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石英基极窄带声表面波滤波器的横向模式抑制研究
1
作者 冷俊林 肖强 +6 位作者 陆川 董加和 陈文远 谢晓 金巧 杜雪松 汪红兵 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期230-233,共4页
针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过... 针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过渡带产生的横向模式杂波的抑制,采用指条电极末端加厚的Piston结构,通过有限元仿真建模优化实现了横向模式的抑制。最后通过实验对比了横向模式优化前后的测试曲线,结果表明,采用Piston结构抑制后SAW滤波器的最小插损、相对带宽和带内波纹均有明显改善。 展开更多
关键词 石英 声表面波滤波器 极窄带 纵向耦合 横向模式
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低频率漂移极窄带声表面波滤波器
2
作者 李桦林 詹雪奎 +3 位作者 伍平 陈彦光 董加和 马晋毅 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期20-23,共4页
保密通信系统对极窄带宽声表面波滤波器需求迫切,由于声表面波滤波器属于温度敏感型器件,在极端恶劣环境温度下器件滤波频率会发生较大漂移,无法保证有用信号提取和近端噪声抑制。为满足射频系统全温应用要求,对基于石英衬底的极窄带声... 保密通信系统对极窄带宽声表面波滤波器需求迫切,由于声表面波滤波器属于温度敏感型器件,在极端恶劣环境温度下器件滤波频率会发生较大漂移,无法保证有用信号提取和近端噪声抑制。为满足射频系统全温应用要求,对基于石英衬底的极窄带声表面波滤波器的频率温度特性进行仿真分析,研究了电极金属膜厚和电极金属化率对器件二阶温度特性拐点的影响,并通过声表面波滤波器结构参数优化,研制出低频率漂移的极窄带声表面波滤波器。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 极窄带宽 频率漂移
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基于单晶薄膜晶圆的低插损高抑制声表面波滤波器
3
作者 罗文汀 陈华志 +5 位作者 潘祺 米佳 肖强 贺艺 陈平静 张婷杨 《压电与声光》 北大核心 2025年第4期683-687,共5页
针对新一代北斗导航系统对声表面波滤波器提出的低插损、高抑制需求,设计了一种单晶薄膜晶圆膜层结构,并建立了COM数据库和全三维电磁模型。将高频谐振器接入并联电路,在滤波器高端引入一个零点,在不改变原有插损、矩形度的情况下,提升... 针对新一代北斗导航系统对声表面波滤波器提出的低插损、高抑制需求,设计了一种单晶薄膜晶圆膜层结构,并建立了COM数据库和全三维电磁模型。将高频谐振器接入并联电路,在滤波器高端引入一个零点,在不改变原有插损、矩形度的情况下,提升了滤波器的高端带外抑制。所研制的薄膜声表面波滤波器,其中心频率为1 650 MHz,插入损耗为0.65 dB,带外抑制高达61.3 dBc,矩形系数(BW_(-40 dB)/BW_(-1 dB))为1.78,相对带宽为4.15%。 展开更多
关键词 低插入损耗 高带外抑制 单晶薄膜晶圆 薄膜声表面波滤波器
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基于OEE算法的多品种混线声表面波滤波器晶圆制造生产线产能诊断和改善
4
作者 卢丹丹 冷俊林 +2 位作者 吴金臻 程娅莉 杨京 《压电与声光》 北大核心 2025年第5期834-839,共6页
声表面波滤波器晶圆制造生产线设备价值高,具备多品种混线特点的生产线需要提升设备产能利用率,实时评估产能和有针对性地改善,以快速满足市场需要和提高投资效益。本文创新地将设备综合效率(Overall Equipment Effectiveness,简称OEE)... 声表面波滤波器晶圆制造生产线设备价值高,具备多品种混线特点的生产线需要提升设备产能利用率,实时评估产能和有针对性地改善,以快速满足市场需要和提高投资效益。本文创新地将设备综合效率(Overall Equipment Effectiveness,简称OEE)应用于声表面波滤波器晶圆制造产能诊断中,研究建立了诊断指标体系和计算模型,并应用到某企业工艺线产能提升中。结果表明,产能诊断和改善准确性提升,降低投资额效果明显,可用于帮助企业开展产线建设。 展开更多
关键词 声表面波滤波器晶圆制造生产线 多品种混线 产能瓶颈 OEE
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声表面波滤波器平行封焊飞溅多余物控制的研究
5
