层析扫描声学显微镜的研究 被引量：3

1

作者 杨立峰 王亚非 +2 位作者 周鹰 高椿明 王占平 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1605-1608,共4页

为了获得被测样品三维信息同时具有较高的分辨率,在电子科技大学光电声学信息处理研究中心研制成功的激光扫描声学显微镜的基础上,通过检测电路、数据获取等方面进行的硬件改进以及相应的算法研究,获得了合理有效的重建数据,将非线性衍... 为了获得被测样品三维信息同时具有较高的分辨率,在电子科技大学光电声学信息处理研究中心研制成功的激光扫描声学显微镜的基础上,通过检测电路、数据获取等方面进行的硬件改进以及相应的算法研究,获得了合理有效的重建数据,将非线性衍射层析成像算法引入到改进后的SIAM系统中,得到了层析扫描声学显微镜的样机,并且在实验上获得了清晰的集成电路样品的三维层析图像。 展开更多

关键词 激光扫描声学显微镜 层析成像 正交解调器 超声波 重建算法

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利用扫描声学显微镜对金属-陶瓷复合涂层亚表层相分布的研究 被引量：3

2

作者 张军 胡思正 倪曼 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2002年第5期44-46,共3页

利用声学显微技术这一无损检测手段对等离子喷涂的金属 -陶瓷复合涂层进行了亚表层显微结构的观察 ,通过分析涂层材料的声波信号 ,得出了金属相和陶瓷相分布区域的结论 。

关键词 扫描声学显微镜 金属-陶瓷 复合涂层 亚表层 相分布 热喷涂涂层

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层析扫描声学显微镜相关算法及其比较 被引量：2

3

作者 杨立峰 王亚非 周鹰 《声学技术》 CSCD 北大核心 2006年第4期313-316,共4页

为了获得物体内部清晰的三维图像,提高激光扫描声学显微镜的分辨能力,在激光扫描声学显微镜原理的基础上,阐述了层析扫描声学显微镜的结构和工作方式。结合层析技术并且根据超声波在介质中的传播规律介绍了三种层析算法:频域内的插值算... 为了获得物体内部清晰的三维图像,提高激光扫描声学显微镜的分辨能力,在激光扫描声学显微镜原理的基础上,阐述了层析扫描声学显微镜的结构和工作方式。结合层析技术并且根据超声波在介质中的传播规律介绍了三种层析算法:频域内的插值算法;往返传播算法;滤波反向传播算法。最后通过理论和实验比较,结果表明:往返传播算法通过对滤波函数进行改进,在有限孔径的前提下,应用于层析扫描声学显微镜时比其它两种算法可以获得更好的重建图像效果。 展开更多

关键词 层析扫描声学显微镜 层析成像 正交解调器 超声波

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激光扫描声学显微镜中透镜效应的研究 被引量：1

4

作者 周鹰 王亚非 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第3期152-153,172,共3页

通过对激光扫描声学显微镜 ( SL AM)光学成像系统的研究 ,推导了 SLAM中透镜组的相关传递函数 ,计算了透镜对 SLAM图像的空间截止频率 ,提出了消除透镜效应的数值计算方法 ,并应用于 SLAM图像的处理中 ,取得了较好的效果。

关键词 激光扫描声学显微镜 透镜 光学成像

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激光扫描声学显微镜图像信号的分析与处理 被引量：1

5

作者 张元莉 王顺章 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S2期199-205,共7页

提出了激光扫描声学显微镜（ＳＬＡＭ）图像信号的近似模型，针对ＳＬＡＭ图像的统计特性和各个环节噪声特性，提出了密度比较算法，采用数学形态滤波，对图像进行了处理，并给出实验结果。

关键词 激光扫描声学显微镜 图像处理 图像识别 无损检测 声成像

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激光扫描声学显微镜图像信号的分析与处理 被引量：1

6

作者 周鹰 王亚非 姜海明 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期522-524,533,共4页

