增量式光电位移传感器软件辨向

1

作者 李俊国 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2003年第11期57-57,59,共2页

增量式光电位移传感器需辨向 ,一般给出的为硬件辨向电路。本文给出了一种增量式光电传感器辨向方法———软件辨向 ,它适用于各种增量式位移传感器的辨向与细分 ,程序简单、动态响应快。

关键词 增量式光电位移传感器 软件辨向 硬件辨向 细分 位移测量

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增量式位移传感器信号的计算机检测 被引量：6

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作者 胡超 方刚 王耀 《计量学报》 CSCD 北大核心 1997年第4期289-293,共5页

提出一种实用的用计算机对增量式位移传感器进行检测的方法。硬件只用两个计数器和一个二路电平输入口。主要功能如辨向细分、抗抖动干扰、快慢速判断、变向判断、脉冲累计和细分修正等均依靠软件完成。

关键词 增量式 位移传感器 辨向细分 检测 微机

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增量位移集成光电传感器设计 被引量：6

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作者 刘阳 吴宏圣 +1 位作者 杨帆 许家林 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2013年第10期992-997,共6页

为了提高处理增量位移信息的集成光电传感器输出信号的有效精度,降低输出阻抗,以保证光电传感器的性能。基于0.35μm CMOS工艺,采用Cadence设计了1款用于处理增量位移信号的光电传感器,并对关键参数进行了理论推导以及验证。实验结果表... 为了提高处理增量位移信息的集成光电传感器输出信号的有效精度,降低输出阻抗,以保证光电传感器的性能。基于0.35μm CMOS工艺,采用Cadence设计了1款用于处理增量位移信号的光电传感器,并对关键参数进行了理论推导以及验证。实验结果表明,该光电传感器输出信号有效精度优于10 bit,输出阻抗低于5Ω,各项性能指标均符合行业标准,并且能够稳定地运行。 展开更多

关键词 增量位移 光电传感器 有效精度 输出阻抗

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增量式时栅位移传感器中的虚拟仪器设计

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作者 李岩 彭东林 +1 位作者 郑永 郑方燕 《工具技术》 北大核心 2007年第6期103-105,共3页

本文针对已经提出的增量式时栅位移传感器设计方案,利用VB进行了虚拟仪器设计,并已用于增量式时栅的试验研究。

关键词 增量式时栅 位移传感器 虚拟仪器

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基于TCP/IP网络通讯协议的光电位移传感器通讯接口的实现 被引量：4

5

作者 李葆勇 万秋华 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2005年第2期48-49,共2页

光电位移传感器通讯接口的发展一直受到计算机及网络技术发展的制约。如RS-485、RS-232、CAN等总线协议都只是一些局部系统的总线,由于互不兼容,给测控系统的设计带来很大障碍。而基于TCP/IP网络通讯协议的通讯接口的使用,很容易实现测... 光电位移传感器通讯接口的发展一直受到计算机及网络技术发展的制约。如RS-485、RS-232、CAN等总线协议都只是一些局部系统的总线,由于互不兼容,给测控系统的设计带来很大障碍。而基于TCP/IP网络通讯协议的通讯接口的使用,很容易实现测控系统通讯接口的统一以及网络化和远程控制。介绍了一种基于TCP/IP网络通讯协议的光电位移传感器通讯接口的设计方法。 展开更多

关键词 TCP/IP协议 光电位移传感器 以太网 通讯接口

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光电多维位移传感器的研究 被引量：2

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作者 石庚辰 王俊 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1999年第5期10-12,共3页

对用于物体多维位移测量的光电六维位移传感器的结构和工作原理进行了分析。

关键词 六维 位移传感器 光电传感器 位移测量

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主动避振自稳定的光电速度位移传感器设计 被引量：3

7

作者 张春友 吴晓强 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第12期15-17,共3页

由于机械振动的存在,在采用光电编码器作为速度位移测量设备的机械设备上,存在测量误差。即便是mm级的误差仍然会累积至较大的偏差,无法达到中央控制系统要求的精度。因此提出一种具有主动避振功能的光电速度传感器设计方法,从根本上减... 由于机械振动的存在,在采用光电编码器作为速度位移测量设备的机械设备上,存在测量误差。即便是mm级的误差仍然会累积至较大的偏差,无法达到中央控制系统要求的精度。因此提出一种具有主动避振功能的光电速度传感器设计方法,从根本上减小振动对测量结果的影响。该传感器具有可靠性好,适用场合广泛,减振效果显著的特点。 展开更多

