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基于扫描电子显微镜的单根一维纳米材料原位场发射性能研究
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作者 刘钊 闫国庆 +4 位作者 赖嘉霖 李成垚 肖竞 王胜 高旻 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期459-465,共7页
基于扫描电子显微镜和纳米探针技术,展示了一维纳米材料原位场发射的测量方法和实例。实验以钨针尖为接收极,纳米材料为发射极,通过结合扫描电子显微镜的实时成像功能,纳米探针的精确操纵及电学测量技术以及激光辐照功能,系统研究了极... 基于扫描电子显微镜和纳米探针技术,展示了一维纳米材料原位场发射的测量方法和实例。实验以钨针尖为接收极,纳米材料为发射极,通过结合扫描电子显微镜的实时成像功能,纳米探针的精确操纵及电学测量技术以及激光辐照功能,系统研究了极间距离D、形貌变化、吸附气体和激光注入对单根多壁碳纳米管和氧化锌纳米线场发射性能的影响。结果表明,当D远小于纳米材料长度L的3倍时,D越小,开启场强和阈值场强越大,场发射性能越弱。此外,纳米线尖端曲率半径越大,场增强因子越小,场发射性能越弱。研究还发现O2的脱附和激光辐照有助于纳米材料场发射性能的提高。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 一维纳米材料 发射性能
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场发射电子显微镜实验室设计 被引量:8
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作者 闫允杰 唐国翌 郑大力 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第5期728-734,共7页
场发射电子显微镜是新型超高精密的设备 ,其对机房安装环境有特殊要求。为保证这种电子显微镜获得高分辨率图像 ,必须严格控制震动和环境磁场的干扰。本文对场发射电子显微镜实验室的防磁、防震和接地等问题进行分析 ,通过实际施工后的... 场发射电子显微镜是新型超高精密的设备 ,其对机房安装环境有特殊要求。为保证这种电子显微镜获得高分辨率图像 ,必须严格控制震动和环境磁场的干扰。本文对场发射电子显微镜实验室的防磁、防震和接地等问题进行分析 ,通过实际施工后的现场检测证实本设计满足了场发射电镜室对环境的技术要求 ,保证了我校两台场发射电镜顺利安装验收。 展开更多
关键词 隔震 磁屏蔽 发射电子显微镜 设计
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像的解卷处理在球差校正场发射高分辨电子显微镜中的应用
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作者 唐春艳 陈江华 李方华 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期359-359,共1页
关键词 发射高分辨电子显微镜 图像解卷处理 球差校正 球差系数 成像参数
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场发射电子显微镜的远程共享 被引量:1
4
作者 程志英 朱静 +5 位作者 闫允杰 周惠华 陈锡花 盛向治 单宝松 周刚 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期379-379,共1页
关键词 发射电子显微镜 远程共享 扫描电子显微镜 微观结构研究 电子显微 人力资源 设备资源 拥有量 工作者
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基于扫描电子显微镜的二次电子发射系数测量 被引量:1
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作者 蔡亚辉 王丹 贺永宁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第9期654-657,共4页
二次电子发射特性对许多领域的真空器件有着重要的影响,准确测量二次电子发射系数至关重要。本文介绍了一种基于扫描电子显微镜的二次电子发射系数的测量方法。利用扫描电子显微镜电子束流的高稳定性和电子能量的宽范围可调的特性,引入... 二次电子发射特性对许多领域的真空器件有着重要的影响,准确测量二次电子发射系数至关重要。本文介绍了一种基于扫描电子显微镜的二次电子发射系数的测量方法。利用扫描电子显微镜电子束流的高稳定性和电子能量的宽范围可调的特性,引入法拉第杯样品台,通过改变电子束扫描速度,放大倍数及聚焦状态等电镜参数,对平滑Ag的二次电子发射系数进行测量。结果显示,平滑Ag的二次电子发射系数不受电镜参数影响,且与参考文献测量结果相符合。本测试方法对于研究材料宽电子能量范围的二次电子发射特性具有重要的参考意义。 展开更多
