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石英基极窄带声表面波滤波器的横向模式抑制研究
1
作者 冷俊林 肖强 +6 位作者 陆川 董加和 陈文远 谢晓 金巧 杜雪松 汪红兵 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期230-233,共4页
针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过... 针对通信和电子对抗系统中对极窄带SAW滤波器的需求,选用AT-石英作为压电材料设计SAW滤波器,为满足相对带宽小于1‰的要求,采用纵向耦合型双模(DMS)滤波器拓扑结构进行了优化设计。而后,研究了对AT-石英基极窄带SAW滤波器通带和高端过渡带产生的横向模式杂波的抑制,采用指条电极末端加厚的Piston结构,通过有限元仿真建模优化实现了横向模式的抑制。最后通过实验对比了横向模式优化前后的测试曲线,结果表明,采用Piston结构抑制后SAW滤波器的最小插损、相对带宽和带内波纹均有明显改善。 展开更多
关键词 石英 声表面波滤波器 极窄带 纵向耦合 横向模式
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用于N77频段的高优值S_(0)兰姆波声表面波谐振器仿真与制备
2
作者 蔡乔 帅垚 +3 位作者 彭斌 吴传贵 潘忻强 张万里 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期209-214,共6页
N77频段对声表面波滤波器提出了大带宽、低损耗等要求,但使用低声速声学模态以及单层功能层衬底结构的谐振器无法同时实现高频、宽带的目标,因此提出了基于X-37°Y铌酸锂薄膜与SiO_(2)/Ta_(2)O_(5)布喇格反射层设计,并制备了固态装... N77频段对声表面波滤波器提出了大带宽、低损耗等要求,但使用低声速声学模态以及单层功能层衬底结构的谐振器无法同时实现高频、宽带的目标,因此提出了基于X-37°Y铌酸锂薄膜与SiO_(2)/Ta_(2)O_(5)布喇格反射层设计,并制备了固态装配型的声表面波谐振器。首先确定谐振器的工作模态为高相速度S_(0)兰姆波,通过仿真各层薄膜厚度对器件性能的影响,确定了谐振器中各层薄膜材料的厚度;然后基于该器件结构参数,针对N77频段制备了一组电极周期为1.40~1.86μm的谐振器并对其性能进行测试。结果表明,实测结果与仿真基本一致,实测谐振器具有大机电耦合系数(k^(2)>22%)和高品质因子(Q_(max)>900)的特性,且优值因子超过200,性能优于采用同种声学模式的其他谐振器,有望应用于N77等5G频段的滤波器。 展开更多
关键词 S_(0)兰姆波 声表面波谐振器 布喇格反射层 N77频段 高优值因子
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低频率漂移极窄带声表面波滤波器
3
作者 李桦林 詹雪奎 +3 位作者 伍平 陈彦光 董加和 马晋毅 《压电与声光》 北大核心 2025年第1期20-23,共4页
保密通信系统对极窄带宽声表面波滤波器需求迫切,由于声表面波滤波器属于温度敏感型器件,在极端恶劣环境温度下器件滤波频率会发生较大漂移,无法保证有用信号提取和近端噪声抑制。为满足射频系统全温应用要求,对基于石英衬底的极窄带声... 保密通信系统对极窄带宽声表面波滤波器需求迫切,由于声表面波滤波器属于温度敏感型器件,在极端恶劣环境温度下器件滤波频率会发生较大漂移,无法保证有用信号提取和近端噪声抑制。为满足射频系统全温应用要求,对基于石英衬底的极窄带声表面波滤波器的频率温度特性进行仿真分析,研究了电极金属膜厚和电极金属化率对器件二阶温度特性拐点的影响,并通过声表面波滤波器结构参数优化,研制出低频率漂移的极窄带声表面波滤波器。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 极窄带宽 频率漂移
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基于温度调制的声表面波传感器结构设计与实验研究
4
作者 王德钊 郭亮 杨威 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第7期28-31,共4页