激光扫描声学显微镜(ScanningLaserAcousticMicroscope,简称SLAM)是声显微技术的一种形式。作为一种无损检测仪,它对于研究新材料和新器件的内部结构问题特别有用。由于声图像的成像机理与光像不同,随机噪声、衍射条纹和声斑干扰了对获... 激光扫描声学显微镜(ScanningLaserAcousticMicroscope,简称SLAM)是声显微技术的一种形式。作为一种无损检测仪,它对于研究新材料和新器件的内部结构问题特别有用。由于声图像的成像机理与光像不同,随机噪声、衍射条纹和声斑干扰了对获得声图像的分析,因此在传统SLAM系统的基础上,讨论了利用获得的被测样品声学幅度信息,针对声波传播、声光互作用、光路及解调这四个过程对信号的影响进行研究,提出了对声学幅度信号进行相位补偿和线性滤波,采用计算机数值运算,以提高图像质量的方法。给出了利用该方法的实验结果。 展开更多

关键词 激光扫描声学显微镜 分析与处理 图像信号 Laser 无损检测仪 声光互作用 显微技术 结构问题 成像机理 随机噪声 衍射条纹 SLAM 幅度信息 声波传播 线性滤波 相位补偿 数值运算 图像质量 声图像 新器件 新材料 计算机

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扫描声学显微镜对压电复合材料结构的研究

7

作者 张谦琳 库兹,阿 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第4期30-31,34,共3页

对以聚氯乙烯为基体、压电陶瓷粉为增强颗粒的压电复合材料的颗粒分布用扫描声学显微镜进行了显微成像研究。结果表明，在垂直注入增强颗粒的情况下，由于重力的作用，恳浮颗粒的浓度沿垂直方向进行再分布，Ｎ＿ｍａｘ与颗粒大小和聚合... 对以聚氯乙烯为基体、压电陶瓷粉为增强颗粒的压电复合材料的颗粒分布用扫描声学显微镜进行了显微成像研究。结果表明，在垂直注入增强颗粒的情况下，由于重力的作用，恳浮颗粒的浓度沿垂直方向进行再分布，Ｎ＿ｍａｘ与颗粒大小和聚合基体的力学性能有关。 展开更多

关键词 压电复合材料 扫描声学显微镜 增强颗粒分布

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承载条件下材料声学显微结构偏转特征分析

8

作者 孙康宁 张景德 +3 位作者 刘援朝 王昕 尹衍升 张送根 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期125-128,133,共5页

对各种材料在承受不同压力作用下所呈现出来的不同声学显微结构进行了分析、比较，研究发现：不仅声速随承受载荷变化而变化，且声学显微组织也随承受载荷而变化。这种在弹性变形下表现出来的内部结构畸变。

关键词 材料 声学扫描显微镜 显微结构 偏转特征

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SAM扫描器件芯/焊结合空洞的失效分析 被引量：2

9

作者 刘晶 邹俊峰 +1 位作者 李文石 徐立 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期165-168,共4页

超声无损检测是70种无损探伤技术的最热点。扫描声学显微镜(SAM)的原理是声阻抗成像,要求缺陷尺度大于超声波的波长。结合SAM技术中的A-扫描波形分析和C-扫描特征成像,针对由封装引入的分层和空洞缺陷进行失效分析。研究发现:分层定位... 超声无损检测是70种无损探伤技术的最热点。扫描声学显微镜(SAM)的原理是声阻抗成像,要求缺陷尺度大于超声波的波长。结合SAM技术中的A-扫描波形分析和C-扫描特征成像,针对由封装引入的分层和空洞缺陷进行失效分析。研究发现:分层定位的关键是A-扫描波形分析中对各界面处反射波的时间位置的判断;基于分层定位的芯/焊结合空洞缺陷的判别,关键是C-扫描图像中灰阶色带的区分(反射率差值)。 展开更多