作者 郭俊寒 季鸿雨 +4 位作者 孟腾飞 何志新 陈瑞 史向龙 于海洋 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期225-229,共5页
通过分析因飞溅多余物而失效的声表面波滤波器,证明了飞溅多余物是由平行封焊工序产生的。研究了平行封焊工序中相关焊接参数对平行封焊的影响,通过调节焊接功率、时间和速度等参数,将焊缝宽度和焊点重叠区域面积调整至理想范围内,在保... 通过分析因飞溅多余物而失效的声表面波滤波器,证明了飞溅多余物是由平行封焊工序产生的。研究了平行封焊工序中相关焊接参数对平行封焊的影响,通过调节焊接功率、时间和速度等参数,将焊缝宽度和焊点重叠区域面积调整至理想范围内,在保证焊接质量的同时,将飞溅多余物产生的概率降至万分之二。另外,选取熔点更高的电镀镍盖板来代替化学镀镍盖板,进一步减少了平行封焊过程中飞溅多余物的产生。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 平行封焊 飞溅多余物 焊接参数
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一种横向耦合改进型结构极窄带声表面波滤波器研究 被引量：1
6
作者 张显洪 杨卫东 +3 位作者 肖强 蒋道军 张晟 施建峰 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期306-309,共4页
该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插... 该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插入损耗约为6 dB的极窄带声表面波滤波器并进行验证。结果表明,中心耦合条开腔结构的声表面波滤波器的相对带宽达到7.2‰,与不开腔结构5.2‰相对带宽相比,提升了2‰。这说明横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构变化,能改变极窄带声表面波滤波器的相对带宽。 展开更多
关键词 横向耦合 极窄带 声表面波滤波器 物理场COMSOL软件 相对带宽
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宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计与优化 被引量：3
7
作者 谭发曾 李桦林 +4 位作者 马晋毅 陈文远 胡明浪 杜雪松 詹雪奎 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期651-654,669,共5页
提出了一种宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计方法。通过研究铌酸锂衬底不同欧拉角、不同电极材料和厚度对声表面波谐振器频率响应和杂散抑制的影响,确定了宽带温度补偿型声表面波滤波器的最佳切向和电极结构。所制备的宽带声表面波... 提出了一种宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计方法。通过研究铌酸锂衬底不同欧拉角、不同电极材料和厚度对声表面波谐振器频率响应和杂散抑制的影响,确定了宽带温度补偿型声表面波滤波器的最佳切向和电极结构。所制备的宽带声表面波滤波器的温度系数优于-18.9×10^(-6)/℃,-3 dB相对带宽为7.84%,插入损耗为0.93 dB,展现出良好的带外抑制。 展开更多
关键词 声表面波 滤波器 宽带 温度补偿
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具有片上电感的改进型梯形声表面波滤波器
8
作者 杨茂坤 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期439-442,共4页
针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和... 针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和利用纵向耦合双模谐振器型滤波器(DMS)特殊接地结构相结合的电路拓扑结构,有助于提高带外抑制和设计灵活性。在标准的42°Y-X钽酸锂(LiTaO_(3))基板上制作滤波器,通过仿真分析得到中心频率2580 MHz、带宽50 MHz、插入损耗小于2.5 dB的高阶梯形射频SAW滤波器的最优拓扑结构。测试结果表明,通过改变电路拓扑结构关键参数和引入新的传输零点,可改善在高频段内的带外抑制特性。 展开更多
关键词 封装 声表面波(saw)滤波器 片上电感 DMS结构 传输零点 带外抑制
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声表面波滤波器温度敏感性仿真研究
9
