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基于均匀模型的低气压电容耦合射频放电特性研究 被引量:7
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作者 王宇天 张百灵 +3 位作者 李益文 樊昊 高岭 庄重 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期773-778,共6页
针对磁流体流动控制技术对大体积、均匀放电等离子体的需要,开展了低气压下平板型电容耦合放电特性实验研究,并基于均匀射频放电模型,联立能量平衡方程建立诊断模型对等离子体参数进行诊断。结果表明:气压较低时,放电为α模式,整个放电... 针对磁流体流动控制技术对大体积、均匀放电等离子体的需要,开展了低气压下平板型电容耦合放电特性实验研究,并基于均匀射频放电模型,联立能量平衡方程建立诊断模型对等离子体参数进行诊断。结果表明:气压较低时,放电为α模式,整个放电空间发光较为均匀,当气压大于500 Pa时,放电转变为γ模式,在电极附近出现负辉光区,但负辉光区较厚占据了整个放电空间,随着气压增大,负辉光区、法拉第暗区厚度减小,并在放电区域中心出现明显正柱区,正柱区面积随负载功率的增大而增大;放电为γ模式时,电流将随负载功率增大而增大,而电压先不变后增大,并且转折点负载功率随着气压增大而增大;电子数密度ne随负载功率的增大线性增大,而电子温度T_e只是略有增大,约为5500 K(0.47 e V)。 展开更多
关键词 电容耦合放电 等离子体诊断 均匀模型 电子数密度 电子温度
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超声速气流电容耦合射频放电特性 被引量:1
2
作者 李益文 王宇天 +3 位作者 张百灵 庄重 何国强 张茗柯 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期3078-3084,共7页
针对如何产生均匀和稳定的超声速非平衡等离子体这一科学问题,为进一步探究超声速气流电容耦合射频放电特性,建立了超声速非平衡电离磁流体动力技术实验系统,开展了Ma=3.4条件下,超声速气流边界层与主流中心区的电容耦合射频放电特性研... 针对如何产生均匀和稳定的超声速非平衡等离子体这一科学问题,为进一步探究超声速气流电容耦合射频放电特性,建立了超声速非平衡电离磁流体动力技术实验系统,开展了Ma=3.4条件下,超声速气流边界层与主流中心区的电容耦合射频放电特性研究;同时针对超声速放电等离子体的实时诊断问题,基于均匀射频放电模型,联立能量平衡方程,建立等离子体诊断模型对平均电子数密度与电子温度等参数进行诊断。结果表明:超声速气流条件下,通过电容耦合射频可以产生均匀和稳定的放电等离子体;分子数密度是影响超声速气流放电特性的主要因素,同时超声速气流对平均电子温度的影响很小,约为0.46 e V。 展开更多
关键词 非平衡电离 电容耦合放电 等离子体诊断 电子数密度 电子温度
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容性耦合射频(CCRF)放电等离子体特性实验研究 被引量:6
3
作者 黄建军 刘正之 +1 位作者 梁荣庆 D.Teuner 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期408-411,共4页
利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路 ,对容性耦合射频 (CCRF)激励激光器放电特性进行研究 ,得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线 ... 利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路 ,对容性耦合射频 (CCRF)激励激光器放电特性进行研究 ,得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线 ,以及等离子体电阻、容抗与气体压强、放电电流之间的实验曲线 ,在Godyak射频放电模型的基础上得出等离子体的电子密度 ,并同内置铜电极射频激励铜离子激光器阻抗特性进行了比较。 展开更多
关键词 容性耦合放电 等离子体 实验研究 等效电路模型 放电特性
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容性耦合射频放电等离子体的仿真模拟与实验诊断研究 被引量:20