关键词 光电编码器 速度位移传感器 磁流变液 避振

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新型光电式微位移传感器 被引量：3

8

作者 石庚辰 《传感器技术》 CSCD 1998年第2期38-39,共2页

介绍了一种新原理的光电式微位移传感器，分析了该传感器的性能特点及在使用时应注意的问题。

关键词 光电传感器 微位移测量 光电式

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一种新型光电位移传感器在Y-200圆度测量仪中的应用 被引量：1

9

作者 李国斌 李利歌 《轴承》 北大核心 2010年第7期54-57,共4页

设计了一种结构简单的完全非接触式光电位移传感器,应用ADS1210数字转换芯片处理光电位移信号,在软件设计方面通过对ADS1210的实时校正调节,可在-2~2 mm范围内移动时线性输出5 mV^4.95 V,外围电路位移可准确测量到0.1μm;最后将所设计... 设计了一种结构简单的完全非接触式光电位移传感器,应用ADS1210数字转换芯片处理光电位移信号,在软件设计方面通过对ADS1210的实时校正调节,可在-2~2 mm范围内移动时线性输出5 mV^4.95 V,外围电路位移可准确测量到0.1μm;最后将所设计的光电传感器用于Y-200圆度测量仪测试钢球的圆度,试验结果表明测量精度较高,可靠性好。 展开更多

关键词 圆度测量仪 光电位移传感器 ADS1210数字转换芯片

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光电式位移、倾斜度传感器

10

作者 钱浚霞 郑坚立 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期199-201,共3页

目前,在许多场合越来越需要同时测量多个参数,以便于确定物体所处的状态。例如,物体运动时,不仅要求知道其位移量,而且还要求测量出物体的倾斜量。这是因为物体的移动往往不是单纯的平移,只有同时把其位移量和倾斜量测出,才能正确地知... 目前,在许多场合越来越需要同时测量多个参数,以便于确定物体所处的状态。例如,物体运动时,不仅要求知道其位移量,而且还要求测量出物体的倾斜量。这是因为物体的移动往往不是单纯的平移,只有同时把其位移量和倾斜量测出,才能正确地知道该物体的运动状态。而现在大多数的测量技术只能采用多个传感器的测量方法。 展开更多

关键词 光电位移 倾斜度 传感器

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枪械振动测试用光电六维位移传感器的设计

11

作者 谢龙昊 石庚辰 《兵工自动化》 2002年第3期4-6,共3页

枪械振动测试包含刚体线位移和角位移六维运动参数。其测试方法是,将光电传感器光源与被测体固结在一起,通过求解光源在三个投影屏上随着被测体运动变化的数学模型而实现的。该传感器由激光器、投影屏、光电探测器件及处理电路、数据采... 枪械振动测试包含刚体线位移和角位移六维运动参数。其测试方法是,将光电传感器光源与被测体固结在一起,通过求解光源在三个投影屏上随着被测体运动变化的数学模型而实现的。该传感器由激光器、投影屏、光电探测器件及处理电路、数据采集、数据处理等部分组成。并以固结在被测体上的三个激光器的交点为基点,建立其线位移数学模型;以方向余弦法来确定被测体的角位移,建立其角位移数学模型。 展开更多

关键词 枪械振动测试 光电六维位移传感器 设计 光电传感器 六维运动参数 数学模型

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光电六维振动位移传感器的设计

12

作者 鹿存跃 赵淳生 《振动．测试与诊断》 EI CSCD 2002年第1期49-53,共5页

根据光学反射原理 ,采用光线转换器件和六个线阵CCD光电探测器件 ,设计了一个六维振动位移测量传感器系统 ,讨论了六维振动位移的同步测试问题。该传感器系统采用新颖的光线转换器件将被测物体的位置信息转化为投影光曲线的形状信息 ,线... 根据光学反射原理 ,采用光线转换器件和六个线阵CCD光电探测器件 ,设计了一个六维振动位移测量传感器系统 ,讨论了六维振动位移的同步测试问题。该传感器系统采用新颖的光线转换器件将被测物体的位置信息转化为投影光曲线的形状信息 ,线阵CCD器件将光线位置信息转化为电信号 ,由数据采集板送往计算机处理 ,得到被测物体的位移信息。该系统采用了新型的光线转换器 ,无需复杂、精密的光学系统 ,即可进行一定范围内的六维位移测量。 展开更多

关键词 位移传感器 CCD器件 光电测量 位移 六维振动位移 设计

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机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计 被引量：7