关键词 二次电子发射 二次电子发射系数测量 扫描电子显微镜 真空系统 电子能量范围
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不同表面状态下的扫描电子显微镜能谱分析方法 被引量:4
6
作者 胡笑钏 黄逸清 +1 位作者 陈彦璋 吕毅 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期144-152,共9页
针对样品表面吸附和污染导致扫描电子显微镜能谱仪成像质量和检测精度下降的问题,提出了一种扫描电镜能谱分析方法——吸附表面二次电子发射数值计算模型。首先,采用Polanyi位势理论在Cu表面构造了N_(2)多层吸附模型;其次,考虑吸附对功... 针对样品表面吸附和污染导致扫描电子显微镜能谱仪成像质量和检测精度下降的问题,提出了一种扫描电镜能谱分析方法——吸附表面二次电子发射数值计算模型。首先,采用Polanyi位势理论在Cu表面构造了N_(2)多层吸附模型;其次,考虑吸附对功函数及电子散射过程的影响,采用Monte Carlo方法追踪电子在材料和吸附层内的散射轨迹,建立了电子与N_(2)分子散射模型;最后,将N_(2)多层吸附模型与电子与N_(2)分子散射模型合并,建立了吸附表面二次电子发射的精确模拟模型,用于计算N_(2)吸附分子对能谱的影响规律。数值计算结果表明,当N_(2)分子吸附量增大至3×10^(16)cm^(-2)时,二次电子能谱的最可几能量和半峰宽分别增大了3.16、4.76倍,二次电子比例减少至原来的215。采用所提模型对探测器进行优化设计,能够提高二次电子信号收集效率、降低噪声信号、提高分辨率。相比以往模型,所提模型突破了仅适用于分子吸附量小于3×10^(15)cm^(-2)的限制,并更真实地描述吸附对电子散射的影响,为研究扫描电镜环境下复杂表面状态的能谱提供了可靠的分析方法。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 能谱 二次电子发射 N_(2)气体 Monte Carlo模拟
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DX-5型实验扫描电子显微镜 被引量:1
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作者 刘绪平 姜新力 +1 位作者 王肇佑 范士荣 《仪器仪表学报》 EI CAS 1981年第1期12-17,共6页
本文主要叙述我厂最近试制成的DX-5型扫描电镜的性能,电子光学设计方面的一些考虑。该仪器的二次电子象的分辨率为60A~70A,有较完善的视频信号处理系统,并可配两道X光分光光谱仪一个能谱仪和一个光学显微镜。该仪器是非对称物镜,用通... 本文主要叙述我厂最近试制成的DX-5型扫描电镜的性能,电子光学设计方面的一些考虑。该仪器的二次电子象的分辨率为60A~70A,有较完善的视频信号处理系统,并可配两道X光分光光谱仪一个能谱仪和一个光学显微镜。该仪器是非对称物镜,用通常的对称透镜的计算参数加以修正得到正确的象差系数。物镜磁路用近似场的假设计算。扫描线圈的设计主要在大偏转范围内给出均匀场以减少低放大倍数下的畸变。为了有效的收集二次电子,在样品附近放置一个小电极加上15V~30V的电压。一个意外的噪音来源来之于电子枪附近的背反射电子通过真空管道达探测器。为了实现电子束的合轴,在电子束交叉点附近放置一个电磁对中线圈,加上瓷瓶的精确定位可以方便合轴。文章也叙述了在调试中排除了一些问题后达到60A的分辨率。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 DX-5 二次电子 光学显微镜 光学设计 分光光谱仪 背反射 扫描线圈 能谱仪 均匀
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Nova NanoSEM超高分辨率扫描电子显微镜
8
《电子显微学报》 CAS CSCD 2007年第5期F0004-F0004,共1页
现代科学技术,特别是纳米技术、半导体等领域的高速发展对微观观察、表征和分析工具提出更高的、更苛刻的要求。目前的场发射扫描电子显微镜对新的应用要求面临越来越多难以克服的障碍,如:样品表面对电子束特别敏感,样品表面容易产... 现代科学技术,特别是纳米技术、半导体等领域的高速发展对微观观察、表征和分析工具提出更高的、更苛刻的要求。目前的场发射扫描电子显微镜对新的应用要求面临越来越多难以克服的障碍,如:样品表面对电子束特别敏感,样品表面容易产生污染,样品不允许进行表面处理,样品上导电材料和非导电材料并存,等等。 展开更多
关键词 发射扫描电子显微镜 超高分辨率 非导电材料 现代科学技术 表面处理 纳米技术 微观观察 分析工具
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纳滤膜的场发射扫描电镜、能量色散X射线、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱分析 被引量:7
9