4
作者 朱寒 何湘 +1 位作者 陈秉岩 陈建平 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第16期3504-3511,共8页
针对工业生产与军事应用上低气压、低温非热平衡等离子体的制备和实验诊断问题,采用COMSOL软件等离子体模块进行仿真模拟,建立容性耦合射频等离子体放电的一维流体模型,设定He气为工作气体,数值研究不同电压、不同气压条件下等离子体电... 针对工业生产与军事应用上低气压、低温非热平衡等离子体的制备和实验诊断问题,采用COMSOL软件等离子体模块进行仿真模拟,建立容性耦合射频等离子体放电的一维流体模型,设定He气为工作气体,数值研究不同电压、不同气压条件下等离子体电子数密度和电子温度的轴向分布。搭建等离子体产生及诊断实验平台,根据均匀射频放电的等效回路计算得到电子密度ne与电子温度Te,将所得数据与流体模型仿真模拟相比较,得到了一致的结果。研究表明:当气体压强为100~250Pa时,极板间电子密度沿轴向先增大后减小,平均电子密度随驱动电压与输入功率的增加而增加;电子温度在极板中心处取得最小值,极板边缘存在两个峰值,平均电子温度仅是气压与腔体尺寸的函数,随驱动电压和功率的变化不明显,仅随气压的增大而减小。随着输入功率的增加,电子密度由逐渐上升转变为迅速上升,且在不同气压下这种电子密度的跃变出现在不同的电压幅值处,这标志着容性耦合放电中的α-γ模式转变。所得结论扩大了模拟仿真与实验快速无干扰诊断的应用范围,为进一步研究低温等离子体放电性质提供了技术支持。 展开更多
关键词 容性耦合放电 等离子体 实验诊断 COMSOL仿真
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基于空心电极增强的容性耦合射频等离子体特性 被引量:2
5
作者 白志丽 何锋 +3 位作者 李佩贞 贺柳良 缪劲松 欧阳吉庭 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期4069-4076,共8页
为了提高容性耦合射频放电所产生的等离子体密度,在射频放电中利用空心电极结构替代平板电极,实验研究射频空心电极放电的等离子体特性。利用Langmuir探针诊断了电极间距、孔径和孔深对等离子体电子数密度的影响,并且对不同放电参数下... 为了提高容性耦合射频放电所产生的等离子体密度,在射频放电中利用空心电极结构替代平板电极,实验研究射频空心电极放电的等离子体特性。利用Langmuir探针诊断了电极间距、孔径和孔深对等离子体电子数密度的影响,并且对不同放电参数下空心电极上的自偏压进行了比较。实验结果表明:当空心电极孔径d=20 mm、电极间距L=3 cm、孔深h=3 mm、气压p为50~300 Pa时,在孔外获得的等离子体电子数密度最高,约为10^17~10^18m^-3。同时实验测得不同放电参数下射频空心电极上的自偏压也完全与鞘电压分布的"面积比"规律相符,即小电极处的鞘电压更高。射频振荡加热和空心阴极效应相互耦合能够产生稳定性好、电离率高、密度高的等离子体,电极几何参数和自偏压对获得高密度等离子体有着重要的影响。 展开更多
关键词 容性耦合放电 空心电极 放电参数 电子密度 自偏压
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容性耦合射频氩等离子体放电诊断研究及仿真模拟 被引量:6
6
作者 庞佳鑫 何湘 +2 位作者 陈秉岩 刘冲 朱寒 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期8-15,共8页
针对中等气压、中等功率下射频容性耦合(CCRF)等离子体的放电特性,采用基于流体模型的COMSOL软件仿真,建立一维等离子体放电模型,以Ar为工作气体,研究同一气压时不同射频输入功率下等离子体电子温度和电子密度的分布规律。同时依据仿真... 针对中等气压、中等功率下射频容性耦合(CCRF)等离子体的放电特性,采用基于流体模型的COMSOL软件仿真,建立一维等离子体放电模型,以Ar为工作气体,研究同一气压时不同射频输入功率下等离子体电子温度和电子密度的分布规律。同时依据仿真模型设计制作相同尺寸的密闭玻璃腔体和平板电极,实验测量了不同射频输入功率时放电等离子体的有效电流电压及发射光谱,进而计算等离子体的电子温度及电子密度;利用玻耳兹曼双线测温法,得到光谱法下等离子体的电子温度及电子密度。结果表明:当气体压强为250Pa、输入功率为100~450W时,等离子体电压电流呈线性关系,电子密度随功率的增大而增大,而电子温度并未随功率的变化而有明显变化,其与功率无关。运用仿真模拟验证了实验的准确性,通过比较,三种方法所得的结果相近。通过结合等效回路法、光谱法和数值模拟仿真法初步诊断出中等气压下等离子体的放电参数,提出了结合三种方法作为实验研究的方法,使实验结果更具说服力,证明其方法的可靠性,也为进一步的等离子体特性研究提供依据。 展开更多
