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在片S参数计量比对结果浅析
1
作者
刘晨
高岭
+7 位作者
栾鹏
陈婷
黄英龙
李艳奎
金诚
邹喜跃
陆景
陈科元
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第9期1401-1406,共6页
中国电子科技集团公司第十三研究所作为主导实验室开展了在片S参数计量比对工作,对参比实验室提交的在片S参数测量结果进行了汇总分析,并用E_n值对各参比实验室测量结果进行了评价。通过在片S参数计量比对,确保了量值传递的准确、可靠,...
中国电子科技集团公司第十三研究所作为主导实验室开展了在片S参数计量比对工作,对参比实验室提交的在片S参数测量结果进行了汇总分析,并用E_n值对各参比实验室测量结果进行了评价。通过在片S参数计量比对,确保了量值传递的准确、可靠,特别是对在片S参数测量不确定度的主要来源统一了认识。同时也为业内提供了在片S参数测量一致性的比较平台。
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关键词
无线电计量
在片s参数
计量比对
矢量网络分析仪
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职称材料
宽带在片SOLT校准件研制及表征
被引量：
9
2
作者
刘晨
吴爱华
+1 位作者
孙静
梁法国
《计量学报》
CSCD
北大核心
2017年第1期98-101,共4页
针对在片S参数校准,设计制作GaAs衬底SOLT校准组件,通过计算方法对校准组件中直通、开路、短路和负载校准件中偏置传输线的时延和损耗进行定义,运用基于NIST muiline TRL校准的测量方法对校准组件中开路校准件电容和短路校准件电感参数...
针对在片S参数校准,设计制作GaAs衬底SOLT校准组件,通过计算方法对校准组件中直通、开路、短路和负载校准件中偏置传输线的时延和损耗进行定义,运用基于NIST muiline TRL校准的测量方法对校准组件中开路校准件电容和短路校准件电感参数进行提取,结合直流电阻测试法测试负载阻值大小,实现对SOLT校准组件的完整表征。最后用自行研制并表征的SOLT校准组件校准在片S参数测试系统,通过测量无源器件验证校准效果,将测量结果与NIST multilineTRL校准后的测量结果比较,在20 GHz内传输幅度最大偏差0.1 dB,传输相位最大偏差3.5°。
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关键词
计量学
在片s参数
校准件定义
s
OLT校准
在片
阻抗标准
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职称材料
一种对在片测量系统中串扰误差进行修正的新型校准方法
被引量：
8
3
作者
王一帮
吴爱华
+5 位作者
刘晨
梁法国
栾鹏
霍晔
孙静
赵伟
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021年第12期1553-1558,共6页
现有高频段在片S参数校准方法有16-term误差模型校准方法和基于多线TRL的二次串扰修正算法,它们对测试系统之间的串扰误差进行了较好的表征。提出了一种新型校准方法,即把测试系统之间的串扰等效为一个与被测件并联的二端口网络。整个...
