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题名SPC技术在声体波器件生产过程的应用
被引量：1
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作者
胡瑛
朱昌安
晏秋娟
周勇
吴燕
王栋
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机构
中国电子科技集团公司第
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2013年第4期463-466,477,共5页
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文摘
针对高品质声体波微波(MBAW)器件的批量生产问题,研究了MBAW器件平面工艺路线的生产流程,选择蒸发底电极,溅射氧化锌,蒸发上电极及超声键合4个工序,应用统计过程控制(SPC)技术实施控制,确保MBAW器件在稳定受控状态下生产。本项应用不仅使这4个工序的工序能力指数(Cpk)得到提升,且MBAW器件的性能一致性和可靠性也得到明显提高,结果表明,几年来生产的MBAW器件没有再出现使用过程因质量问题的返退。
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关键词
声体波器件
可靠性
统计过程控制(SPC)
工序能力指数(Cpk)
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Keywords
BAW device
reliability
statistic process control（SPC）
process capability index（Cpk）
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分类号
TN12
[电子电信—物理电子学]
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