关键词 容性耦合放电 等离子体 COMSOL仿真模拟 光谱法诊断 等效电路法
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基于射频放电一维模型的等离子体诊断 被引量:5
7
作者 张百灵 樊昊 +3 位作者 李益文 阳鹏宇 高岭 王宇天 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3994-3999,共6页
为深入研究磁流体效应机理,采用阻抗测量的方法,通过对放电波形的处理,得到放电电压幅值、电流幅值及相位角,依据射频放电一维模型建立等效放电电路,对等离子体参数进行诊断。研究表明,采用半峰值法能够精确读取电压电流幅值及相位角;... 为深入研究磁流体效应机理,采用阻抗测量的方法,通过对放电波形的处理,得到放电电压幅值、电流幅值及相位角,依据射频放电一维模型建立等效放电电路,对等离子体参数进行诊断。研究表明,采用半峰值法能够精确读取电压电流幅值及相位角;同轴电缆的容性作用对射频放电电路结构有很大影响;在压力P=1 500 Pa,放电频率f=6.2 MHz的静止条件下,电容耦合射频放电等离子体的电导率约为4×10-3 S/m,电子数密度在1016 m-3量级,电导率随着负载功率增大而增大,随磁感应强度变化呈"V"形变化,在磁感应强度较小时,电导率随磁感应强度增加减小,磁感应强度较大时,随磁感应强度增大而增大;电子数密度随着负载功率和磁感应强度增加而增大。 展开更多
关键词 等离子体诊断 一维模型 电容耦合放电 电导率 电子数密度 磁流体
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射频电感性耦合等离子体调谐基片自偏压特性 被引量:3
8
作者 丁振峰 霍伟刚 王友年 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期197-202,共6页
采用调节射频电感性耦合等离子体中基片电极与地之间的外部电路阻抗的方法,控制基片电极的射频自偏压。研究了调谐基片自偏压随外部调谐电容值的变化特征,得到了调谐基片射频自偏压随射频放电功率、气压的变化曲线。在一定放电参数区域... 采用调节射频电感性耦合等离子体中基片电极与地之间的外部电路阻抗的方法,控制基片电极的射频自偏压。研究了调谐基片自偏压随外部调谐电容值的变化特征,得到了调谐基片射频自偏压随射频放电功率、气压的变化曲线。在一定放电参数区域内,调谐基片射频自偏压随调谐电容的变化曲线呈现跳变、双稳、迟滞现象。 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 电容耦合 自偏压 非线性 鞘层
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电容耦合的抑制对感应耦合放电等离子体的影响
9
作者 辛煜 宁兆元 +1 位作者 狄小莲 虞一青 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期439-443,共5页
感应耦合等离子体(ICP)是微电子工业刻蚀高精度沟槽结构的首选高密度等离子体源。研究ICP的电特性与等离子体电学参量的变化显得非常重要。本文中,在平板型ICP源的感应线圈和介质窗口之间,使用了对称、均匀、呈辐射状的法拉第屏蔽板。... 感应耦合等离子体(ICP)是微电子工业刻蚀高精度沟槽结构的首选高密度等离子体源。研究ICP的电特性与等离子体电学参量的变化显得非常重要。本文中,在平板型ICP源的感应线圈和介质窗口之间,使用了对称、均匀、呈辐射状的法拉第屏蔽板。结果表明,屏蔽板的使用不仅极大地降低了干扰等离子体参量测量的等离子体射频电位,而且也降低了线圈中的放电电流和等离子体中的轴向微分磁场信号强度,但Ar等离子体的发射光谱表明,法拉第屏蔽的采用对等离子体功率吸收的影响不大。对测量信号中出现的高次谐波行为也做了定性的讨论。 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 等离子体电位 法拉第屏蔽 电容耦合