基于声表面波(SAW)传感器的气体检测方法集成了气敏薄膜的高特异性和SAW的高敏感性,成为当前气体检测领域的新兴发展方向。但是,由于传统气敏薄膜选择性差,限制了SAW气体传感器的应用范围,因此提出了一种基于温度调制的SAW传感器的实验... 基于声表面波(SAW)传感器的气体检测方法集成了气敏薄膜的高特异性和SAW的高敏感性,成为当前气体检测领域的新兴发展方向。但是,由于传统气敏薄膜选择性差,限制了SAW气体传感器的应用范围,因此提出了一种基于温度调制的SAW传感器的实验研究方法,并通过模拟仿真得出不同气体的灵敏度响应。为满足SAW大范围的温度调制,提出了一种微热板+叉指电极的层叠结构,并完成了这种新型结构下的电、热、声联合仿真。结果表明,气敏薄膜在不同温度下对不同气体的吸附能力各异,可根据温度曲线分辨不同气体,为SAW传感器件的优化设计提供参考。 展开更多
关键词 声表面波 温度调制 COMSOL 灵敏度 谐振频率
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基于矢量阅读器的声表面波传感器频率估计优化
5
作者 卢铭瑞 徐静宁 +2 位作者 蔡飞达 张勇斌 赵万生 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期238-245,共8页
在进行无线无源声表面波(SAW)传感器测量时,谐振频率估计的稳定性不佳会限制声表面波阅读器测量系统的性能。为提高频率估计的稳定性,基于传统功率谱频率估计方法引入了相位检波技术,设计了一种矢量阅读器架构以获取矢量频谱,并提出了... 在进行无线无源声表面波(SAW)传感器测量时,谐振频率估计的稳定性不佳会限制声表面波阅读器测量系统的性能。为提高频率估计的稳定性,基于传统功率谱频率估计方法引入了相位检波技术,设计了一种矢量阅读器架构以获取矢量频谱,并提出了一种结合相位测量和滤波处理的优化方法。该方法采用逆快速傅里叶变换(IFFT)和有限冲激响应(FIR)滤波方法提升回波信号的信噪比,并结合多种模型拟合方法,针对不同峰型特征的谐振频率进行优化估计。为验证该方法的有效性,构建了SAW传感器无线无源测试平台,并开展了无线频率测试实验。采集多组SAW回波信号数据进行处理。实验结果表明,经过滤波处理后,回波信号的信噪比提升了约17 dB,而结合拟合方法优化后,谐振频率估计的标准差低于0.5 kHz。该方法能有效提高声表面波阅读器系统的频率估计灵敏度和稳定性。 展开更多
关键词 声表面波 谐振频率估计 无线无源矢量阅读器 有限冲激响应滤波 信号拟合方法
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一种声表面波NH_(3)传感器的研制及性能优化
6
作者 许峥 范理 +2 位作者 徐晓东 程利平 张淑仪 《南京大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第1期47-57,共11页
氨气(NH_(3))是人类生活与化工生产中最常见的气体之一.高浓度的NH_(3)对人体与环境会产生危害,需要开发高灵敏度的NH_(3)传感器对痕量的NH_(3)进行检测,因此,提出了一种用于室温下检测痕量NH_(3)的声表面波传感器.该传感器是在128°... 氨气(NH_(3))是人类生活与化工生产中最常见的气体之一.高浓度的NH_(3)对人体与环境会产生危害,需要开发高灵敏度的NH_(3)传感器对痕量的NH_(3)进行检测,因此,提出了一种用于室温下检测痕量NH_(3)的声表面波传感器.该传感器是在128°YX⁃LiNbO_(3)压电基底上生长一层还原氧化石墨烯(Reduced Graphere Oxide,RGO)敏感层,并通过真空溅射的方法在敏感层上镀一层铂(Pt)来进一步增强传感器的传感能力.实验表明,该传感器具有高灵敏度,在室温下对浓度为50 ppm的NH_(3)能获得8.68 kHz的频率偏移.此外,研究了湿度与背景气对传感器性能的影响,实验结果表明,较高的湿度有利于提高传感器灵敏度,并且传感器在氩气背景气中的灵敏度稍高于在空气背景气中的灵敏度.该传感器的响应与NH_(3)浓度呈线性关系,并且具有良好的可重复性与稳定性. 展开更多
关键词 声表面波传感器 石墨烯 NH_(3)传感器
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基于声表面波的高效微流体混合芯片
7
作者 冯瑞 丑修建 张亦弛 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第6期73-76,81,共5页
