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微热流矢量传感器的声号筒增敏结构设计
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作者 郝涛涛 郭世旭 +1 位作者 胡清扬 王萧博 《传感技术学报》 CSCD 北大核心 2024年第12期2029-2036,共8页
为了能有效提高微热流矢量传感器的灵敏度,同时不改变其“8”字指向性,设计了一种微型声振速号筒结构,可以在不增加电噪声的前提下,实现微热流MEMS传感器在工作频段内的物理增敏,且对MEMS芯片起到保护作用。通过COMSOL中的热粘性声学模... 为了能有效提高微热流矢量传感器的灵敏度,同时不改变其“8”字指向性,设计了一种微型声振速号筒结构,可以在不增加电噪声的前提下,实现微热流MEMS传感器在工作频段内的物理增敏,且对MEMS芯片起到保护作用。通过COMSOL中的热粘性声学模块,建立声号筒仿真模型对理论方程进行求解,选择最优的双锥管型结构;改变声号筒的尺寸参数,确定声号筒的加工尺寸;将MEMS技术加工的微热流传感器和微米级精度3D打印的声号筒组合成联合增敏单元进行空气声学性能测试。最终实验表明:声号筒增敏结构可提供12 dB@200 Hz的灵敏度增益,联合增敏单元有良好的“8”字指向性,横向抑制比为26.09 dB@500 Hz。 展开更多
关键词 微热流矢量传感器 声号筒增敏结构 联合单元 MEMS
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基片式光纤光栅应变传感器增敏结构研究 被引量:5
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作者 李忠玉 张志勇 +2 位作者 张信普 杨顺智 王鹏 《光通信技术》 北大核心 2018年第6期21-24,共4页
改变光纤光栅(FBG)传感器的封装结构在提高传感器的测量灵敏度、保护传感器方面具有重要的作用。在传统应变片封装结构的基础上,设计了一种具有新型增敏结构的基片式封装结构。对新型封装的结构参数与传感器应变灵敏度之间的关系进行了... 改变光纤光栅(FBG)传感器的封装结构在提高传感器的测量灵敏度、保护传感器方面具有重要的作用。在传统应变片封装结构的基础上,设计了一种具有新型增敏结构的基片式封装结构。对新型封装的结构参数与传感器应变灵敏度之间的关系进行了仿真分析,并与一般封装结构的特性进行了对比。仿真结果表明,在整体尺寸相同的情况下,采用新型增敏结构应变片的应变灵敏度为463με/N,是一般封装结构应变片的3.4倍。对FBG传感器进行了封装处理和对比测试实验,实验结果与理论设计相符合。 展开更多
关键词 光纤布喇格光栅 基片式 增敏结构 应变传感器
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基于双圆柱增敏结构的热丝式MEMS矢量水听器研制 被引量:2
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作者 张虹 郭世旭 +2 位作者 王月兵 赵鹏 武珺 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第12期105-110,共6页
针对热丝式MEMS质点振速传感器应用到水下时,其灵敏度严重衰减的问题,提出了一种双圆柱增敏结构,通过流体仿真分析,优化了增敏结构设计,并设计了一种水下应用的封装结构。在空气半消声室及矢量水听器水下驻波场校准装置中的测试表明,其... 针对热丝式MEMS质点振速传感器应用到水下时,其灵敏度严重衰减的问题,提出了一种双圆柱增敏结构,通过流体仿真分析,优化了增敏结构设计,并设计了一种水下应用的封装结构。在空气半消声室及矢量水听器水下驻波场校准装置中的测试表明,其在20~2 000 Hz频段内,增敏结构对声波信号放大约10 dB,研制的矢量水听器工作频段为20~800 Hz,灵敏度达到-199 dB。 展开更多
关键词 热丝 MEMS矢量水听器 增敏结构 频率
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增敏型级联双参量测量的光纤传感器 被引量:2
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作者 彭进 侯俊勇 +2 位作者 陈刚 陈贞屹 黄馨月 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2022年第7期1048-1053,共6页
