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场发射电子显微镜实验室设计 被引量:8
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作者 闫允杰 唐国翌 郑大力 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第5期728-734,共7页
场发射电子显微镜是新型超高精密的设备 ,其对机房安装环境有特殊要求。为保证这种电子显微镜获得高分辨率图像 ,必须严格控制震动和环境磁场的干扰。本文对场发射电子显微镜实验室的防磁、防震和接地等问题进行分析 ,通过实际施工后的... 场发射电子显微镜是新型超高精密的设备 ,其对机房安装环境有特殊要求。为保证这种电子显微镜获得高分辨率图像 ,必须严格控制震动和环境磁场的干扰。本文对场发射电子显微镜实验室的防磁、防震和接地等问题进行分析 ,通过实际施工后的现场检测证实本设计满足了场发射电镜室对环境的技术要求 ,保证了我校两台场发射电镜顺利安装验收。 展开更多
关键词 隔震 磁屏蔽 发射电子显微镜 设计
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像的解卷处理在球差校正场发射高分辨电子显微镜中的应用
2
作者 唐春艳 陈江华 李方华 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期359-359,共1页
关键词 发射高分辨电子显微镜 图像解卷处理 球差校正 球差系数 成像参数
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场发射电子显微镜的远程共享 被引量:1
3
作者 程志英 朱静 +5 位作者 闫允杰 周惠华 陈锡花 盛向治 单宝松 周刚 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期379-379,共1页
关键词 发射电子显微镜 远程共享 扫描电子显微镜 微观结构研究 电子显微 人力资源 设备资源 拥有量 工作者
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Nova NanoSEM超高分辨率扫描电子显微镜
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《电子显微学报》 CAS CSCD 2007年第5期F0004-F0004,共1页
现代科学技术,特别是纳米技术、半导体等领域的高速发展对微观观察、表征和分析工具提出更高的、更苛刻的要求。目前的场发射扫描电子显微镜对新的应用要求面临越来越多难以克服的障碍,如:样品表面对电子束特别敏感,样品表面容易产... 现代科学技术,特别是纳米技术、半导体等领域的高速发展对微观观察、表征和分析工具提出更高的、更苛刻的要求。目前的场发射扫描电子显微镜对新的应用要求面临越来越多难以克服的障碍,如:样品表面对电子束特别敏感,样品表面容易产生污染,样品不允许进行表面处理,样品上导电材料和非导电材料并存,等等。 展开更多
关键词 场发射扫描电子显微镜 超高分辨率 非导电材料 现代科学技术 表面处理 纳米技术 微观观察 分析工具
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不同表面状态下的扫描电子显微镜能谱分析方法 被引量:4
5
作者 胡笑钏 黄逸清 +1 位作者 陈彦璋 吕毅 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期144-152,共9页
针对样品表面吸附和污染导致扫描电子显微镜能谱仪成像质量和检测精度下降的问题,提出了一种扫描电镜能谱分析方法——吸附表面二次电子发射数值计算模型。首先,采用Polanyi位势理论在Cu表面构造了N_(2)多层吸附模型;其次,考虑吸附对功... 针对样品表面吸附和污染导致扫描电子显微镜能谱仪成像质量和检测精度下降的问题,提出了一种扫描电镜能谱分析方法——吸附表面二次电子发射数值计算模型。首先,采用Polanyi位势理论在Cu表面构造了N_(2)多层吸附模型;其次,考虑吸附对功函数及电子散射过程的影响,采用Monte Carlo方法追踪电子在材料和吸附层内的散射轨迹,建立了电子与N_(2)分子散射模型;最后,将N_(2)多层吸附模型与电子与N_(2)分子散射模型合并,建立了吸附表面二次电子发射的精确模拟模型,用于计算N_(2)吸附分子对能谱的影响规律。数值计算结果表明,当N_(2)分子吸附量增大至3×10^(16)cm^(-2)时,二次电子能谱的最可几能量和半峰宽分别增大了3.16、4.76倍,二次电子比例减少至原来的215。采用所提模型对探测器进行优化设计,能够提高二次电子信号收集效率、降低噪声信号、提高分辨率。相比以往模型,所提模型突破了仅适用于分子吸附量小于3×10^(15)cm^(-2)的限制,并更真实地描述吸附对电子散射的影响,为研究扫描电镜环境下复杂表面状态的能谱提供了可靠的分析方法。 展开更多
关键词 扫描电子显微镜 能谱 二次电子发射 N_(2)气体 Monte Carlo模拟
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电子显微镜时代与纳米地球科学 被引量:6
6