微流体混合技术在化学反应、生化分析、药物合成及医学检测等领域具有重要应用价值。针对传统微流体混合芯片存在的结构复杂、混合效率较低等问题,提出了一种基于声表面波的新型微流体混合器件。通过斜置叉指电极激发的声表面波构建倾... 微流体混合技术在化学反应、生化分析、药物合成及医学检测等领域具有重要应用价值。针对传统微流体混合芯片存在的结构复杂、混合效率较低等问题,提出了一种基于声表面波的新型微流体混合器件。通过斜置叉指电极激发的声表面波构建倾斜声场,利用不同流体在液—液界面处的声阻抗失配效应,产生独特的声阻抗力。基于系统化实验研究阐明了声阻抗力的作用机制,实验结果表明:当电极输入功率达到40.5 dBm时,在7.78 mm/s的高流速条件下仍可实现高效微流体混合。 展开更多
关键词 声表面波 微流控 阻抗失配 声阻抗力 微流体混合
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用于土壤温湿度检测的声表面波标签天线设计
8
作者 薛昕烁 陈智军 +2 位作者 张烁 周鹏 王帅 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期251-261,共11页
天线设计是实现基于无线无源声表面波标签的土壤温湿度检测的重要环节。为实现对同一表面位置不同深度处土壤温湿度的并行检测,多个标签需采用时分与频分多址的方案。对此设计了层叠式双频圆极化微带天线及一分四T型微带功分器,天线的... 天线设计是实现基于无线无源声表面波标签的土壤温湿度检测的重要环节。为实现对同一表面位置不同深度处土壤温湿度的并行检测,多个标签需采用时分与频分多址的方案。对此设计了层叠式双频圆极化微带天线及一分四T型微带功分器,天线的不同贴片对应不同谐振频率,通过切角实现圆极化;功分器采用微带线设计减小了高频段电阻效应及耗散功率问题。使用HFSS软件进行仿真优化,制作实物并结合矢量网络分析仪进行测试。测试结果表明,该天线在中心频率842.5 MHz与922.5 MHz处的S11均小于−10 dB,功分器4个输出端口的传输系数均约为−6.8 dB,与仿真结果基本一致,验证了该天线及功分器的实用性。 展开更多
关键词 土壤温湿度检测 声表面波标签 双频天线 一分四功分器 HFSS软件
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基于二氧化钒的可重构声表面波谐振器
9
作者 宫傲 何伟 +3 位作者 郭乙龙 白焱 黄秋钦 黄文 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期203-208,共6页
仿真设计了一款新颖的可重构声表面波(SAW)谐振器。该设计将相变材料二氧化钒(VO_(2))与谐振器集成在同一芯片上,实现了紧凑的可重构谐振器。利用VO_(2)的相变特性,以VO_(2)替代SAW谐振器的部分电极。通过温度控制SAW谐振器中VO_(2)电... 仿真设计了一款新颖的可重构声表面波(SAW)谐振器。该设计将相变材料二氧化钒(VO_(2))与谐振器集成在同一芯片上,实现了紧凑的可重构谐振器。利用VO_(2)的相变特性,以VO_(2)替代SAW谐振器的部分电极。通过温度控制SAW谐振器中VO_(2)电极的工作状态,实现SAW谐振器频率在两种不同状态之间的调谐。设计的电极宽度为1.15μm(理论波长λ为4.6μm)的可重构谐振器,仿真结果显示其频率可在472 MHz和774 MHz两种状态下进行调谐,机电耦合系数分别为7.1%和5.6%,同时调谐范围高达302 MHz。为使设计的可重构谐振器具有更优的性能,对可重构谐振器的电极厚度进行参数化仿真,当电极厚度为0.12λ时,SAW谐振器的机电耦合系数最高,为后续可重构SAW滤波器提供了更大的带宽。同时还提出了基于VO_(2)的可重构SAW谐振器的工艺流程思路,这为设计应用于实际提供了指导。 展开更多
关键词 声表面波谐振器 二氧化钒 频率调谐 电极厚度 机电耦合系数
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压电晶圆厚度对声表面波器件性能的影响及改进方法研究
10
作者 何成勇 褚梦群 +6 位作者 谭发曾 胡明浪 谭瑞 陈文远 张幸 罗鸿飞 肖强 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期234-237,共4页
钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 m... 钽酸锂(LiTaO_(3),LT)为目前声表面波(SAW)滤波器普遍采用的压电晶圆之一。为控制SAW滤波器的制造成本和体积,制造时通常会采用更薄、价格更低的0.25 mm厚的LT替代原来0.35 mm厚的晶圆。然而,在滤波器设计结构相同的情况下,相较于0.35 mm厚的LT,采用0.25 mm厚LT的SAW滤波器性能有所降低。针对该问题,首先建立了含封装粘片胶的电磁仿真模型,分别仿真了两种厚度(0.35 mm、0.25 mm)的压电基底在不同粘片胶厚度条件下的电磁特性;然后结合电磁、声学联合仿真优化了粘片胶的厚度,进而提升了SAW滤波器的仿真性能。实验结果表明,通过优化粘片胶厚度,可使0.25 mm厚LT滤波器的性能优于0.35 mm厚LT滤波器,满足器件指标要求,该方案可推广至其他压电晶圆的SAW器件。 展开更多