旨在有效解决液体折射率检测中温度和折射率交叉敏感的问题,研制了一种增敏型光纤光栅(FBG)级联马赫-曾德尔(M-Z)结构的温度、折射率双参量测量的光纤传感器。通过多次熔接实验,调节相应参数将单模光纤(SMF)和薄芯光纤(TCF)进行拉锥熔接... 旨在有效解决液体折射率检测中温度和折射率交叉敏感的问题,研制了一种增敏型光纤光栅(FBG)级联马赫-曾德尔(M-Z)结构的温度、折射率双参量测量的光纤传感器。通过多次熔接实验,调节相应参数将单模光纤(SMF)和薄芯光纤(TCF)进行拉锥熔接;然后在TCF的另一端熔接无心光纤(NCF),制备出M-Z光纤干涉仪;再在NCF末端级联上铝制毛细管增敏封装后的光纤光栅(FBG),最终完成双参量测量的光纤传感器的制备。根据M-Z干涉原理及FBG模式理论,计算了增敏FBG理论的温度灵敏度,给出了传感器的灵敏度系数矩阵与温度、折射率与透射谱的波长漂移量的理论公式。搭建了温度、折射率传感测试系统,实验结果表明:在15~85℃温度范围内,随着温度增加,该传感器的透射谱逐渐红移,封装后的FBG和M-Z结构的温度与波长偏移量线性相关系数分别为0.96323和0.91577,温度灵敏度分别为33.71 pm/℃和11.58 pm/℃;在室温下(25℃),液体折射率在1.333RIU~1.34235RIU范围内,随着折射率增加,FBG透射谱不发生偏移,M-Z透射谱逐渐蓝移,折射率与波长偏移量线性相关系数分别为0和0.98761,折射率灵敏度分别为0 nm/RIU和-493.51322 nm/RIU。该传感器可以有效提高温度、折射率的检测精度和灵敏度,可应用于环境、生物、石油化工和食品生产等领域。 展开更多
关键词 光纤传感 双参量测量 光纤光栅 马赫-曾德尔干涉 增敏结构
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超短FBG的高灵敏度温度传感器 被引量:4
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作者 吴昊 张洋 +2 位作者 王帅 刘瀚霖 辛璟焘 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2021年第8期1057-1064,共8页
为了研究一种适用于人造卫星环境温度监测的高灵敏度温度传感器,利用超短光纤光栅的小尺寸优点并结合双金属增敏结构研究设计小尺寸高灵敏度温度传感器。采用1 mm超短光纤光栅作为测量敏感元件,以热膨胀系数大的铝材作为基底、热膨胀系... 为了研究一种适用于人造卫星环境温度监测的高灵敏度温度传感器,利用超短光纤光栅的小尺寸优点并结合双金属增敏结构研究设计小尺寸高灵敏度温度传感器。采用1 mm超短光纤光栅作为测量敏感元件,以热膨胀系数大的铝材作为基底、热膨胀系数小的殷钢为热应变传递梁,将30 mm的铝材基底热应变转化为1 mm超短光纤光栅上的弹性应变,达到高效的温度增敏效果,实现了高灵敏度的温度测量。经测试,高灵敏度温度传感器的温度灵敏度系数为292.59 pm/℃,分辨率优于0.004℃,线性度为99.93%。该传感器可用于温度的精确测量,具有尺寸小和分辨率高等优点。 展开更多
关键词 超短光纤光栅 温度传感 增敏结构
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基于正弦机构力放大原理的高灵敏度光纤光栅压力传感器 被引量:4
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作者 王俊杰 姜德生 +3 位作者 谢官模 梁宇飞 李军向 黄俊斌 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期783-786,共4页
基于正弦机构力放大原理,设计研究了基于平面圆形薄板结构的新型高灵敏度光纤光栅压力传感器,研究表明,传感器的压力灵敏度可高达0.04711(pm/Pa),比裸光纤增敏了14989倍,可应用于超低量程压力的传感测量,而该封装结构易于传感FBG多路复... 基于正弦机构力放大原理,设计研究了基于平面圆形薄板结构的新型高灵敏度光纤光栅压力传感器,研究表明,传感器的压力灵敏度可高达0.04711(pm/Pa),比裸光纤增敏了14989倍,可应用于超低量程压力的传感测量,而该封装结构易于传感FBG多路复用,组成传感器阵列。 展开更多
关键词 光纤传感器 光纤光栅 压力测量 正弦力放大机构 结构
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基于杠杆原理的高灵敏度光纤光栅压力传感器实验 被引量:2
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作者 孙立晔 张嫚 +1 位作者 李闯 孙丽 《沈阳建筑大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2016年第1期80-86,共7页
目的为更好地扩大光纤光栅压力传感器的适用范围,设计一种基于拉伸铝片的新型高灵敏度光纤光栅压力传感器.方法应用杠杆原理实现力的增敏,并改变力的方向,使光纤光栅受力增大,从而提高压力传感器的灵敏度及线性度.通过有限元模拟仿真,... 目的为更好地扩大光纤光栅压力传感器的适用范围,设计一种基于拉伸铝片的新型高灵敏度光纤光栅压力传感器.方法应用杠杆原理实现力的增敏,并改变力的方向,使光纤光栅受力增大,从而提高压力传感器的灵敏度及线性度.通过有限元模拟仿真,将实验结果与模拟结果进行对比分析.结果新型压力传感器的灵敏度实验结果与模拟结果相近,实测拉力灵敏度为2.239×10^(-6)nm/Pa,比裸光纤增敏了730倍,其线性度为"0.99".同时通过改变杠杆的比例、材料截面、形式等因素,可以使传感器适应更多的环境需求.结论笔者设计的光纤光栅压力传感器线性度好,灵敏度高,可以满足工程实用性. 展开更多
关键词 光纤光栅 压力传感 杠杆原理 结构
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