作者 陈天虎 谢巧勤 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1126-1129,共4页
光学显微镜的广泛运用,扩展了观察认识地球固体物质组成、结构、构造的视野,促使地球科学从简单描述走向理论研究,催生了地球科学的第一次革命;21世纪地球科学研究全面向地球表层转移,迫切需要认识地球物质纪录的纳米尺度信息;现代电子... 光学显微镜的广泛运用,扩展了观察认识地球固体物质组成、结构、构造的视野,促使地球科学从简单描述走向理论研究,催生了地球科学的第一次革命;21世纪地球科学研究全面向地球表层转移,迫切需要认识地球物质纪录的纳米尺度信息;现代电子显微镜在地球科学中的广泛运用,催生了纳米地球科学的诞生。纳米地球科学诞生推动地球科学家将从纳米尺度解读过去所未知的固体地球演代过程的信息;纳米地球科学的兴起将引起地球科学的一场新的革命。 展开更多
关键词 纳米地球科学 高分辨透射电镜 发射扫描电镜 纳米矿物学 纳米地球化学
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透射电子显微学的新进展Ⅰ透射电子显微镜及相关部件的发展及应用 被引量:41
7
作者 李斗星 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期269-277,共9页
本文综述了透射电子显微镜(TEM)及相关部件,即场发射枪(FEG)透射电子显微镜、慢扫描电荷耦合器件(SSCCD)、球差校正器、单色器及高能量分辨率的新一代能量过滤成像系统的发展及应用。商业化的UltraScan1000SSCCD的读写速度已达4MHz,接... 本文综述了透射电子显微镜(TEM)及相关部件,即场发射枪(FEG)透射电子显微镜、慢扫描电荷耦合器件(SSCCD)、球差校正器、单色器及高能量分辨率的新一代能量过滤成像系统的发展及应用。商业化的UltraScan1000SSCCD的读写速度已达4MHz,接近实时观察图像的目标;已生产出用于TEM和STEM的球差校正器,可把CM200FEGTEM的球差系数从常规的1 23mm调整至+2mm~-0 05mm之间的任意值;单色器可把肖特基场发射枪发射电子的能量分散从0 6~0 8eV减少至0 04~0 1eV;新一代能量过滤成像系统HR GIF可把能量分辨率从0 8eV提高至0 05eV。配有单色器、球差校正器、HR GIF的新一代场发射枪透射电子显微镜可提供亚埃的空间分辨率和亚电子伏特的能量分辨率,为研究物质的原子 电子结构提供了可靠的保证。 展开更多
关键词 发射枪透射电镜 扫描电荷耦合器件 球差校正器 单色器 高分辨能量过滤器
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场发射高分辨电子显微像的图像处理 被引量:1
8
作者 何万中 陈弘 李方华 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期483-483,共1页
场发射高分辨电子显微像的图像处理何万中陈弘李方华(中国科学院物理研究所,北京100080)与非场发射电子显微镜(以下简称电镜)相比,场发射(FE)电镜的衬度传递函数(CTF)随空间频率增大而衰减的速度要缓慢得多。因此... 场发射高分辨电子显微像的图像处理何万中陈弘李方华(中国科学院物理研究所,北京100080)与非场发射电子显微镜(以下简称电镜)相比,场发射(FE)电镜的衬度传递函数(CTF)随空间频率增大而衰减的速度要缓慢得多。因此,FE电镜下拍摄的高分辨像,一方面... 展开更多
关键词 发射 电子显微镜 图像处理
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纳米负载催化剂的透射电子显微镜表征
9
作者 刘美梅 陈国新 林凌 《中国测试》 CAS 北大核心 2013年第2期73-76,共4页
利用透射电子显微镜(TEM)的明场、暗场和扫描透射3种表征技术对纳米负载催化剂Cu-Ag/SiO2的微观形貌、结构进行研究表征,并将所得结果进行对比,讨论这3种技术在表征负载催化剂微观结构方面的优缺点。结果表明:STEM不仅能表征纳米颗粒的... 利用透射电子显微镜(TEM)的明场、暗场和扫描透射3种表征技术对纳米负载催化剂Cu-Ag/SiO2的微观形貌、结构进行研究表征,并将所得结果进行对比,讨论这3种技术在表征负载催化剂微观结构方面的优缺点。结果表明:STEM不仅能表征纳米颗粒的粒径分布,还能得到样品的元素分布信息,结果最为直观全面。 展开更多
关键词 透射电子显微镜 扫描透射 纳米负载催化剂
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场发射环境扫描电镜下有机物形貌和成份特征的研究 被引量:3
10
作者 陈莉 徐军 +2 位作者 苏犁 周凤山 张会珍 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期335-335,共1页
关键词 环境扫描电镜 形貌特征 发射 成份 有机物 X射线能谱 电镜分析 胜利油田
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用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜研究不同材料和方法的导电膜蒸镀对试样形貌观察的影响 被引量:3