关键词 封装粘片胶 声表面波滤波器 电磁仿真 钽酸锂
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声表面波谐振器无损测量多结构薄膜几何参数的仿真
11
作者 刘卓 肖夏 +1 位作者 张晋菘 张立 《压电与声光》 北大核心 2025年第3期465-473,共9页
提出了一种基于铌酸锂(LiNbO3)的便携式单端口声表面波(SAW)谐振器无损检测多种结构薄膜几何特征的新方法,测量的薄膜结构包括单层金属薄膜、双层薄膜和大马士革结构薄膜。采用有限元法进行仿真得到S参数曲线,再拟合得到一定范围内的SA... 提出了一种基于铌酸锂(LiNbO3)的便携式单端口声表面波(SAW)谐振器无损检测多种结构薄膜几何特征的新方法,测量的薄膜结构包括单层金属薄膜、双层薄膜和大马士革结构薄膜。采用有限元法进行仿真得到S参数曲线,再拟合得到一定范围内的SAW谐振器谐振频率与相应几何参数的关系曲线,并用三阶多项式表示。结果表明,拟合曲线可决系数R2均大于0.999 0,说明所得拟合多项式能较为准确地表征几何特征与谐振器谐振频率的关系。通过所提方法测量未知几何尺寸样片的谐振频率后代入相应关系式,即可计算出对应的样片几何尺寸。验证了SAW谐振器在薄膜几何特征的快速无损检测方面具有较大潜力。 展开更多
关键词 无损检测 声表面波谐振器 有限元法 薄膜 大马士革结构
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基于氧化石墨烯的高灵敏DMMP声表面波传感器
12
作者 张颖 金晶 +4 位作者 杨世林 张嵩 胡文韬 阮林萍 蔡建兵 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期246-250,共5页
以沙林的模拟物甲基磷酸二甲酯(DMMP)为检测对象,开发了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)DMMP气体传感器。该传感器利用半导体平面工艺在石英基底上沉积金属铝换能器,形成延迟线结构,并通过滴涂法在声传播路径上沉积GO气敏薄膜。... 以沙林的模拟物甲基磷酸二甲酯(DMMP)为检测对象,开发了一种基于氧化石墨烯(GO)的声表面波(SAW)DMMP气体传感器。该传感器利用半导体平面工艺在石英基底上沉积金属铝换能器,形成延迟线结构,并通过滴涂法在声传播路径上沉积GO气敏薄膜。在室温条件下,该SAW传感器在1 ppm至40 ppm的DMMP浓度范围内展现出高灵敏度(0.6 mV/ppm)和快速响应(T_(90)=45 s)。此外,该传感器具有较好的稳定性,放置两周后其传感性能衰退较小。 展开更多
关键词 声表面波 DMMP传感器 氧化石墨烯 高灵敏
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声表面波滤波器平行封焊飞溅多余物控制的研究
13
作者 郭俊寒 季鸿雨 +4 位作者 孟腾飞 何志新 陈瑞 史向龙 于海洋 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期225-229,共5页
通过分析因飞溅多余物而失效的声表面波滤波器,证明了飞溅多余物是由平行封焊工序产生的。研究了平行封焊工序中相关焊接参数对平行封焊的影响,通过调节焊接功率、时间和速度等参数,将焊缝宽度和焊点重叠区域面积调整至理想范围内,在保... 通过分析因飞溅多余物而失效的声表面波滤波器,证明了飞溅多余物是由平行封焊工序产生的。研究了平行封焊工序中相关焊接参数对平行封焊的影响,通过调节焊接功率、时间和速度等参数,将焊缝宽度和焊点重叠区域面积调整至理想范围内,在保证焊接质量的同时,将飞溅多余物产生的概率降至万分之二。另外,选取熔点更高的电镀镍盖板来代替化学镀镍盖板,进一步减少了平行封焊过程中飞溅多余物的产生。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 平行封焊 飞溅多余物 焊接参数
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声表面波芯片晶圆级封装技术