作者 罗敏 王浪 王占生 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期20-24,共5页
利用场发射扫描电镜、能量色散X射线分析、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱技术 ,对NF4 5纳滤膜的表面形态、孔径分布进行了分析研究 ,同时考察了大豆乳清液的纳滤膜污染特征 .研究表明 :NF4 5膜的孔径范围小于 0 5nm ,膜孔分布均匀 ... 利用场发射扫描电镜、能量色散X射线分析、原子力显微镜与傅里叶转换红外光谱技术 ,对NF4 5纳滤膜的表面形态、孔径分布进行了分析研究 ,同时考察了大豆乳清液的纳滤膜污染特征 .研究表明 :NF4 5膜的孔径范围小于 0 5nm ,膜孔分布均匀 ,平均表面粗糙度为 9 4nm ,波峰高度是纳米级 ;而污染膜面基本表现为无数小葡萄球状的低聚糖类物质组成的块状 ,且污染物层分布很不均匀 ,波动很大 ,平均表面粗糙度为 4 39 7nm ,波峰高度是微米级的 . 展开更多
关键词 纳滤 发射扫描电镜 能量色散X射线分析 原子力显微镜 傅里叶转换红外光谱 膜分离 膜材料
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电子显微镜时代与纳米地球科学 被引量:6
10
作者 陈天虎 谢巧勤 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1126-1129,共4页
光学显微镜的广泛运用,扩展了观察认识地球固体物质组成、结构、构造的视野,促使地球科学从简单描述走向理论研究,催生了地球科学的第一次革命;21世纪地球科学研究全面向地球表层转移,迫切需要认识地球物质纪录的纳米尺度信息;现代电子... 光学显微镜的广泛运用,扩展了观察认识地球固体物质组成、结构、构造的视野,促使地球科学从简单描述走向理论研究,催生了地球科学的第一次革命;21世纪地球科学研究全面向地球表层转移,迫切需要认识地球物质纪录的纳米尺度信息;现代电子显微镜在地球科学中的广泛运用,催生了纳米地球科学的诞生。纳米地球科学诞生推动地球科学家将从纳米尺度解读过去所未知的固体地球演代过程的信息;纳米地球科学的兴起将引起地球科学的一场新的革命。 展开更多
关键词 纳米地球科学 高分辨透射电镜 发射扫描电镜 纳米矿物学 纳米地球化学
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透射电子显微学的新进展Ⅰ透射电子显微镜及相关部件的发展及应用 被引量:43
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作者 李斗星 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期269-277,共9页
本文综述了透射电子显微镜(TEM)及相关部件,即场发射枪(FEG)透射电子显微镜、慢扫描电荷耦合器件(SSCCD)、球差校正器、单色器及高能量分辨率的新一代能量过滤成像系统的发展及应用。商业化的UltraScan1000SSCCD的读写速度已达4MHz,接... 本文综述了透射电子显微镜(TEM)及相关部件,即场发射枪(FEG)透射电子显微镜、慢扫描电荷耦合器件(SSCCD)、球差校正器、单色器及高能量分辨率的新一代能量过滤成像系统的发展及应用。商业化的UltraScan1000SSCCD的读写速度已达4MHz,接近实时观察图像的目标;已生产出用于TEM和STEM的球差校正器,可把CM200FEGTEM的球差系数从常规的1 23mm调整至+2mm~-0 05mm之间的任意值;单色器可把肖特基场发射枪发射电子的能量分散从0 6~0 8eV减少至0 04~0 1eV;新一代能量过滤成像系统HR GIF可把能量分辨率从0 8eV提高至0 05eV。配有单色器、球差校正器、HR GIF的新一代场发射枪透射电子显微镜可提供亚埃的空间分辨率和亚电子伏特的能量分辨率,为研究物质的原子 电子结构提供了可靠的保证。 展开更多
关键词 发射枪透射电镜 扫描电荷耦合器件 球差校正器 单色器 高分辨能量过滤器
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场发射高分辨电子显微像的图像处理 被引量:1
12
作者 何万中 陈弘 李方华 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期483-483,共1页
场发射高分辨电子显微像的图像处理何万中陈弘李方华(中国科学院物理研究所,北京100080)与非场发射电子显微镜(以下简称电镜)相比,场发射(FE)电镜的衬度传递函数(CTF)随空间频率增大而衰减的速度要缓慢得多。因此... 场发射高分辨电子显微像的图像处理何万中陈弘李方华(中国科学院物理研究所,北京100080)与非场发射电子显微镜(以下简称电镜)相比,场发射(FE)电镜的衬度传递函数(CTF)随空间频率增大而衰减的速度要缓慢得多。因此,FE电镜下拍摄的高分辨像,一方面... 展开更多
关键词 发射 电子显微镜 图像处理