13

作者 徐新行 王恒坤 +2 位作者 韩旭东 王兵 高云国 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1937-1944,共8页

为了实现机载小型化FSM的闭环控制,设计了一款小体积、高精度、高环境适应性的微位移测量传感器。首先根据位移传感器的技术原理和机载FSM的应用需求,提出了微位移测量传感器的主要设计指标。然后,分别对微位移测量传感器的发光元件、... 为了实现机载小型化FSM的闭环控制,设计了一款小体积、高精度、高环境适应性的微位移测量传感器。首先根据位移传感器的技术原理和机载FSM的应用需求,提出了微位移测量传感器的主要设计指标。然后,分别对微位移测量传感器的发光元件、密珠滑轨、测量光栅和接收元件等进行了详细设计与选择。其中,高精度密珠滑轨的采用不仅减小了测量过程中的附加阻力,而且使光栅副的运动更加精准;光栅副通光窗口的引入、独特零件编码的设计、裂相法信号提取方式的采用,保证了微位移测量传感器的高低温性能。最后,针对微位移测量传感器在机载小型化FSM上的应用效果进行了理论分析与实验检测。结果显示:机载小型化FSM的方位指向误差不超过3.4″,俯仰指向误差不超过3.8″,证明了专用型微位移测量传感器高精度、高分辨力和高响应速度的技术特点,满足机载小型化FSM的应用需求。 展开更多

关键词 快速反射镜 位移传感器 测量光栅 增量式

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基于时间参考点的差动式线阵CCD位移传感器 被引量：5

14

作者 付敏 彭东林 +2 位作者 鲁进 陈锡侯 郑方燕 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期956-962,共7页

为了将线阵CCD应用于实际工程的大尺寸位移测量,利用线阵CCD像元空间与输出时间的对应关系,提出了一种差动式测量的线阵CCD位移传感器测量系统。分析了线阵CCD位移测量存在的问题,结合线阵CCD中像元空间与驱动脉冲之间的对应关系,提出... 为了将线阵CCD应用于实际工程的大尺寸位移测量,利用线阵CCD像元空间与输出时间的对应关系,提出了一种差动式测量的线阵CCD位移传感器测量系统。分析了线阵CCD位移测量存在的问题,结合线阵CCD中像元空间与驱动脉冲之间的对应关系,提出一种以时间为参考点的差动式测量方法。该方法用两个空间上对齐、时间上错开半个积分周期的线阵CCD检测透光挡板上等间距分布的透光光线的位置变化;通过计算两个CCD上输出光信号的时间差,用匀速扫描测量原理实现对空间位移的测量。用雷尼绍激光干涉仪对所研制的线阵CCD位移传感器进行了校准,结果显示:在有效测量范围(600.05mm)内,经过修正后的测量误差可控制在±2μm以内,验证了用差动法实现线阵CCD大尺寸精密位移测量的可行性。 展开更多

关键词 光电式传感器 CCD位移传感器 时间参考 位移测量

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高精度激光三角位移传感器的技术现状 被引量：98

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作者 冯俊艳 冯其波 匡萃方 《应用光学》 CAS CSCD 2004年第3期33-36,共4页

　三角测量法是一种传统的位移测量方法。随着激光器、光电探测器和计算机的发展,三角测量法有了很多新的进展和应用。对激光三角位移测量系统进行概述和讨论。根据光线的不同入射方式激光三角位移传感器主要分为两种:直入射式和斜入射... 　三角测量法是一种传统的位移测量方法。随着激光器、光电探测器和计算机的发展,三角测量法有了很多新的进展和应用。对激光三角位移测量系统进行概述和讨论。根据光线的不同入射方式激光三角位移传感器主要分为两种:直入射式和斜入射式。分别介绍了这两种方法的测量原理,并对它们各自的特点进行了比较。最后阐述了高精度激光三角位移传感器的应用方向及发展趋势。 展开更多

关键词 三角测量法 高精度激光位移传感器 光电探测器 非接触测量

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高精度电容式角位移传感器测量方法 被引量：23

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作者 张宇鹏 徐钰蕾 王昱棠 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第S1期147-150,共4页