作者 王吉芳 郑露 +7 位作者 陈平静 潘虹芝 杜雪松 董加和 陆川 陈正林 吴浩东 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期310-314,共5页
针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复... 针对不同温度场情况下任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的温度敏感性精确计算问题,首先将温度场以热应力、热应变的方式耦合声/电本征方程并考虑封装模型的电磁因素,再结合分层级联算法和全波仿真技术,计算任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的温度敏感性,实现不同温度作用下SAW滤波器频率响应曲线、频率温度系数(TCF)值、损耗、带宽及带外抑制等性能的综合分析。通过41°Y-X LiNbO_(3)/SiO_(2)/Si_poly/Si(111)复合衬底SAW滤波器的优化设计与研制,其设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 温度敏感性 声表面波(saw)滤波器 分层级联 全波仿真
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用声表面波滤波器为悬臂梁式SAW加速度计增添加速度方向判断功能
10
作者 刘骏跃 陈明 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期125-127,共3页
加速度是矢量,所以在测量加速度大小的同时,给出加速度的方向是非常必要的。但传统SAW加速度计设计忽视了对被测加速度方向的判断问题。声表面波滤波器(SAWF)是一种性能优良的新型电子器件,本文基于SAW滤波器的带通滤波性质,设计了一种... 加速度是矢量,所以在测量加速度大小的同时,给出加速度的方向是非常必要的。但传统SAW加速度计设计忽视了对被测加速度方向的判断问题。声表面波滤波器(SAWF)是一种性能优良的新型电子器件,本文基于SAW滤波器的带通滤波性质,设计了一种新的SAW加速度计系统,它不仅实现了判断加速度方向的客观需求,而且为加速度计基本量程的扩大创造了条件。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 声表面波加速度计 加速度方向判断
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基于变周期反射栅结构的梯形SAW滤波器设计
11
作者 郝焰莹 王红亮 +2 位作者 张鹏 张昆 张玮莉 《压电与声光》 北大核心 2025年第5期818-822,共5页
5G新无线系统(NR)的发展要求滤波器具有更高的性能,因此对谐振器的性能也提出了更高的要求。谐振器是组成滤波器的关键器件,位于谐振频率(fr)和反谐振频率(fa)附近的杂散寄生响应将严重影响滤波器的频率响应特性,因此提出了一种变周期... 5G新无线系统(NR)的发展要求滤波器具有更高的性能,因此对谐振器的性能也提出了更高的要求。谐振器是组成滤波器的关键器件,位于谐振频率(fr)和反谐振频率(fa)附近的杂散寄生响应将严重影响滤波器的频率响应特性,因此提出了一种变周期和加厚的反射栅结构。通过综合考虑谐振器反射栅的周期值和电极厚度,对存在于fr和fa周围的杂散模态进行消除。结果表明,优化后的滤波器具有更低的插入损耗和更高的矩形系数。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 谐振器 有限元法 低插入损耗 高矩形系数
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压电晶圆厚度对声表面波器件性能的影响及改进方法研究
12
作者 何成勇 褚梦群 +6 位作者 谭发曾 胡明浪 谭瑞 陈文远 张幸 罗鸿飞 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期234-237,共4页
钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 m... 钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 mm厚的LT,采用0.25 mm厚LT的SAW滤波器性能有所降低。针对该问题,首先建立了含封装粘片胶的电磁仿真模型,分别仿真了两种厚度(0.35 mm、0.25 mm)的压电基底在不同粘片胶厚度条件下的电磁特性;然后结合电磁、声学联合仿真优化了粘片胶的厚度,进而提升了SAW滤波器的仿真性能。实验结果表明,通过优化粘片胶厚度,可使0.25 mm厚LT滤波器的性能优于0.35 mm厚LT滤波器,满足器件指标要求,该方案可推广至其他压电晶圆的SAW器件。 展开更多
关键词 封装粘片胶 声表面波滤波器 电磁仿真 钽酸锂
