-
题名三维表面轮廓的白光干涉垂直扫描测量方法的研究
被引量：2
- 1
-
-
作者
汪洁
常素萍
谢铁邦
-
机构
华中科技大学机械科学与工程学院
-
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2006年第z1期160-163,共4页
-
文摘
基于白光干涉垂直扫描轮廓测量原理,研制出一种以6JA干涉显微镜为基础,配合自带计量衍射光栅测量系统的精密垂直位移工作台,从而实现大范围、高精度三维表面轮廓测量的方法.实验结果表明,采用白光干涉垂直扫描轮廓测量方法,可满足测量解析度及精度达到纳米等级的同时,其垂直测量范围可达80μm的三维表面轮廓测量要求.
-
关键词
计量学
表面三维轮廓测量
垂直扫描白光干涉法
-
分类号
TH7
[机械工程—精密仪器及机械]
-
-
题名基于SVMD-HD去噪的白光干涉解调算法
被引量：1
- 2
-
-
作者
邢伦
桑梅
石珍曼
王双
刘铁根
-
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
天津大学光电信息技术教育部重点实验室
-
出处
《应用光学》
CAS
北大核心
2023年第4期816-825,共10页
-
基金
国家重点研发计划(2018YFF01013203)。
-
文摘
垂直扫描白光干涉法(VSWLI)是一种非接触式三维表面轮廓测量方法。蝙蝠翼作为VSWLI当中一种固有的缺陷,尤其在被测样品的台阶高度小于光源的相干长度时,台阶边缘处的蝙蝠翼尤为显著。相移干涉法不存在这种缺陷,但是存在相位模糊的问题。提出一种将Carré等步长相移算法与快速傅里叶变换(FFT)相干峰值检测技术相结合的白光干涉解调算法。该算法基于逐次变分模态分解(SVMD)与Hausdorff距离(HD)联合去噪。分别以高度为500 nm和1200 nm的连续台阶器件和高度为10μm的标准台阶作为测试样品,进行实验测量验证。所提出的算法能够有效地抑制台阶高度跳变处的蝙蝠翼,克服相位模糊问题。
-
关键词
垂直扫描白光干涉法
相移干涉法
逐次变分模态分解
蝙蝠翼
相位模糊
-
Keywords
vertical-scanning white light interferometry
phase-shifting interferometry
successive variational mode decomposition
batwings
phase ambiguity
-
分类号
TN206
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名基于干涉显微原理的表面形貌测量系统
被引量：11
- 3
-
-
作者
王海珊
史铁林
廖广兰
刘世元
张文栋
-
机构
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
中北大学电子测试技术国家重点实验室
-
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期84-89,共6页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(50535030)
国家“973”计划资助项目(2003CB716207)
+1 种基金
国家“863”计划资助项目(2006AA4Z325)
新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-06-0639)
-
文摘
根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统。该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量。为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI和PSI两种模式分别进行了测量实验。结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求。
-
关键词
相移干涉法
垂直扫描干涉法
林尼克干涉结构
五步相移算法
SEST算法
-
Keywords
Phase Shift Interferometry
Vertical Scanning Interferometry
Linnik interferometer
five-step phase-shift algorithm
Squared-Envelope function estimation by Sampling Theory algorithm
-
分类号
TH741.3
[机械工程—光学工程]
-
