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基于主轴回转运动误差在线检测的二次相移三点法 被引量:4
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作者 李自军 洪迈生 +1 位作者 魏元雷 苏恒 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第4期319-323,共5页
提出了一种基于数据重组和反滤波的二次相移三点法圆度误差分离技术,可以先行分离出主轴的 回转运动误差,从而能够实现运动误差的在线检测。通过对三个传感器的测量数据按照二次相移原则 进行数据重组,可以在数据处理的首次操作时消... 提出了一种基于数据重组和反滤波的二次相移三点法圆度误差分离技术,可以先行分离出主轴的 回转运动误差,从而能够实现运动误差的在线检测。通过对三个传感器的测量数据按照二次相移原则 进行数据重组,可以在数据处理的首次操作时消除圆度形状误差的影响,从而在二次操作时先行得到运 动误差。权函数的对比分析表明该方法与圆度三点法在本质上的同源性和统一性。仿真与实验结果均 表明:该方法可以先后分离出运动误差和形状误差,具有良好的分离效果。 展开更多
关键词 二次相移三点法 圆度误差分离技术 数据重组 反滤波 在线检测 主轴 回转运动误差
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