是一种高分辨率(10^(-4)-10^(-5)m/s^2,高灵敏度(10kHz/m/s^2在251MHz)及高稳定性(频率稳定度10^(-9))的加速度计.它具有成本低、重复性好、结构简单、易集成等特点.

关键词 声表面波器件 加速度计 saw

在线阅读 下载PDF 职称材料

初应力对压电层状结构声表面波传播性能的影响 被引量：9

5

作者 刘华 王铁军 王子昆 《力学学报》 EI CSCD 北大核心 2000年第4期491-496,共6页

研究了压电层状结构中初应力对广义Rayleigh波传播相速度和机电耦合性能的影响，通过求解合初应力的运动微分方程，对自由界面电学开路和短路两种情况得到了相应的相速度方程．给出了具体的数值算例，所得结果对于提高和改善声表面波器... 研究了压电层状结构中初应力对广义Rayleigh波传播相速度和机电耦合性能的影响，通过求解合初应力的运动微分方程，对自由界面电学开路和短路两种情况得到了相应的相速度方程．给出了具体的数值算例，所得结果对于提高和改善声表面波器件性能有参考意义． 展开更多

关键词 初应力 相速度 声表面波器件 压电层状结构 传播

在线阅读 下载PDF 职称材料

在旋转的半无限LiNbO_3上传播的声表面波 被引量：5

6

作者 李良儿 陈智军 +1 位作者 沈晓群 施文康 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2005年第2期80-84,共5页

声表面波(SAW)陀螺具有无源、无线、单层平面结构等优点。以目前国外研究小组所用的铌酸锂为对象,对含陀螺效应的声表面波的波动方程进行求解。用编制的程序进行了数值计算并绘制了基体绕各不同坐标轴旋转时,陀螺效应对铌酸锂表面传播... 声表面波(SAW)陀螺具有无源、无线、单层平面结构等优点。以目前国外研究小组所用的铌酸锂为对象,对含陀螺效应的声表面波的波动方程进行求解。用编制的程序进行了数值计算并绘制了基体绕各不同坐标轴旋转时,陀螺效应对铌酸锂表面传播的声表面波速度及对机电耦合系数影响的相关曲线,并对结果进行了分析。 展开更多

关键词 LINBO3 传播 半无限 声表面波(saw) 机电耦合系数 陀螺效应 坐标轴旋转 平面结构 波动方程 数值计算 相关曲线 铌酸锂 波速度 求解

在线阅读 下载PDF 职称材料

ZnO/蓝宝石结构声表面波滤波器试验研究 被引量：2

7

作者 董加和 陈运祥 +4 位作者 冷俊林 张显洪 张永川 王岚 王洁 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期954-956,共3页

该文从理论上计算得到了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构的声表面波相速度和机电耦合系数色散曲线。依据该色散曲线设计了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构声表面波滤波器。采用在蓝宝石衬底上先制备ZnO薄膜然后再制作芯片结构的方案研制出了声表面... 该文从理论上计算得到了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构的声表面波相速度和机电耦合系数色散曲线。依据该色散曲线设计了ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构声表面波滤波器。采用在蓝宝石衬底上先制备ZnO薄膜然后再制作芯片结构的方案研制出了声表面波器件样品。研制过程中生长出了a面结构的ZnO薄膜,其中厚膜样品测试得到了3种声波模式,即模式0、1及2,模式0、1和2的频率分别为1 073.79 MHz,1 290.63 MHz和1 572.3 MHz,因此,间接测得了模式0、1和2的相速度分别为3 865.67m/s,4 646.25m/s和5 660.27m/s。 展开更多

关键词 声表面波滤波器 蓝宝石 相速度 机电耦合系数 ZnO膜

在线阅读 下载PDF 职称材料

含陀螺效应的声表面波波动方程的求解 被引量：2

8

作者 李良儿 施文康 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期565-569,共5页

含陀螺效应的声表面波(SAW)波动方程的求解是分析旋转压电基体SAW传播特性和设计SAW角速度传感器的理论基础。以旋转条件下压电基体声表面波方程的建立和求解为研究内容,推导了含陀螺效应的Christoffel方程的一般表达式,提出了在求解中... 含陀螺效应的声表面波(SAW)波动方程的求解是分析旋转压电基体SAW传播特性和设计SAW角速度传感器的理论基础。以旋转条件下压电基体声表面波方程的建立和求解为研究内容,推导了含陀螺效应的Christoffel方程的一般表达式,提出了在求解中必须注意对解耦波的判别及进行相应的处理,设计了计算机数值求解的软件,并给出了流程。以新型压电材料硅酸镓镧作为求解的实例,验证了算法的可行性。理论与算法可为与陀螺效应有关的SAW器件的设计提供参考。 展开更多