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工作气压对氩射频电感耦合等离子体模式转换的影响
10
作者 熊文文 陈俊芳 +1 位作者 王燕 王勇 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2019年第1期16-21,共6页
采用朗格缪尔探针诊断装置测量电子能量和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测量发光强度,以判断实验腔室内的放电模式.结果表明:等离子体放电可以在E模式和H模式间相互转换,并且等离子体密度和发光强度随着射频功率的变化而出现反向... 采用朗格缪尔探针诊断装置测量电子能量和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测量发光强度,以判断实验腔室内的放电模式.结果表明:等离子体放电可以在E模式和H模式间相互转换,并且等离子体密度和发光强度随着射频功率的变化而出现反向滞后现象.当工作气压在0.36~0.42 Pa区间时,滞后现象不再发生.此外,随着工作气压的增大,E-H模转换的跳跃功率先减小而后增大,在工作气压为0.39 Pa时跳跃功率最低.射频功率越大,气体保持H模式放电所需气压的范围越大.研究结果可为实际工业生产中的气压控制提供参考依据. 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 工作气压 ICP放电 光谱 LANGMUIR探针 E-H模式转换
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容性耦合等离子体腔室放电特性仿真研究 被引量:11
11
作者 杨旺 刘学平 +2 位作者 夏焕雄 向东 牟鹏 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期639-645,共7页
容性耦合等离子体射频放电广泛应用于IC制造中的薄膜沉积、刻蚀工艺中,等离子体中的电子密度和平均电子温度直接影响离化及激发反应速率,其在放电腔室中径向分布的均匀性严重影响刻蚀和薄膜沉积的均匀性。以某12寸腔体为研究对象,采用Co... 容性耦合等离子体射频放电广泛应用于IC制造中的薄膜沉积、刻蚀工艺中,等离子体中的电子密度和平均电子温度直接影响离化及激发反应速率,其在放电腔室中径向分布的均匀性严重影响刻蚀和薄膜沉积的均匀性。以某12寸腔体为研究对象,采用Comsol软件仿真研究了功率电极电压、腔室气压和极板间距对等离子体的电子密度和平均电子温度的影响规律。仿真研究发现:在研究的气压、电压、极板间距范围内,电子密度和平均电子温度随电压的增加而增加,其均匀性随电压的增加而变差;电子密度随气压的增加而增加,平均电子温度随气压的增加而降低,电子密度的均匀性随气压的增加而改善,电子温度的均匀性随气压的增加先变差再变好;电子密度随极板间距的增加而增加,平均电子温度随极板的增加而降低,电子密度和平均电子温度的均匀性随极板间距的增加而变好。研究结果对指导等离子体参与的IC工艺腔室结构设计及工艺控制具有重要意义。 展开更多
关键词 容性耦合等离子体 放电参数 氩气放电 放电特性
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UHF频段RFID阅读器近场耦合天线设计与分析
12
作者 王鑫 赖晓铮 赖声礼 《科学技术与工程》 2009年第22期6822-6825,6836,共5页
设计并实现了一种RFID阅读器近场耦合天线,并对该天线的阻抗特性和辐射特性进行了理论计算和仿真。使用了折叠偶极子天线结构,极大减小了天线尺寸。同时在天线臂之间加入了寄生电容,实现阻抗调整的作用。在仿真的基础上,实际制作了实物... 设计并实现了一种RFID阅读器近场耦合天线,并对该天线的阻抗特性和辐射特性进行了理论计算和仿真。使用了折叠偶极子天线结构,极大减小了天线尺寸。同时在天线臂之间加入了寄生电容,实现阻抗调整的作用。在仿真的基础上,实际制作了实物,并接上UHF近场耦合阅读器进行测试,效果良好。 展开更多
关键词 偶极子天线 近场耦合 寄生电容 识别
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放电参数变化对电感耦合等离子闭式等离子体空间分布特性研究 被引量:4
13