现有高频段在片S参数校准方法有16-term误差模型校准方法和基于多线TRL的二次串扰修正算法,它们对测试系统之间的串扰误差进行了较好的表征。提出了一种新型校准方法,即把测试系统之间的串扰等效为一个与被测件并联的二端口网络。整个校准方法一共分为两步,第一步采用常规的SOLR校准方法得到基本8项误差模型,第二步通过测量一个串扰标准件(可以是SOLR中的开路校准件)完成对串扰误差的表征。仿真和测试结果表明,新型校准方法准确度可达到16-term误差模型的准确度,并对串扰误差具有相当的抑制效果。同时,新模型方法只需使用4个校准件,数量少于传统16-term误差模型方法,在保证准确度的前提下,提高了测试效率。
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关键词
计量学
在片s参数
16项误差模型
串扰
s
OLR
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职称材料
题名
在片S参数计量比对结果浅析
1
作者
刘晨
高岭
栾鹏
陈婷
黄英龙
李艳奎
金诚
邹喜跃
陆景
陈科元
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
北京无线电计量测试研究所
中国电子技术标准化研究院
中国科学院微电子研究所
中国电子科技集团公司第十四研究所
湖南时变通讯科技有限公司
华美博科技(北京)有限公司
河北雄安太芯电子科技有限公司
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第9期1401-1406,共6页
文摘
中国电子科技集团公司第十三研究所作为主导实验室开展了在片S参数计量比对工作,对参比实验室提交的在片S参数测量结果进行了汇总分析,并用E_n值对各参比实验室测量结果进行了评价。通过在片S参数计量比对,确保了量值传递的准确、可靠,特别是对在片S参数测量不确定度的主要来源统一了认识。同时也为业内提供了在片S参数测量一致性的比较平台。
关键词
无线电计量
在片s参数
计量比对
矢量网络分析仪
Keywords
radio metrology
wafer
s
-parameter
s
mea
s
urement compari
s
on
vector network analyzer
分类号
TB973 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
宽带在片SOLT校准件研制及表征
被引量：
9
2
作者
刘晨
吴爱华
孙静
梁法国
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2017年第1期98-101,共4页
文摘
针对在片S参数校准,设计制作GaAs衬底SOLT校准组件,通过计算方法对校准组件中直通、开路、短路和负载校准件中偏置传输线的时延和损耗进行定义,运用基于NIST muiline TRL校准的测量方法对校准组件中开路校准件电容和短路校准件电感参数进行提取,结合直流电阻测试法测试负载阻值大小,实现对SOLT校准组件的完整表征。最后用自行研制并表征的SOLT校准组件校准在片S参数测试系统,通过测量无源器件验证校准效果,将测量结果与NIST multilineTRL校准后的测量结果比较,在20 GHz内传输幅度最大偏差0.1 dB,传输相位最大偏差3.5°。
关键词
计量学
在片s参数
校准件定义
s
OLT校准
在片
阻抗标准
Keywords
metrology
on-wafer
s
-parameter
s
calibration
s
tandard definition
s
OLT calibration
impedance
s
tandard
s
ub
s
trate
分类号
TB973 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
一种对在片测量系统中串扰误差进行修正的新型校准方法
被引量：
8
3
作者
王一帮
吴爱华
刘晨
梁法国
栾鹏
霍晔
孙静
赵伟
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
西安电子科技大学
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021年第12期1553-1558,共6页
基金
国家重点研发计划重大科学仪器设备开发专项(2016YFF0102105)。
文摘
现有高频段在片S参数校准方法有16-term误差模型校准方法和基于多线TRL的二次串扰修正算法,它们对测试系统之间的串扰误差进行了较好的表征。提出了一种新型校准方法,即把测试系统之间的串扰等效为一个与被测件并联的二端口网络。整个校准方法一共分为两步,第一步采用常规的SOLR校准方法得到基本8项误差模型,第二步通过测量一个串扰标准件(可以是SOLR中的开路校准件)完成对串扰误差的表征。仿真和测试结果表明,新型校准方法准确度可达到16-term误差模型的准确度,并对串扰误差具有相当的抑制效果。同时,新模型方法只需使用4个校准件,数量少于传统16-term误差模型方法,在保证准确度的前提下,提高了测试效率。
关键词
计量学
在片s参数
16项误差模型
串扰
s
OLR
Keywords
metrology
on-wafer
s
cattering parameter
16-term error model
cro
s
s
talk
s
OLR
分类号
TB973 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
在片S参数计量比对结果浅析
刘晨
高岭
栾鹏
陈婷
黄英龙
李艳奎
金诚
邹喜跃
陆景
陈科元
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
2
宽带在片SOLT校准件研制及表征
刘晨
吴爱华
孙静
梁法国
《计量学报》
CSCD
北大核心
2017
9
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下载PDF
职称材料
3
一种对在片测量系统中串扰误差进行修正的新型校准方法
王一帮
吴爱华
刘晨
梁法国
栾鹏
霍晔
孙静
赵伟
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021
8
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职称材料
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