关键词 扫描声学显微镜 分层 空洞 反射率 失效分析 芯/焊结合

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眼镜、放大镜、显微镜、望远镜

10

《中国光学》 EI CAS 1999年第5期93-94,共2页

T H742 99053444近场光学显微镜中利用剪切力原理进行样品/探针间距测控的非光学方法=Non—optical methods ofsample—tip distance regulation based onshearforce in SNOM[刊,中]/刘秀梅,王佳,李达成(清华大学精密仪器系精密测试技... T H742 99053444近场光学显微镜中利用剪切力原理进行样品/探针间距测控的非光学方法=Non—optical methods ofsample—tip distance regulation based onshearforce in SNOM[刊,中]/刘秀梅,王佳,李达成(清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室.北京(100084))//光学技术.—1998,(5).—6—10综述了扫描近场光学显微镜发展以来所出现的基于剪切力原理进行样品/探针间距的探测的一些主要的非光学方法。包括利用PMT直接探测样品辐射,利用音叉、电容、阻抗以及压电效应的探测方法等,并对各种方法的优缺点进行了分析比较。图8参11(方舟) 展开更多

关键词 电视望远镜 非光学方法 扫描近场光学显微镜 光学技术 测试技术 剪切力 扫描隧道显微镜 国家重点实验室 激光扫描声学显微镜 压电效应

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眼镜、放大镜、显微镜、望远镜

11

《中国光学》 CAS 2004年第1期98-99,共2页

P111.2 2004010749 空间太阳望远镜镜筒桁架的优化=Optimization of tubetruss for space solar telescope[刊,中]/胡企千(中科院国家天文台.江苏,南京(210042)),刘梅∥光学精密工程.—2003.11(2),—151-156

关键词 大口径望远镜 精密工程 国家天文台 扫描隧道显微镜 结构优化 中科院 空间太阳望远镜 镜筒桁架 激光扫描声学显微镜 技术研究所

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分层媒质中声波传输规律的研究 被引量：9

12

作者 王亚非 周鹰 +1 位作者 袁敬闳 曾宏亮 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第4期214-217,共4页

利用声波在分层媒质中的传播理论，分析了平面声波在由不同固体、液体构成的多层媒质中声波的透射规律，计算得到透射系数公式，并进行了数值计算。结果为激光扫描声学显微镜的设计及实际应用提供了参考依据。

关键词 分层媒质 激光扫描声学显微镜 声波传输规律

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集成电路封装级失效及其定位 被引量：5

13

作者 张蓬鹤 陈选龙 +2 位作者 刘丽媛 林道谭 何胜宗 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期455-459,477,共6页

失效分析中有许多类型的封装级失效。由于封装材料限制或者无损检测要求,无法从外观直接观察到失效点,需要借助于设备进行失效定位才能快速、准确地进行分析。总结了集成电路封装级失效的几种常见失效机理和失效原因,提出三种有效的分... 失效分析中有许多类型的封装级失效。由于封装材料限制或者无损检测要求,无法从外观直接观察到失效点,需要借助于设备进行失效定位才能快速、准确地进行分析。总结了集成电路封装级失效的几种常见失效机理和失效原因,提出三种有效的分析手段和分析方法进行失效定位:X射线检测、超声扫描声学显微镜以及热激光激发光致电阻变化(OBIRCH)技术,分别用于元器件结构观察、不同材料界面特性分析和键合损伤位置定位。从倒装芯片封装、陶瓷封装、塑料封装和金铝键合短路四个失效分析的实际案例出发,阐明三种封装级失效定位手段应用的领域、特点和局限性。结果表明在封装级失效中,通孔断裂开路、焊料桥连短路、键合损伤和界面分层等缺陷能够准确地被定位进而分析。 展开更多

关键词 集成电路 封装级失效 光致电阻变化(OBIRCH) 失效分析 失效定位 扫描声学显微镜 ( SAM)

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SLAM无损检测技术的研究 被引量：2

14

作者 王亚非 周鹰 +1 位作者 姜海明 袁敬闳 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期141-143,共3页