关键词 声表面波 陀螺效应 求解波动方程 解耦 声表面波(saw) 数值求解 波动方程 角速度传感器 压电材料 旋转条件

在线阅读 下载PDF 职称材料

ZnO/蓝宝石结构声表面波频散特性数值计算 被引量：1

9

作者 董加和 陈运祥 +6 位作者 赵雪梅 吕翼 朱勇 张显洪 张永川 李浩 鄢秋娟 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第5期746-747,751,共3页

从理论上计算出ZnO/蓝宝石结构声表面波相速度和机电耦合系数k2色散曲线。计算显示,在ZnO膜厚和声表面波器件波长之比h/λ=0.48时,IDT/ZnO(c面)/蓝宝石(c面)结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为2.705%,理论声速为4 982m/s;在h/λ=0.3时,IDT... 从理论上计算出ZnO/蓝宝石结构声表面波相速度和机电耦合系数k2色散曲线。计算显示,在ZnO膜厚和声表面波器件波长之比h/λ=0.48时,IDT/ZnO(c面)/蓝宝石(c面)结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为2.705%,理论声速为4 982m/s;在h/λ=0.3时,IDT/ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构西沙瓦波1次模式的k2最大值为4.34%,理论声速为5 509m/s。结果表明,IDT/ZnO(a面)/蓝宝石(r面)结构西沙瓦波1次模式的k2和声速较大,适于研制高频低损耗声表面波滤波器。 展开更多

关键词 声表面波 频散特性 机电耦合系数 ZNO薄膜 蓝宝石 相速度

在线阅读 下载PDF 职称材料

用改进双延迟线法测量SAW相速度

10

作者 熊军 公勋 +2 位作者 商晓莉 王耀俊 章德 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第2期161-163,共3页

双延迟线法是测量声表面波(SAW)速度的一种优秀方法,其样品制备工艺成熟,测量和数据处理简单。从原理上消除了换能器的影响,能达到很高精度。主要测量误差源有中心频率和距离的测量误差两个。对此提出了两项改进措施,即对幅频响应数据... 双延迟线法是测量声表面波(SAW)速度的一种优秀方法,其样品制备工艺成熟,测量和数据处理简单。从原理上消除了换能器的影响,能达到很高精度。主要测量误差源有中心频率和距离的测量误差两个。对此提出了两项改进措施,即对幅频响应数据进行数字滤波后再做插值,以减小中心频率的测量误差;结合光学显微镜大视野和扫描电子显微镜(SEM)高精度的优点,提高距离测量精度。在128°Y-X铌酸锂基片上进行了实验,测量精度达到数米每秒。 展开更多

关键词 双延迟线 声表面波(saw)相速度 测量误差

在线阅读 下载PDF 职称材料

压电晶体切向对声表面波陀螺刻度因子的影响 被引量：1

11

作者 路书祥 陈淑芬 +3 位作者 李红浪 付雷 邹正锋 孟彦彬 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第1期10-14,共5页

刻度因子是陀螺的重要指标,而压电晶体切向对声表面波(SAW)陀螺刻度因子有重要影响。首先以铌酸锂作为分析声波波传特性的基板材料,建立不同的波传角度和不同的切面与各种模态SAW波速的物理数学模型,接着探讨旋转扰动时二次旋转欧拉角与... 刻度因子是陀螺的重要指标,而压电晶体切向对声表面波(SAW)陀螺刻度因子有重要影响。首先以铌酸锂作为分析声波波传特性的基板材料,建立不同的波传角度和不同的切面与各种模态SAW波速的物理数学模型,接着探讨旋转扰动时二次旋转欧拉角与X切、Y切及Z切等铌酸锂晶体中的陀螺效应,分析不同切向刻度因子的变化规律。根据计算结果,铌酸锂晶体中X切Y传(XY)、128°Y切X传(128°YX)、30°ZX、ZX和150°ZX对应的声表面波陀螺刻度因子最大,同时也得出了适合应用于声表面波陀螺的相对敏感切向为声表面波波速接近于慢横波时对应的切向。 展开更多

关键词 声表面波(saw)陀螺 声表面波相速度 刻度因子

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于ScAlN/6H-SiC结构的声表面波传播特性 被引量：1

12

作者 耐日嘎 马俊 +4 位作者 王园园 豆亚稳 吕海涛 钱莉荣 李翠平 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第1期6-9,共4页

