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接触电容式压力传感器的设计与模拟
1
作者
彭韶华
周闵新
+1 位作者
秦明
黄庆安
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第12期78-80,共3页
针对大气测量的气压计应用,根据接触电容式压力传感器的工作原理,优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证,最后讨论了这种结构的非线性度。
关键词
接触电容式压力传感器
圆形膜结构
ANSYS
非线性度
气压计
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职称材料
题名
接触电容式压力传感器的设计与模拟
1
作者
彭韶华
周闵新
秦明
黄庆安
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第12期78-80,共3页
文摘
针对大气测量的气压计应用,根据接触电容式压力传感器的工作原理,优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证,最后讨论了这种结构的非线性度。
关键词
接触电容式压力传感器
圆形膜结构
ANSYS
非线性度
气压计
Keywords
touch mode
capacitive pressure sensor
finite element
barometer
分类号
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
接触电容式压力传感器的设计与模拟
彭韶华
周闵新
秦明
黄庆安
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003
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