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纳米负载催化剂的透射电子显微镜表征
13
作者 刘美梅 陈国新 林凌 《中国测试》 CAS 北大核心 2013年第2期73-76,共4页
利用透射电子显微镜(TEM)的明场、暗场和扫描透射3种表征技术对纳米负载催化剂Cu-Ag/SiO2的微观形貌、结构进行研究表征,并将所得结果进行对比,讨论这3种技术在表征负载催化剂微观结构方面的优缺点。结果表明:STEM不仅能表征纳米颗粒的... 利用透射电子显微镜(TEM)的明场、暗场和扫描透射3种表征技术对纳米负载催化剂Cu-Ag/SiO2的微观形貌、结构进行研究表征,并将所得结果进行对比,讨论这3种技术在表征负载催化剂微观结构方面的优缺点。结果表明:STEM不仅能表征纳米颗粒的粒径分布,还能得到样品的元素分布信息,结果最为直观全面。 展开更多
关键词 透射电子显微镜 扫描透射 纳米负载催化剂
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电子显微镜
14
《中国环境监测》 CAS CSSCI CSCD 北大核心 1992年第6期163-165,共3页
若将电子显微镜进行分类,可大致分为透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)两种。还有扫描—透射电子显微镜,由于是一种特例,本章予以省略。 图20—1中,光学显微镜(a),是使光透过镜头,观察试样的放大像;透射电子显微镜(b),是使电子... 若将电子显微镜进行分类,可大致分为透射电子显微镜(TEM)和扫描电子显微镜(SEM)两种。还有扫描—透射电子显微镜,由于是一种特例,本章予以省略。 图20—1中,光学显微镜(a),是使光透过镜头,观察试样的放大像;透射电子显微镜(b),是使电子线穿透试样,观察放大后的试样内部构造。基本上是用聚光透镜将电子源发射的电子射线变成平行光束,再照射到试样上。透过试样的电子束用的镜、中间透镜、投影透镜等使其放大,从而在荧光屏上得到最终的图像。分辨率高的仪器还可进行原子的结构解析,甚至还具有纳米级微小区域的电子衍射及组成分析的功能。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 铁石棉 透射电子显微镜 低温灰化 聚光透镜 中间透镜 X光谱 投影透镜 放大像 发射电子
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场发射扫描电镜荷电现象的研究及参数优化 被引量:17
15
作者 高翔 朱紫瑞 +1 位作者 孙伟 郭娟 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1008-1012,共5页
扫描电子显微镜主要用于样品显微结构的表征分析,在科研和实际工作中应用广泛。荷电现象是最常见的严重影响到SEM图像质量的现象之一,它会造成图像的反差异常、形变等,在导电性不好或很差的样品形貌表征中极为常见。文中以几种导电性较... 扫描电子显微镜主要用于样品显微结构的表征分析,在科研和实际工作中应用广泛。荷电现象是最常见的严重影响到SEM图像质量的现象之一,它会造成图像的反差异常、形变等,在导电性不好或很差的样品形貌表征中极为常见。文中以几种导电性较差样品,如陶瓷、倍他环糊精、Si O2、细菌等为对象,通过实验比对后发现,通过加速电压、探头选择、信号选择、图像采集方式等参数的调节能够有效减轻SEM图像的荷电现象,从而提高了图像质量,获得了更为真实的显微结构信息。 展开更多
关键词 发射扫描电子显微镜 荷电现象 低加速电压 二次电子
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基于氮气吸附-核磁共振-氩离子抛光场发射扫描电镜研究川西须五段泥质岩储层孔隙结构 被引量:18
16
作者 庞河清 曾焱 +4 位作者 刘成川 黎华继 彭军 严焕榕 陈俊 《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期66-74,共9页
微观孔隙作为泥质岩的有效储集空间,其孔隙结构参数是作为气藏评价及资源量估算的重要依据。本文应用氮气吸附法(NAM)、核磁共振法(NMR)、氩离子抛光及场发射扫描电镜(AIP-FESEM)研究川西须五段泥质岩微观孔隙特征,结果表明:1氩离子抛... 微观孔隙作为泥质岩的有效储集空间,其孔隙结构参数是作为气藏评价及资源量估算的重要依据。本文应用氮气吸附法(NAM)、核磁共振法(NMR)、氩离子抛光及场发射扫描电镜(AIP-FESEM)研究川西须五段泥质岩微观孔隙特征,结果表明:1氩离子抛光及场发射扫描电镜在表征微观孔隙形态与类别时有一定优势,但定量表征孔隙参数时,受图像二值化阈值的影响,表征结果偏差较大,可结合氮气吸附法来定量表征其孔径大小;2核磁共振受岩石骨架影响小,能够更精细反映岩石的物性条件,可定量计算孔隙度与可动流体饱和度,但对样品的孔隙形态反映较差;3综合上述三种方法,在须五段泥质岩中可识别出一定量的纳米级中、大孔,孔径大多介于几十纳米到几百纳米之间,孔隙连通性差,孔隙度主要介于2.3%~7.4%之间,孔隙类型以粒间孔、晶间孔最发育,有机孔隙、微裂缝次之,粒内孔隙最不发育。总体而言,融合了三种技术方法能更精确、更全面地反映泥质岩孔隙结构特征,能得到更完善的储层孔隙结构参数,在定量表征泥质岩孔隙结构中具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 泥质岩 孔隙结构 氮气吸附 核磁共振 氩离子抛光及发射扫描电镜