14
作者 王君 孟腾飞 +2 位作者 周培根 于海洋 曹玉 《应用声学》 北大核心 2025年第1期75-79,共5页
为解决声表面波滤波器无法实现系统级封装和高密度系统集成的问题,制作出可保护图形且封装尺寸小的滤波器,该文研究声表面波芯片的晶圆级先进封装技术。针对声表面波滤波器本身特性,提出技术方案并通过实验验证方案的可行性,并制作出晶... 为解决声表面波滤波器无法实现系统级封装和高密度系统集成的问题,制作出可保护图形且封装尺寸小的滤波器,该文研究声表面波芯片的晶圆级先进封装技术。针对声表面波滤波器本身特性,提出技术方案并通过实验验证方案的可行性,并制作出晶圆级封装的声表面波芯片样品,利用有机聚合物键合实现了晶圆级封装,通过测试键合强度、对比封装前后芯片性能等验证该样品的可靠性,测试结果显示键合强度满足要求且封装前后性能基本一致,达到预期结果。为提高器件可靠性,对该方案进行改进,利用金属共晶键合方式实现气密性封装,并制作出满足气密性要求的晶圆级封装的声表面波器件样品。 展开更多
关键词 声表面波芯片 晶圆级封装 聚合物键合
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一种横向耦合改进型结构极窄带声表面波滤波器研究 被引量：1
15
作者 张显洪 杨卫东 +3 位作者 肖强 蒋道军 张晟 施建峰 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期306-309,共4页
该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插... 该文采用波导法分析了横向耦合极窄带声表面波滤波器速度变化模式,并用多物理场COMSOL软件对横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构和耦合距离的变化建模进行计算,并分析频响特性。采用石英晶体作为底衬,设计了频率为898.144 MHz,插入损耗约为6 dB的极窄带声表面波滤波器并进行验证。结果表明,中心耦合条开腔结构的声表面波滤波器的相对带宽达到7.2‰,与不开腔结构5.2‰相对带宽相比,提升了2‰。这说明横向耦合声表面波滤波器的中心耦合条结构变化,能改变极窄带声表面波滤波器的相对带宽。 展开更多
关键词 横向耦合 极窄带 声表面波滤波器 物理场COMSOL软件 相对带宽
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基于层次级联算法的声表面波传感器快速精确仿真
16
作者 孔超 石义典 范彦平 《包装工程》 CAS 北大核心 2024年第17期156-161,共6页
目的针对层次级联技术(HCT)在全指型声表面波(SAW)器件仿真中耗时较长的问题,以及使用无限元域(ILDB)边界条件时仿真容易出现数值不稳定从而带来误差的问题,需要采用有效的数值处理方法使仿真结果高效、准确。方法通过对基本单元的有限... 目的针对层次级联技术(HCT)在全指型声表面波(SAW)器件仿真中耗时较长的问题,以及使用无限元域(ILDB)边界条件时仿真容易出现数值不稳定从而带来误差的问题,需要采用有效的数值处理方法使仿真结果高效、准确。方法通过对基本单元的有限元矩阵进行平衡预处理,使用单精度数值加快仿真;在消去内部自由度时,使用稳定度更高的LU分解,可以保证使用无限元域边界条件进行单精度仿真时结果的准确性。结果对不同SAW器件进行了仿真测试对比验证,文中提出的优化后单精度HCT方法在降低了矩阵求逆导致的误差的同时,与传统的全指型级联方法相比,其仿真时间缩短了50%,且所提方法适用于ILDB边界条件。结论文中提出的方法对快速精确设计声表面波传感器具有重要意义。 展开更多
关键词 声表面波 层次级联 平衡预处理 无限元域 单精度
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基于声表面波传感器的转子叶片应变无线测量研究 被引量：3
17
作者 杨正兵 肖潇 +1 位作者 彭斌 吴亚锋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第1期6-9,共4页
声表面波传感器可以实现无线无源工作,该特性使其在高速旋转部件测试中有重要的应用前景。利用硅酸镓镧压电晶体设计并制备了谐振型SAW传感器,研究了其应变敏感特性,并成功应用于转子叶片应变的无线测试试验。结果表明,所制备的SAW传感... 声表面波传感器可以实现无线无源工作,该特性使其在高速旋转部件测试中有重要的应用前景。利用硅酸镓镧压电晶体设计并制备了谐振型SAW传感器,研究了其应变敏感特性,并成功应用于转子叶片应变的无线测试试验。结果表明,所制备的SAW传感器的谐振频率为217.794 MHz,品质因子达到5807,应变灵敏度为-317 Hz/με。在3000~15000 r/min转速下,无线测试了转子叶片应变,测试结果与电阻应变计测量结果及有限元仿真计算结果基本一致。研究结果可以为SAW传感器在高速旋转设备的无线测试工程应用提供参考。 展开更多