本文分析了声波对有损耗样品板的透射规律 ,得到了透射率 |W |2 的公式。对于两类样品板 ,通过数值计算得到了它们的响应曲线 |W |2 /θ1,通过调节入射角θ1得到 |W |2 的最大值。

关键词 无损检测 灵敏度 声波 透射率 有损耗样品 SLAM 激光扫描声学显微镜

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Cu互连线显微结构和应力的AFM及SNAM分析(英文) 被引量：1

15

作者 吉元 钟涛兴 +5 位作者 李志国 王晓东 夏洋 BALK L J LIU Xiao-xia ALTES A 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期56-59,共4页

在ULSI中采用Cu互连线代替Al以增加电子器件的传输速度和提高器件的可靠性。Cu的激活能约为 1 2eV ,而Al的激活能约为 0 7eV。Cu互连线寿命约为Al的 3～ 5倍。Cu大马士革互连线的制备工艺为 :在硅衬底上热氧化生成的SiO2 上开出凹槽 ,... 在ULSI中采用Cu互连线代替Al以增加电子器件的传输速度和提高器件的可靠性。Cu的激活能约为 1 2eV ,而Al的激活能约为 0 7eV。Cu互连线寿命约为Al的 3～ 5倍。Cu大马士革互连线的制备工艺为 :在硅衬底上热氧化生成的SiO2 上开出凹槽 ,在凹槽中先后沉积阻挡层Ta和晶种层Cu ,然后由电镀的Cu层将凹槽填满。最后采用化学机械抛光将凹槽外多余的Cu研磨掉。Cu互连线的尺寸为 :2 0 0 μm长 ,0 5 μm厚 ,宽度分别为 0 3 5、0 5、1至 3 μm不等。部分样品分别在 2 0 0℃ ,3 0 0℃和 45 0℃下经过 3 0min退火。利用原子力显微镜 (AFM)和扫描近场声学显微镜 (SNAM) ,同时获得形貌像和声像 ,分析了Cu大马士革凹槽构造引起的机械应力和沉积引起的热应力对Cu互连线显微结构及可靠性的影响。SNAM是在Topometrix公司AFM基础上建造的实验装置 ,实验采用的机械振动频率在 60 0Hz～ 10 0kHz之间。分析测试结果如下 :1.AFM和SNAM可以实现对微米和亚微米特征尺寸的Cu互连线的局域应力分布和显微结构的原位分析。2 .采用AFM、TEM、XRD观察和测试了Cu互连线的晶体结构 ,分析了大马士革凹槽工艺对Cu晶粒尺寸及取向的影响。平坦的沉积态Cu膜的晶粒尺寸约为 10 0nm ;而由大马士革工艺制备的凹槽中的Cu互连线的晶粒尺寸约为 70? 展开更多

关键词 Cu互连线 显微结构 应力 AFM SNAM 铜互连线 扫描探针显微镜 扫描近场声学显微镜 原子力显微镜

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抛光型SLAM系统灵敏度研究

16

作者 严真旭 温济 +1 位作者 王亚非 袁敬闳 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第3期360-362,共3页

以片式电子材料元器件作为无损检测分析对象,以提高激光扫描声学显微镜(SLAM)系统灵敏度为目标,详细分析了入射声波在抛光型分层介质中的传播规律,建立了抛光型样品自由界面动态波纹振幅数学模型。经综合分析获得了提高系统响应的方法,... 以片式电子材料元器件作为无损检测分析对象,以提高激光扫描声学显微镜(SLAM)系统灵敏度为目标,详细分析了入射声波在抛光型分层介质中的传播规律,建立了抛光型样品自由界面动态波纹振幅数学模型。经综合分析获得了提高系统响应的方法,为进一步改进SLAM提供了理论依据。 展开更多

关键词 灵敏度 激光扫描声学显微镜 全内反射角 抛光 分层介质

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