该文采用有限元法研究了基于ScAlN/6H-SiC结构的声表面波传播特性,并分析了4种激励条件下,压电材料厚度变化对ScAlN/6H-SiC结构中声表面波相速度和机电耦合系数的影响,通过改变电极厚度及金属化率再次对机电耦合系数进行优化。结果表明,... 该文采用有限元法研究了基于ScAlN/6H-SiC结构的声表面波传播特性,并分析了4种激励条件下,压电材料厚度变化对ScAlN/6H-SiC结构中声表面波相速度和机电耦合系数的影响,通过改变电极厚度及金属化率再次对机电耦合系数进行优化。结果表明,IDT/ScAlN/6H-SiC结构的机电耦合系数可达到5.4%,对应的相速度为6.36 km/s,添加短路金属后,机电耦合系数值和相速度均有所提高,Metal/ScAlN/IDT/6H-SiC结构下优化的机电耦合系数和相速度分别为15.78%和7.33 km/s。 展开更多

关键词 声表面波 Sc掺杂氮化铝(AlN) 6H-SIC 相速度 机电耦合系数

在线阅读 下载PDF 职称材料

S12NGS压电晶体的结构与声表面波传播特性研究

13

作者 杨红旺 卢贵武 +3 位作者 林定移 冯超 黄文奇 杨虹 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期98-101,106,共5页

本文研究了Sr3NbGa3Si2O14(SNGS)单晶的晶体结构、能带和态密度,计算了SNGS压电晶体的X、Y和Z切型的声表面波速度与机电耦合系数,分析总结出声表面波特性比较好的切型,为SNGS的声表面波应用提供了理论依据。

关键词 SNGS 声表面波相速度 机电耦合系数

在线阅读 下载PDF 职称材料

弛豫铁电0.24PIN-0.47PMN-0.29PT单晶声表面波性能研究

14

作者 李秀明 吴广涛 张锐 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2021年第2期260-265,共6页

随着信息技术的迅速发展,对声表面波器件的要求也进一步提高。为寻找性能更加优异的声表面波器件基底材料,本文利用分波解法对室温下[001]c及[011]c极化弛豫铁电0.24PIN-0.47PMN-0.29PT单晶的声表面波性能进行研究。利用[001]c及[011]c... 随着信息技术的迅速发展,对声表面波器件的要求也进一步提高。为寻找性能更加优异的声表面波器件基底材料,本文利用分波解法对室温下[001]c及[011]c极化弛豫铁电0.24PIN-0.47PMN-0.29PT单晶的声表面波性能进行研究。利用[001]c及[011]c极化弛豫铁电0.24PIN-0.47PMN-0.29PT单晶的弹性、压电及介电性能参数,通过求解克里斯托弗方程计算了晶体声表面波相速度、机电耦合系数及能流角随传播角度的变换关系。结果表明,沿[011]c方向极化的0.24PIN-0.47PMN-0.29PT单晶声表面波性能要优于沿[001]c极化的单晶。[011]c极化0.24PIN-0.47PMN-0.29PT单晶的声表面波机电耦合系数显著高于沿[001]c极化单晶。同时沿[011]c极化0.24PIN-0.47PMN-0.29PT单晶的声表面波能流角的最大值也明显小于[001]c极化单晶。因此,沿[011]c方向极化的0.24PIN-0.47PMN-0.29PT单晶兼具优异的声表面波性能及温度稳定性,更适合于实际应用。 展开更多

关键词 弛豫铁电单晶 0.24PIN-0.47PMN-0.29PT 声表面波 相速度 机电耦合系数 能流角

在线阅读 下载PDF 职称材料

静电场对压电薄膜中声表面波传播的影响

15

作者 刘智荣 谢立强 +1 位作者 朱敏 包文歧 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第6期739-742,共4页

该文介绍了声表面波(SAW)在压电薄膜中传播时静电场的影响机理。首先给出了静电场作用下压电薄膜中的初始应力和初始电位移,然后通过求解含有初始应力和初始电位移的压电介质耦合波动方程,得到SAW在静电场影响下的相速度变化和频散曲线... 该文介绍了声表面波(SAW)在压电薄膜中传播时静电场的影响机理。首先给出了静电场作用下压电薄膜中的初始应力和初始电位移,然后通过求解含有初始应力和初始电位移的压电介质耦合波动方程,得到SAW在静电场影响下的相速度变化和频散曲线,最后仿真分析了ZnO和AlN两种压电薄膜材料中SAW的传播特性。结果表明,SAW的相速度与静电场成正比,与波数成反比。 展开更多

关键词 静电场 声表面波 压电薄膜 相速度 频散

在线阅读 下载PDF 职称材料