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基于有限元法和色散COM模型的声表面波滤波器联合仿真 被引量：4
13
作者 郑泽渔 杜雪松 +2 位作者 董加和 陈正林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第2期165-168,共4页
针对任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的精确快速设计问题,该文基于声/电/磁多物理场耦合全波仿真平台,结合基因遗传优化算法和通用图形处理器(GPGPU)加速技术,利用有限元分层级联精确模型(HCT)优化设计梯形谐振器... 针对任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的精确快速设计问题,该文基于声/电/磁多物理场耦合全波仿真平台,结合基因遗传优化算法和通用图形处理器(GPGPU)加速技术,利用有限元分层级联精确模型(HCT)优化设计梯形谐振器,色散COM模型优化设计纵向耦合谐振器,实现了任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的正向设计与优化。通过42°Y-X LiTaO_(3)常规SAW滤波器的优化设计与研制,设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 全波仿真 分层级联 遗传算法
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声表面波波导耦合双模谐振窄带滤波器 被引量：5
14
作者 邓盛刚 刘家本 +2 位作者 李利平 刘晋 彭建学 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 1994年第5期5-11,共7页
本文利用集总参数等效电路模型计算了声表面波波导耦合双模谐振窄带滤波器的频率响应。讨论了谐振器各设计参量对滤波器性能的影响。在Ｘ－１１２°ＹＬｉＴａＯ＿３基片上实验制作了中心频率１１４ＭＨｚ左右，Δｆ＿（－３ｄＢ）... 本文利用集总参数等效电路模型计算了声表面波波导耦合双模谐振窄带滤波器的频率响应。讨论了谐振器各设计参量对滤波器性能的影响。在Ｘ－１１２°ＹＬｉＴａＯ＿３基片上实验制作了中心频率１１４ＭＨｚ左右，Δｆ＿（－３ｄＢ）分别为７０ｋＨｚ和４０ｋＨｚ的二极和四极窄带滤波器。对二极滤波器，阻带抑制小于一３０ｄＢ；对四极滤波器，阻带抑制小于一５０ｄＢ；匹配后插损３ｄＢ。理论计算与实验结果一致。 展开更多
关键词 波导耦合 谐振滤波器 声表面波 谐振器
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高阻带抑制宽带低损耗声表面波滤波器研究 被引量：7
15
作者 毛世平 曾庆高 +2 位作者 陈彦光 蒋世义 彭昱皓 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期337-339,共3页
基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB... 基于分布间隙纵向耦合五换能器结构,加入谐振器单元,采用41°Y-X LiNbO_3基片材料,通过优化设计,研制出中心频率232 MHz,3dB带宽23.2 MHz的声表面波滤波器。该产品的插入损耗为-1.9dB,相对带宽达到10%,矩形系数2.2,阻带抑制大于50dB,产品综合性能指标优异,有很好的实用性。 展开更多
关键词 大带宽 声表面波滤波器 五换能器 谐振器
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一种窄带温补型声表面波滤波器 被引量：3
16
作者 冷俊林 董加和 +7 位作者 陆川 陈运祥 李桦林 陈尚权 彭霄 寇俊 唐永红 米佳 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第1期67-70,共4页
该文介绍了一种频率温度系数接近0的窄带温补型声表面波滤波器。该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底,温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜,利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌。制作了温补型声表面波滤波器样品并进... 该文介绍了一种频率温度系数接近0的窄带温补型声表面波滤波器。该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底,温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜,利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌。制作了温补型声表面波滤波器样品并进行了测试。测试结果表明,该温补型声表面波滤波器的中心频率约1360 MHz,在-55~85℃内频率漂移仅约390 kHz,频率温度系数约-2×10^-6/℃,插入损耗约1.3 dB。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 温补型声表面波 频率温度系数
