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10英寸场助热电子发射显示屏的制作
1
作者
华缜
王红光
+2 位作者
李德杰
张羿
刘红君
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z1期79-82,共4页
讨论了金属-绝缘体-半导体-金属结构的场助热电子发射显示(FAHED)器件的制作原理,简述了Mo/Ta2O5/ZnS/Au结构的10英寸FAHED的制作.通过电子束蒸发具有低功函数的上电极材料,适当控制其厚度,并且控制半导体层合适的厚度和成膜条件可以提...
讨论了金属-绝缘体-半导体-金属结构的场助热电子发射显示(FAHED)器件的制作原理,简述了Mo/Ta2O5/ZnS/Au结构的10英寸FAHED的制作.通过电子束蒸发具有低功函数的上电极材料,适当控制其厚度,并且控制半导体层合适的厚度和成膜条件可以提高器件的电子发射率至0.3%.
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关键词
场助热电子发射显示
金属-绝缘体-半导体-金属
10英寸
发射
率
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职称材料
题名
10英寸场助热电子发射显示屏的制作
1
作者
华缜
王红光
李德杰
张羿
刘红君
机构
上海广电电子股份有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z1期79-82,共4页
基金
国家经贸委重点资助项目
文摘
讨论了金属-绝缘体-半导体-金属结构的场助热电子发射显示(FAHED)器件的制作原理,简述了Mo/Ta2O5/ZnS/Au结构的10英寸FAHED的制作.通过电子束蒸发具有低功函数的上电极材料,适当控制其厚度,并且控制半导体层合适的厚度和成膜条件可以提高器件的电子发射率至0.3%.
关键词
场助热电子发射显示
金属-绝缘体-半导体-金属
10英寸
发射
率
分类号
O484 [理学—固体物理]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
10英寸场助热电子发射显示屏的制作
华缜
王红光
李德杰
张羿
刘红君
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
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