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用于在片测试系统整体校准的电阻标准件
被引量：
4
1
作者
丁晨
乔玉娥
+2 位作者
刘岩
翟玉卫
郑世棋
《中国测试》
CAS
北大核心
2019年第7期97-101,116,共6页
为解决在片测试系统中1~1000Ω电阻无法进行整体校准问题,通过采用GaAs材料作为衬底,利用半导体工艺中薄膜溅射法,使用轰击离子Ar+与靶材作用形成反应层,激发出的溅射原子NiCr打至GaAs表面,制作薄膜电阻.采用方块电阻为50Ω/块,通过调...
为解决在片测试系统中1~1000Ω电阻无法进行整体校准问题,通过采用GaAs材料作为衬底,利用半导体工艺中薄膜溅射法,使用轰击离子Ar+与靶材作用形成反应层,激发出的溅射原子NiCr打至GaAs表面,制作薄膜电阻.采用方块电阻为50Ω/块,通过调节长与宽的比值,研制出1~1000Ω电阻标准件.为消除电阻测量过程中芯片内部回路引线的影响,研制出相对应的短路器.通过组建具有温度控制系统的定标装置,在-40~100℃温度下对标准件进行定标,定标结果表明电阻标准件的阻值与温度具有良好的线性关系,短期重复性RSD优于0.05%,年稳定性RSD优于0.1%,可以有效解决现有在片测试系统低值电阻参数的整体校准问题.
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关键词
在片测试系统
校准
薄膜溅射法
电阻标准件
短路器
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职称材料
基于回波替代的毫米波矢量网络测试校准方法
被引量：
11
2
作者
苏江涛
郭庭铭
+2 位作者
杨保国
王翔
郑兴
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期77-84,共8页
毫米波频段矢量网络测试是射频半导体器件建模和电路设计中不可缺少的环节。提出了一种新型的旨在提高毫米波频段测试精度的校准方法。该方法通过反向注入回波的方式来降低毫米波频段矢量校准中传输线原始测量数据的不确定性,进而降低...
毫米波频段矢量网络测试是射频半导体器件建模和电路设计中不可缺少的环节。提出了一种新型的旨在提高毫米波频段测试精度的校准方法。该方法通过反向注入回波的方式来降低毫米波频段矢量校准中传输线原始测量数据的不确定性,进而降低了校准过程中对校准件精度的要求,获得了更具鲁棒性的校准误差模型参数。基于国产AV3672矢量网络分析仪在1～50 GHz内对该校准方法相较于传统校准方法的有效性进行了验证。采用这种方法校准后,直通校准件的S_(21)测试误差下降至0.02 dB,短路校准件S_(11)误差下降至-50 dB。实验结果证明,该方法在不依赖于昂贵的附加仪器仪表设备的同时,明显提升了毫米波矢量测试精度,而且算法复杂度并没有急剧增加,具备极强的实用性和通用性。
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关键词
校准技术
毫米波
测试
在片测试系统
矢量网络分析仪
器件模型
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职称材料
题名
用于在片测试系统整体校准的电阻标准件
被引量：
4
1
作者
丁晨
乔玉娥
刘岩
翟玉卫
郑世棋
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2019年第7期97-101,116,共6页
文摘
为解决在片测试系统中1~1000Ω电阻无法进行整体校准问题,通过采用GaAs材料作为衬底,利用半导体工艺中薄膜溅射法,使用轰击离子Ar+与靶材作用形成反应层,激发出的溅射原子NiCr打至GaAs表面,制作薄膜电阻.采用方块电阻为50Ω/块,通过调节长与宽的比值,研制出1~1000Ω电阻标准件.为消除电阻测量过程中芯片内部回路引线的影响,研制出相对应的短路器.通过组建具有温度控制系统的定标装置,在-40~100℃温度下对标准件进行定标,定标结果表明电阻标准件的阻值与温度具有良好的线性关系,短期重复性RSD优于0.05%,年稳定性RSD优于0.1%,可以有效解决现有在片测试系统低值电阻参数的整体校准问题.
关键词
在片测试系统
校准
薄膜溅射法
电阻标准件
短路器
Keywords
on-wafer test system
calibration
thin-film sputtering
resistance standard part
short device
分类号
TB971 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
基于回波替代的毫米波矢量网络测试校准方法
被引量：
11
2
作者
苏江涛
郭庭铭
杨保国
王翔
郑兴
机构
杭州电子科技大学电子信息学院
电子测试技术国防科技重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第1期77-84,共8页
基金
浙江省自然科学基金(LY17F010016
LY17F010017
+6 种基金
LZ17F010001
LQ15F010005)
国家自然科学基金(61727804
61701147
61827806
61871161)
装备预研重点实验室基金(61420010101)项目资助
文摘
毫米波频段矢量网络测试是射频半导体器件建模和电路设计中不可缺少的环节。提出了一种新型的旨在提高毫米波频段测试精度的校准方法。该方法通过反向注入回波的方式来降低毫米波频段矢量校准中传输线原始测量数据的不确定性,进而降低了校准过程中对校准件精度的要求,获得了更具鲁棒性的校准误差模型参数。基于国产AV3672矢量网络分析仪在1～50 GHz内对该校准方法相较于传统校准方法的有效性进行了验证。采用这种方法校准后,直通校准件的S_(21)测试误差下降至0.02 dB,短路校准件S_(11)误差下降至-50 dB。实验结果证明,该方法在不依赖于昂贵的附加仪器仪表设备的同时,明显提升了毫米波矢量测试精度,而且算法复杂度并没有急剧增加,具备极强的实用性和通用性。
关键词
校准技术
毫米波
测试
在片测试系统
矢量网络分析仪
器件模型
Keywords
calibration technique
mm-wave test
on-wafer measurement system
vector network analysis(VNA)
device model
分类号
TN015 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于在片测试系统整体校准的电阻标准件
丁晨
乔玉娥
刘岩
翟玉卫
郑世棋
《中国测试》
CAS
北大核心
2019
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于回波替代的毫米波矢量网络测试校准方法
苏江涛
郭庭铭
杨保国
王翔
郑兴
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
11
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职称材料
已选择
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引证文献
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