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宽带低损耗声表面波滤波器 被引量：3
17
作者 曹亮 黄广伦 +3 位作者 秦廷辉 杨勋 朱勇 肖燕 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第4期209-213,共5页
介绍了利用在３６°Ｙ－ＸＬｉＴａＯ３、６４°Ｙ－Ｘ　ＬｉＮｂＯ３、４１°Ｙ－Ｘ　ＬｉＮｂＯ３基片漏声表面波设计制作的宽带低损耗滤波器，给出了用耦合模理论模拟的曲线和实验结果，其相对带宽为２ ．８％～６． ５... 介绍了利用在３６°Ｙ－ＸＬｉＴａＯ３、６４°Ｙ－Ｘ　ＬｉＮｂＯ３、４１°Ｙ－Ｘ　ＬｉＮｂＯ３基片漏声表面波设计制作的宽带低损耗滤波器，给出了用耦合模理论模拟的曲线和实验结果，其相对带宽为２ ．８％～６． ５％，插损为１．７～２．４ ｄＢ，带外抑制大于４５ ｄＢ。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 宽带 低损耗 耦合谐振滤波器
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20信道声表面波滤波器组初探 被引量：5
18
作者 黄广伦 欧黎 李志云 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1993年第1期1-6,共6页
本文报道我们研制的一种20信道声表面波滤波器组,它有一个输入端,中心在200MHz中频,瞬时带宽100MHz,20个信道输出,每个信道带宽5MHz.各信道的插损为19～20dB,矩形度<2,信道阻带抑制>40dB.器件体积65mm×50mm×13mm,重量&l... 本文报道我们研制的一种20信道声表面波滤波器组,它有一个输入端,中心在200MHz中频,瞬时带宽100MHz,20个信道输出,每个信道带宽5MHz.各信道的插损为19～20dB,矩形度<2,信道阻带抑制>40dB.器件体积65mm×50mm×13mm,重量<140g. 展开更多
关键词 滤波器 信道 接收机 声表面波器件
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一种宽带低损耗声表面波滤波器 被引量：5
19
作者 秦廷辉 朱自湘 周平 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1998年第2期77-79,共3页
阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法，给出了理论计算方法和计算机模拟结果，最后给出了制作中心频率为４５３ＭＨｚ的声表面波滤波器实验结果，插入损耗为１．９ｄＢ，１ｄＢ带宽为６．６６ＭＨｚ，远端带... 阐述了一种利用纵向耦合双模制作宽带低损耗声表面波滤波器的方法，给出了理论计算方法和计算机模拟结果，最后给出了制作中心频率为４５３ＭＨｚ的声表面波滤波器实验结果，插入损耗为１．９ｄＢ，１ｄＢ带宽为６．６６ＭＨｚ，远端带外抑制大于４５ｄＢ。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 反射器 叉指换能器 滤波器
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一种低损耗高抑制的声表面波滤波器 被引量：3
20
作者 陈彦光 董加和 +6 位作者 陈清华 蒋世义 陈华志 李桦林 陈尚权 陆川 赵雪梅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第4期453-455,共3页
该文采用周期调制及双通道设计的方法实现了一种低损耗高抑制声表面波滤波器的研制。该滤波器以64°Y-X LiNbO3为基片材料,其中心频率约475 MHz,插入损耗小于2 dB,阻带抑制优于60 dB及1 dB相对带宽约5%。研制的滤波器具有低插损及... 该文采用周期调制及双通道设计的方法实现了一种低损耗高抑制声表面波滤波器的研制。该滤波器以64°Y-X LiNbO3为基片材料,其中心频率约475 MHz,插入损耗小于2 dB,阻带抑制优于60 dB及1 dB相对带宽约5%。研制的滤波器具有低插损及高阻带抑制的特性,结果表明该设计方法具有很好的实用性。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 周期调制 三换能器
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