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作者 徐军 陈文雄 +1 位作者 张存 张会珍 《电子显微学报》 CSCD 1995年第6期430-433,共4页
本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法,用金和钯铱合金做为蒸发源,对样品表面蒸镀导电层。然后用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过5万倍以上观察试样时... 本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法,用金和钯铱合金做为蒸发源,对样品表面蒸镀导电层。然后用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过5万倍以上观察试样时,由于金镀层粒度太大,因此不能用来做为表面导电镀层。但用高真空蒸发镀膜,用钯铱合金做为试样表面蒸镀材料,在25万倍以下观察时,无论从膜的导电性方面或是其颗粒度方面来看都不失为一种较好的蒸镀材料。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 离子溅射镀膜 高真空蒸发镀膜
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改善场发射扫描电镜分辨本领的原理和展望 被引量:11
12
作者 廖乾初 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第5期709-716,共8页
本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明 ,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数 Cs。如果等效球像差系数能降低到 0 .1× 10 -2 cm的水平 ,则二次电子像的分辨本领为 0 .3 2 2 nm(当扫描电子束的加速电压 ... 本文讨论了改善场发射扫描电镜分辨本领的原理。分析结果表明 ,仪器的分辨本领主要依赖于物镜的球像差系数 Cs。如果等效球像差系数能降低到 0 .1× 10 -2 cm的水平 ,则二次电子像的分辨本领为 0 .3 2 2 nm(当扫描电子束的加速电压 VA=3 0 k V)。此外 ,在 Cs=0和扫描电子束的半开角 α=5× 10 -2 rad,本文估计场发射扫描电镜的极限分辨本领可望达到 0 .178nm(当 VA=3 0 k V)。 展开更多
关键词 等效球像差系数 发射扫描电镜 分辨率
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场发射环境扫描电镜上阴极荧光谱仪在锆石研究中的应用 被引量:1
13
作者 陈莉 徐军 苏犁 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期334-334,共1页
关键词 环境扫描电镜 阴极荧光 荧光谱仪 发射 锆石 应用 系统使用 地质意义 年龄测定
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场发射扫描电镜的开放测试与维护探索 被引量:7
14
作者 张景峰 郭武学 《中国高新技术企业》 2013年第15期29-30,共2页
场发射扫描电镜广泛用于材料科学研究与生产实践,是材料科学研究者的重要工具。文章通过分层次开放测试分针,提高仪器在高校教学、科研中的使用效率;与地方企业的深入合作,获得良好的社会效益和科研成果。同时,结合日常管理工作,探讨了... 场发射扫描电镜广泛用于材料科学研究与生产实践,是材料科学研究者的重要工具。文章通过分层次开放测试分针,提高仪器在高校教学、科研中的使用效率;与地方企业的深入合作,获得良好的社会效益和科研成果。同时,结合日常管理工作,探讨了维持扫描电镜良好运行状态的一些经验和思考。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 开放测试 材料科学
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氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜纳米组织结构的场发射扫描电镜观察研究
15
作者 徐军 王立铎 陈文雄 《电子显微学报》 CAS CSCD 1998年第6期716-721,共6页
将“高分辨二次电子成分衬度成像原理”与“离子束锥形刻蚀处理样品的方法”相结合,利用高分辨场发射扫描电镜对室温下离子束辅助沉积制备的氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜层厚及其纳米组织结构进行观察研究,清晰地观察到各层层厚及各层中... 将“高分辨二次电子成分衬度成像原理”与“离子束锥形刻蚀处理样品的方法”相结合,利用高分辨场发射扫描电镜对室温下离子束辅助沉积制备的氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜层厚及其纳米组织结构进行观察研究,清晰地观察到各层层厚及各层中的纳米粒子,这一方法为氮化硅/氮化钛陶瓷多层膜纳米结构与层间关系的研究提供了一种实用而有效的手段。 展开更多
关键词 发射扫描电镜 氮化硅 氮化钛 陶瓷 多层膜