为了实现对机载光电侦查平台内方位、内俯仰框架的旋转角度进行高精度的测量,建立了基于偏心原理的利用高精度电容式角位移传感器进行角位移测量的测量方法。利用检测面旋转中心与框架旋转中心的不重合所产生的一定偏心,在框架进行旋转... 为了实现对机载光电侦查平台内方位、内俯仰框架的旋转角度进行高精度的测量,建立了基于偏心原理的利用高精度电容式角位移传感器进行角位移测量的测量方法。利用检测面旋转中心与框架旋转中心的不重合所产生的一定偏心,在框架进行旋转时,检测面与电容式角位移传感器的安装面之间的距离会产生一定规律的变化。并依据此原理设计了一套实验装置。实验结果表明,框架的旋转角度在范围内时,电容式角度传感器测量的角度值与距离具有良好的的线性度。电容式角度传感器的测量精度优于15"。完全满足对机载光电侦查平台内方位和内俯仰框架进行高精度角位移测量的需要。 展开更多

关键词 电容式角位移传感器 测量 机载光电平台

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光强正交调制型位移传感器的数学模型与误差分析 被引量：5

17

作者 付敏 彭东林 +2 位作者 朱革 陈锡侯 昌驰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期784-793,共10页

针对传统光学位移测量方法对环境要求高和制造精度难以提高等问题,提出了一种以交变光场为测量媒介的新型线性位移检测方法。基于提出的方法,设计了一种光强正交调制型位移传感器。该方法采用基于光强正交变化的两路电驻波合成电行波信... 针对传统光学位移测量方法对环境要求高和制造精度难以提高等问题,提出了一种以交变光场为测量媒介的新型线性位移检测方法。基于提出的方法,设计了一种光强正交调制型位移传感器。该方法采用基于光强正交变化的两路电驻波合成电行波信号,通过对行波信号时间先后的测量实现空间位移的测量。为了深入理解传感器的传感机理,推导了传感器的测量模型,分析了与传感机理相关的关键因素对测量误差的影响。根据测量原理和测量模型的理论分析,研制出传感器原理样机,通过实验测试了各种关键因素对测量误差的影响,并进一步优化设计了传感器结构与参数。实验显示,优化后的传感器在108mm测量范围内的测量精度达到±0.5μm,是一种新的无需精细刻划的位移检测方案。 展开更多

关键词 光电位移传感器 交变光场 线性位移 驻波调制 电行波 误差分析

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一种基于相位光栅干涉微位移传感器的研制 被引量：4

18

作者 王淑珍 王生怀 谢铁邦 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第10期7-9,共3页

高精度微位移传感器是表面计量技术的关键技术之一。文中介绍了一种低成本、高精度的接触式微位移传感器。该传感器采用平行簧片实现精密直线运动,相位透射型正弦衍射光栅作为计量光栅实现高精密的位移测量。文中分析了其测量原理、光... 高精度微位移传感器是表面计量技术的关键技术之一。文中介绍了一种低成本、高精度的接触式微位移传感器。该传感器采用平行簧片实现精密直线运动,相位透射型正弦衍射光栅作为计量光栅实现高精密的位移测量。文中分析了其测量原理、光学原理、干涉条纹的光电接收以及辨向、细分。理论分析和实验应用结果表明该传感器垂直分辨率可达到nm级,测量量程为2 mm,可以用于微纳米表面形貌和轮廓的测量。 展开更多

关键词 微位移传感器 相位光栅干涉 平行簧片 光电阵列

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基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器 被引量：4

19

作者 杨旭东 陈育荣 谢铁邦 《工具技术》 北大核心 2007年第6期100-103,共4页

介绍了一种新型的基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器,分析了其光学原理、测量电路和信号细分方法。该位移传感器还采用了一种新的光电管排列方法,使得信噪比较传统的光电管排列方法有极大的提高并且更便于光学调整。该传感器的测... 介绍了一种新型的基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器,分析了其光学原理、测量电路和信号细分方法。该位移传感器还采用了一种新的光电管排列方法,使得信噪比较传统的光电管排列方法有极大的提高并且更便于光学调整。该传感器的测量分辨率高达5nm,可应用于表面形貌的高精度测量。 展开更多

关键词 迈克尔逊干涉 位移传感器 光电管 信噪比

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集成光电传感器的研究 被引量：2

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作者 黄伟 周肇飞 张涛 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期595-597,共3页

为适应现代加工技术的需要 ,研制了一种集成非接触式光电传感器 ,它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度 3种测量方式结合起来 ,实现同时测量 3种参数的功能。通过运用自适应滤波对数据进... 为适应现代加工技术的需要 ,研制了一种集成非接触式光电传感器 ,它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度 3种测量方式结合起来 ,实现同时测量 3种参数的功能。通过运用自适应滤波对数据进行处理 ,其测量精度与单功能传感器相近。 展开更多

关键词 光电传感器 传感器集成 粗糙度 微位移 微观轮廓

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