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复杂表面光学元件的超精密磨削加工及其在位砂轮精密修整技术
被引量：
7
1
作者
郭兵
赵清亮
+4 位作者
陈冰
王金虎
张春雨
吴明涛
潘永成
《航空制造技术》
2019年第9期24-35,共12页
微米级的面形精度和纳米级的表面粗糙度,以及由其表面结构所引起的加工千涉、轨迹限制、工具磨损、效率低下等一系列问题,都严重制约着复杂表面光学元件的实际应用。针对此,对多种典型复杂表面光学元件的超精密磨削加工技术进行了系统研...
微米级的面形精度和纳米级的表面粗糙度,以及由其表面结构所引起的加工千涉、轨迹限制、工具磨损、效率低下等一系列问题,都严重制约着复杂表面光学元件的实际应用。针对此,对多种典型复杂表面光学元件的超精密磨削加工技术进行了系统研究,提出了多种针对复杂表面磨削用金刚石砂轮的在位精密修整技术,并开发了一系.列的超精密磨削工艺。磨削加工后的单晶硅非球面表面粗糙度Ra<5nm,面形精度PV值<527nm/140mm;蓝宝石保形整流罩面形精度PV值<25μm/50mm;无结合剂碳化钨微结构表面粗糙度Ra<70nm。
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关键词
复杂表面
光学元件
超
精密
磨削加工
在位精密修整
金刚石砂轮
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职称材料
题名
复杂表面光学元件的超精密磨削加工及其在位砂轮精密修整技术
被引量：
7
1
作者
郭兵
赵清亮
陈冰
王金虎
张春雨
吴明涛
潘永成
机构
哈尔滨工业大学机电工程学院
湖南科技大学智能制造研究院
浙江工业大学超精密加工研究中心
出处
《航空制造技术》
2019年第9期24-35,共12页
基金
国家自然科学基金(51875135、51705148、51805484)
黑龙江省科学基金(B2018037)。
文摘
微米级的面形精度和纳米级的表面粗糙度,以及由其表面结构所引起的加工千涉、轨迹限制、工具磨损、效率低下等一系列问题,都严重制约着复杂表面光学元件的实际应用。针对此,对多种典型复杂表面光学元件的超精密磨削加工技术进行了系统研究,提出了多种针对复杂表面磨削用金刚石砂轮的在位精密修整技术,并开发了一系.列的超精密磨削工艺。磨削加工后的单晶硅非球面表面粗糙度Ra<5nm,面形精度PV值<527nm/140mm;蓝宝石保形整流罩面形精度PV值<25μm/50mm;无结合剂碳化钨微结构表面粗糙度Ra<70nm。
关键词
复杂表面
光学元件
超
精密
磨削加工
在位精密修整
金刚石砂轮
Keywords
Complex surfaces
Optical elements
Ultra-precision grinding
On-machine precision truing
Diamond grinding wheel
分类号
TG743 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
复杂表面光学元件的超精密磨削加工及其在位砂轮精密修整技术
郭兵
赵清亮
陈冰
王金虎
张春雨
吴明涛
潘永成
《航空制造技术》
2019
7
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