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基于开放共享平台的场发射扫描电镜管理与维护 被引量:18
17
作者 卜娟 屈泽华 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2017年第6期264-266,274,共4页
从规章制度建设、信息化管理、培训流程控制、技术服务、激励措施、预防性维护及保养、故障处理等几个方面总结了基于开放共享平台的场发射扫描电镜的管理措施,介绍了大型贵重仪器的共享管理办法和经验。通过严格的培训过程控制、高水... 从规章制度建设、信息化管理、培训流程控制、技术服务、激励措施、预防性维护及保养、故障处理等几个方面总结了基于开放共享平台的场发射扫描电镜的管理措施,介绍了大型贵重仪器的共享管理办法和经验。通过严格的培训过程控制、高水平的技术服务、有效的维护以及及时的故障处理等提高了仪器的使用效率。 展开更多
关键词 开放共享平台 发射扫描电镜 管理维护
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场发射环境扫描电镜下有机物形貌和成份特征的研究 被引量:3
18
作者 陈莉 徐军 +2 位作者 苏犁 周凤山 张会珍 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期335-335,共1页
关键词 环境扫描电镜 形貌特征 发射 成份 有机物 X射线能谱 电镜分析 胜利油田
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用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜研究不同材料和方法的导电膜蒸镀对试样形貌观察的影响 被引量:3
19
作者 徐军 陈文雄 +1 位作者 张存 张会珍 《电子显微学报》 CSCD 1995年第6期430-433,共4页
本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法,用金和钯铱合金做为蒸发源,对样品表面蒸镀导电层。然后用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过5万倍以上观察试样时... 本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法,用金和钯铱合金做为蒸发源,对样品表面蒸镀导电层。然后用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过5万倍以上观察试样时,由于金镀层粒度太大,因此不能用来做为表面导电镀层。但用高真空蒸发镀膜,用钯铱合金做为试样表面蒸镀材料,在25万倍以下观察时,无论从膜的导电性方面或是其颗粒度方面来看都不失为一种较好的蒸镀材料。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 离子溅射镀膜 高真空蒸发镀膜
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改善场发射扫描电镜分辨本领的原理和展望 被引量:11
20
作者 廖乾初 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第5期709-716,共8页
本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明 ,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数 Cs。如果等效球像差系数能降低到 0 .1× 10 -2 cm的水平 ,则二次电子像的分辨本领为 0 .3 2 2 nm(当扫描电子束的加速电压 ... 本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明 ,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数 Cs。如果等效球像差系数能降低到 0 .1× 10 -2 cm的水平 ,则二次电子像的分辨本领为 0 .3 2 2 nm(当扫描电子束的加速电压 VA=3 0 k V)。此外 ,在 Cs=0和扫描电子束的半开角 α=5× 10 -2 rad,本文估计场发射扫描电镜的极限分辨本领可望达到 0 .178nm(当 VA=3 0 k V)。 展开更多
关键词 等效球像差系数 发射扫描电镜 分辨率
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