关键词 声表面波 谐振频率 无线测量 转子叶片 应变
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一种抑制声表面波器件横向能量泄露结构及其应用 被引量：1
18
作者 李世国 褚梦群 +9 位作者 胡丞稷 郑泽渔 杜雪松 董加和 陆川 李桦林 陈彦光 汪红兵 马晋毅 肖强 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期680-684,共5页
采用42°YX-LiTaO_(3)基底的声表面波(SAW)滤波器、多工器易产生横向能量泄露效应,这种效应的产生会增大SAW器件的插损、缩减有效带宽、降低矩形度等。为了抑制声表面波的横向能量泄露,提出了一种假指加宽结构,并通过有限元仿真验... 采用42°YX-LiTaO_(3)基底的声表面波(SAW)滤波器、多工器易产生横向能量泄露效应,这种效应的产生会增大SAW器件的插损、缩减有效带宽、降低矩形度等。为了抑制声表面波的横向能量泄露,提出了一种假指加宽结构,并通过有限元仿真验证了该结构的有效性。将该结构应用于Band 40和Band 41 SAW滤波器设计中,实验结果表明,该结构在不增加任何工艺复杂度的情况下能有效抑制SAW器件的横向能量泄露,从而减小SAW器件的通带插损、增加有效带宽、提高矩形度等。该结构能够拓展应用于其他频段的SAW器件。 展开更多
关键词 声表面波器件 42°YX-LiTaO_(3) 横向能量泄露 假指加宽
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宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计与优化 被引量：2
19
作者 谭发曾 李桦林 +4 位作者 马晋毅 陈文远 胡明浪 杜雪松 詹雪奎 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期651-654,669,共5页
提出了一种宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计方法。通过研究铌酸锂衬底不同欧拉角、不同电极材料和厚度对声表面波谐振器频率响应和杂散抑制的影响,确定了宽带温度补偿型声表面波滤波器的最佳切向和电极结构。所制备的宽带声表面波... 提出了一种宽带温度补偿型声表面波滤波器的设计方法。通过研究铌酸锂衬底不同欧拉角、不同电极材料和厚度对声表面波谐振器频率响应和杂散抑制的影响,确定了宽带温度补偿型声表面波滤波器的最佳切向和电极结构。所制备的宽带声表面波滤波器的温度系数优于-18.9×10^(-6)/℃,-3 dB相对带宽为7.84%,插入损耗为0.93 dB,展现出良好的带外抑制。 展开更多
关键词 声表面波 滤波器 宽带 温度补偿
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用于土壤温湿度检测的声表面波标签设计 被引量：1
20
作者 王春涛 秦美玲 +3 位作者 陈智军 郭佳佳 薛雅丽 刘翔宇 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期16-21,共6页
针对土壤温湿度的并行检测提出了基于声表面波标签的解决方案。采用耦合模理论对阻抗负载型声表面波标签进行建模与仿真,得到负载反射栅回波幅值和相位随电容值变化规律。在此基础上,根据声表面波标签对土壤温湿度不同的敏感机理,设计... 针对土壤温湿度的并行检测提出了基于声表面波标签的解决方案。采用耦合模理论对阻抗负载型声表面波标签进行建模与仿真,得到负载反射栅回波幅值和相位随电容值变化规律。在此基础上,根据声表面波标签对土壤温湿度不同的敏感机理,设计了一种双通道双边带标签结构,采用时分多址的方法解决了对不同深度层级土壤同时检测时存在的回波信号混叠问题。通过回波信号的相位和幅值比实现了土壤温湿度检测,结合矢量网络分析仪和阅读器对标签进行测试,测试结果表明了标签的有效性。 展开更多
关键词 声表面波标签 土壤温湿度检测 阻抗负载 耦合模 回波信号
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