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椭圆偏振法测定在线Low-E玻璃的可见-近红外光学常数与膜厚
被引量:
3
1
作者
纪贝
黄水平
周骏
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期189-193,共5页
从在线Low-E玻璃光学机理出发,用椭圆偏振光谱仪对在线Low-E玻璃功能层和过渡层的可见-近红外波段的光学常数进行研究.测量了样品在三个不同入射角的椭偏参数,分别用Lorentz双振子模型和Cauchy模型来描述Low-E玻璃功能层和过渡层的光学...
从在线Low-E玻璃光学机理出发,用椭圆偏振光谱仪对在线Low-E玻璃功能层和过渡层的可见-近红外波段的光学常数进行研究.测量了样品在三个不同入射角的椭偏参数,分别用Lorentz双振子模型和Cauchy模型来描述Low-E玻璃功能层和过渡层的光学色散特性.通过拟合椭偏参数获得在线Low-E玻璃的光学常数及每层膜厚度,并用扫描电镜对样品的膜厚进行表征.结果表明,Lorentz双振子模型和Cauchy模型能很好地解释在线Low-E玻璃的光学特性;同时,椭圆偏振法也为多层膜系统提供了一种测定光学常数和膜厚的可靠方法.
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关键词
在线low-e玻璃
光学常数
椭圆偏振法
Lorentz双振子模型
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职称材料
题名
椭圆偏振法测定在线Low-E玻璃的可见-近红外光学常数与膜厚
被引量:
3
1
作者
纪贝
黄水平
周骏
机构
宁波大学
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期189-193,共5页
基金
国家自然科学基金(No.61275153)
浙江省教育厅科研计划(No.Y200803919)
宁波市自然科学基金(No.2009A610043)资助
文摘
从在线Low-E玻璃光学机理出发,用椭圆偏振光谱仪对在线Low-E玻璃功能层和过渡层的可见-近红外波段的光学常数进行研究.测量了样品在三个不同入射角的椭偏参数,分别用Lorentz双振子模型和Cauchy模型来描述Low-E玻璃功能层和过渡层的光学色散特性.通过拟合椭偏参数获得在线Low-E玻璃的光学常数及每层膜厚度,并用扫描电镜对样品的膜厚进行表征.结果表明,Lorentz双振子模型和Cauchy模型能很好地解释在线Low-E玻璃的光学特性;同时,椭圆偏振法也为多层膜系统提供了一种测定光学常数和膜厚的可靠方法.
关键词
在线low-e玻璃
光学常数
椭圆偏振法
Lorentz双振子模型
Keywords
Online
low-e
glass
Optical constants
Ellipsometry
Lorentz two-oscillator model
分类号
TQ171 [化学工程—玻璃工业]
O734 [理学—晶体学]
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作者
出处
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被引量
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1
椭圆偏振法测定在线Low-E玻璃的可见-近红外光学常数与膜厚
纪贝
黄水平
周骏
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
3
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职称材料
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