作者 林茂 徐浩军 +2 位作者 魏小龙 韩欣珉 武颂尧 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2022年第5期1294-1304,共11页
射频电感耦合等离子体(ICP)在实际放电过程中,线圈的构型、电源参数、气压等外部工质条件的变化均会对结果产生较大影响,依靠实验很难得到多外部条件对ICP参数分布的影响机理和规律,因此需要结合仿真和实验的方法进行分析。该文通过建... 射频电感耦合等离子体(ICP)在实际放电过程中,线圈的构型、电源参数、气压等外部工质条件的变化均会对结果产生较大影响,依靠实验很难得到多外部条件对ICP参数分布的影响机理和规律,因此需要结合仿真和实验的方法进行分析。该文通过建立感性线圈的电磁学有限元模型,分析不同线圈构型下射频电磁场在等离子体内部的空间分布,研究放电参数(线圈构型、功率大小)对等离子体分布影响和E-H模型下放电形态的跳变过程,并观察进入稳定H模式后电源参数的变化规律,为等离子体源的小型化工程应用提供理论基础。实验和仿真计算结果表明:不同线圈匝数在不同功率条件下,电磁场强度变化对等离子功率吸收和功率耦合有较大影响;当工作气压在0~20Pa时,ICP的电子密度呈轴对称分布,随着放电功率、气压的增大,等离子体吸收的功率和电离度也随之增加,其电子密度相应地增大,放电功率的增加会使得环状的等离子体区域随之扩大,在轴向、径向上的分布呈先逐渐增大而后在靠近腔室壁面区域迅速下降。 展开更多
关键词 电感耦合等离子体 功率 放电线圈 参数空间分布
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射频碳氟等离子提升环氧树脂沿面耐电性能的研究 被引量:2
14
作者 王晨旭 吴锡鹏 +5 位作者 刘孝平 郭前鑫 高春阳 谢坤 李文栋 张冠军 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期133-141,共9页
在绝缘系统中复合界面的沿面耐电强度远低于固体、气体或真空侧的击穿场强,这严重限制了电力设备的整体绝缘性能。表面氟化被证明是提升绝缘材料沿面耐电性能的有效手段,其中利用碳氟等离子体对绝缘材料进行表面氟化展现出独特的优势。... 在绝缘系统中复合界面的沿面耐电强度远低于固体、气体或真空侧的击穿场强,这严重限制了电力设备的整体绝缘性能。表面氟化被证明是提升绝缘材料沿面耐电性能的有效手段,其中利用碳氟等离子体对绝缘材料进行表面氟化展现出独特的优势。文中采用CF_(4)射频电容耦合等离子体(capacitively coupled plasma,CCP)对环氧树脂进行表面改性以提升其表面绝缘性能。利用单反相机和光谱仪诊断CCP的放电模式和活性粒子,建立一维流体仿真模型对其电子能量和密度进行分析。通过原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、表面电位衰减测量平台、表面电位扫描平台及真空闪络试验平台来评估样品的表面物理化学特性和沿面耐电性能。结果表明,CF_(4)CCP表面处理能在环氧树脂表面引入碳氟基团并促进表面形貌重整。经10 min处理后,样品的真空闪络电压可提高27.6%,C-F的强电负性和表面粗糙度的增加不仅有助于增加表面陷阱密度,抑制二次电子发射雪崩的发展,而且减轻了表面电荷积累,最终提高了环氧树脂的闪络电压。 展开更多
关键词 四氟化碳 电容耦合等离子体 表面改性 沿面耐电性能
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半波振子结构在井下5G辐射场中的安全性分析 被引量:3
15
作者 田子建 降滉舟 +2 位作者 常琳 刘斌 王文清 《工矿自动化》 CSCD 北大核心 2023年第6期159-167,共9页
GB 3836.1-2021《爆炸性环境第1部分设备通用要求》规定,爆炸性环境中射频设备的射频阈功率不得大于6 W,该规定引自欧盟标准,缺乏试验验证,严重制约了5G技术在煤井下的应用。为了重新评价矿井5G通信设备辐射电磁波能量的安全性,分析得... GB 3836.1-2021《爆炸性环境第1部分设备通用要求》规定,爆炸性环境中射频设备的射频阈功率不得大于6 W,该规定引自欧盟标准,缺乏试验验证,严重制约了5G技术在煤井下的应用。为了重新评价矿井5G通信设备辐射电磁波能量的安全性,分析得出金属结构耦合电磁波产生放电的形式应为低压分断电路电弧放电;分析了金属结构耦合电磁波产生的放电能量,选择最易耦合电磁波的半波振子结构为研究对象,通过比较得出等效半波振子等价直流放电电路产生的放电能量大于等价高频放电电路产生的放电能量,从而将分析金属结构耦合电磁波放电的安全性转换为分析金属结构的等效半波振子天线等价直流放电电路的安全性。选择直流本安电路的安全性判别原则来判断等效半波振子等价直流放电电路的安全性,通过计算放电功率和能量,得出5G射频设备辐射功率不大于10.5 W时,将不会点燃爆炸性的瓦斯气体,因此,可将5G通信系统射频基站的安全辐射功率提高到10.5 W。 展开更多