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用扫描电子显微分析仪研究铁基非晶合金的晶化
16
作者 李凡 黄海波 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第4期308-308,共1页
关键词 扫描电子显微镜 铁基非晶合金 电子显微分析仪 晶化 电子背散射衍射 发射扫描电镜 能量色散谱仪 机械合金化 元素粉末
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实用场发射电子枪虚源半径的测量
17
作者 杨德清 陈尔纲 《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第1期67-74,共8页
本文在分析产生和影响实用场发射电子枪(FEG)虚源半径各种因素的基础上,提出一种直接测量FEG虚源半径的新方法——场电子显微镜(FEM)法。用该法对一实际FEG的虚源半径作了实验测定,并与著名的球——锥面模型进行比较,结果是一致的。表... 本文在分析产生和影响实用场发射电子枪(FEG)虚源半径各种因素的基础上,提出一种直接测量FEG虚源半径的新方法——场电子显微镜(FEM)法。用该法对一实际FEG的虚源半径作了实验测定,并与著名的球——锥面模型进行比较,结果是一致的。表明该方法不仅简单且行之有效,具有实用价值。 展开更多
关键词 实验测量 发射电子 虚源半径 电子显微镜
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扫描电镜中透射-反射式STEM明场成像装置的研制及应用 被引量:1
18
作者 赵学平 侯小虎 +3 位作者 刘飞 梁绍波 崔晓明 白朴存 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期208-214,共7页
本文研制了一套透射-反射式扫描透射(STEM)明场成像装置,该装置使用背散射电子探头接收经过铂片反射的透射电子信号,可安装在FEI Quanta FEG系列扫描电镜中实现STEM明场成像。分别以埃洛石、Au@ZIF-8纳米颗粒和喷金乳胶标样验证自制STE... 本文研制了一套透射-反射式扫描透射(STEM)明场成像装置,该装置使用背散射电子探头接收经过铂片反射的透射电子信号,可安装在FEI Quanta FEG系列扫描电镜中实现STEM明场成像。分别以埃洛石、Au@ZIF-8纳米颗粒和喷金乳胶标样验证自制STEM明场成像装置的实用性。结果表明:埃洛石STEM明场像的衬度与透射电镜中STEM明场像一致,管腔和管壁具有明显的衬度差异,可以清晰辨识管腔结构;在Au@ZIF-8纳米颗粒的STEM明场像中,Au颗粒衬度较暗,ZIF-8衬度较亮,通过两者之间的衬度差异可以观察到核壳结构;喷金乳胶标样上纳米金颗粒之间可识别的最小距离为2.03 nm,进一步验证了自制STEM明场成像装置具有较高的分辨率。 展开更多
关键词 扫描电镜 扫描透射电子显微镜 成像装置 图像衬度
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氩离子抛光-场发射扫描电镜分析方法在识别有机显微组分中的应用 被引量:20
19
作者 高凤琳 王成锡 +5 位作者 宋岩 陈振宏 刘庆新 李卓 姜振学 张欣欣 《石油实验地质》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期360-367,共8页
氩离子抛光—场发射扫描电镜是页岩储层微观孔隙结构表征的常用手段,但单独依靠扫描电镜观察无法直接识别有机质类型,而荧光显微镜是鉴定显微组分的主要方法。通过大量场发射扫描电镜与荧光显微镜相结合的定位观察技术,实现对扫描电镜... 氩离子抛光—场发射扫描电镜是页岩储层微观孔隙结构表征的常用手段,但单独依靠扫描电镜观察无法直接识别有机质类型,而荧光显微镜是鉴定显微组分的主要方法。通过大量场发射扫描电镜与荧光显微镜相结合的定位观察技术,实现对扫描电镜下特定显微组分的鉴定和观察,并总结出扫描电镜下有机显微组分鉴定的方法和特征。氩离子抛光—场发射扫描电镜下,可通过有机质的外部形态、硬度、亮度、颜色、突起、有机质孔隙发育特征以及裂隙发育特征等综合判断出结构镜质体、无结构镜质体、镜屑体、丝质体、半丝质体、菌类分泌体、惰屑体、油沥青以及焦沥青。 展开更多
关键词 氩离子抛光 发射扫描电镜 有机显微组分
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三极场发射电子枪虚源半径的计算
20
作者 杨德清 《电子器件》 CAS 1994年第3期131-134,共4页
本文在分析形成和影响场发射电子枪(FEG)虚源半径各有关因素的基础上,报道了一种计算其值的方法。用该法对一实际FEG的虚源半径作了计算,并与实验和著名的球锥面模型进行比较,结果是一致的。表明该法不仅简单且行之有效,具... 本文在分析形成和影响场发射电子枪(FEG)虚源半径各有关因素的基础上,报道了一种计算其值的方法。用该法对一实际FEG的虚源半径作了计算,并与实验和著名的球锥面模型进行比较,结果是一致的。表明该法不仅简单且行之有效,具有较大的实用价值。 展开更多
关键词 发射电子 虚源半径 计算方法 电子显微镜
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