关键词 5G通信系统 阈功率 金属结构耦合电磁波放电 半波振子 低压分断电路电弧放电 最低点火能 本安电路
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RF-MEMS电感三维衬底耦合的扩展PEEC法分析
16
作者 龙海波 张跃江 冯正和 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第9期1308-1312,共5页
本文扩展了部分元等效电路(PEEC)法来分析RF-MEMS电感的三维结构衬底耦合.将电边界条件引入PEEC法中,从而得到包含了衬底耦合的电容矩阵;通过电荷源等效使得在部分元的计算中能应用均匀介质空间的格林函数;应用合适的网格单元尺寸而... 本文扩展了部分元等效电路(PEEC)法来分析RF-MEMS电感的三维结构衬底耦合.将电边界条件引入PEEC法中,从而得到包含了衬底耦合的电容矩阵;通过电荷源等效使得在部分元的计算中能应用均匀介质空间的格林函数;应用合适的网格单元尺寸而引人电磁场滞后效应,使得在较大尺寸器件和较高频段时仍能保证PEEC法的高精度.这些改进降低了分析的复杂度和计算量,并保持了高精度.根据该方法编制的程序的数值结果与已发表的实验数据吻合得很好. 展开更多
关键词 RF-MEMS电感 三维衬底耦合 PEEC 微机电系统 部分元等效电路法 电感矩阵 电容矩阵
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O_2/SF_6气氛下光刻胶灰化反应的机理研究 被引量:4
17
作者 徐大林 丁欣 +3 位作者 侯智 刘祖宏 郑载润 刘锋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第12期1109-1113,共5页
光刻胶的大面积灰化是TFT工艺的核心工艺之一,本文研究了在增强型电容耦合射频放电模式下,SF6比例对光刻胶灰化率的影响,并建立表面反应模型对此进行解释。研究表明,纯O2气体中加入少量SF6,能够有效提高等离子中氧原子浓度和活化光刻胶... 光刻胶的大面积灰化是TFT工艺的核心工艺之一,本文研究了在增强型电容耦合射频放电模式下,SF6比例对光刻胶灰化率的影响,并建立表面反应模型对此进行解释。研究表明,纯O2气体中加入少量SF6,能够有效提高等离子中氧原子浓度和活化光刻胶的生成量,增大光刻胶灰化率。当SF6比例过高时,氟原子与氧原子形成化学吸附位竞争将导致光刻胶灰化率降低,而粒子间碰撞的加剧与溅射产率的下降使这一趋势愈加明显。 展开更多
关键词 光刻胶 增强型电容耦合射频放电 灰化 光谱分析 表面反应模型
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等离子体光谱光源技术的研究进展 被引量:6
18
作者 辛仁轩 《中国无机分析化学》 CAS 2019年第1期17-26,共10页
光谱光源是光谱仪器和光谱技术的核心,等离子体光源是原子发射光谱技术的活跃领域之一,电感耦合等离子体(ICP)已成功地应用于原子发射光谱和无机质谱仪器。由于ICP光源采用氩气作为工作气体,耗量较大,降低氩气用量成为近些年来原子光谱... 光谱光源是光谱仪器和光谱技术的核心,等离子体光源是原子发射光谱技术的活跃领域之一,电感耦合等离子体(ICP)已成功地应用于原子发射光谱和无机质谱仪器。由于ICP光源采用氩气作为工作气体,耗量较大,降低氩气用量成为近些年来原子光谱技术研究和改进的重要目标。为此目的,已研究过各种低耗氩ICP光源,非氩气ICP光源,微波等离子体光源,射频电容耦合等离子体光源等。综述了近年这些等离子体发射光源的结构,分析性能及特点,以及它们所用工作气体情况。并归纳总结出,评价各种等离子体发射光谱光源应包括:等离子体温度(激发温度,气体温度),电子密度,工作气体种类及用量,元素检出限,光源的稳健性及经济方面等。 展开更多
关键词 等离子体光源 ICP-AES 高功率微波等离子体光源(MWP) 电容耦合等离子体(rf-CCP)
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