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玻璃平面波导的热键合制备与界面扩散研究
1
作者
张春瑞
李顺光
+1 位作者
胡丽丽
何冬兵
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第12期293-299,共7页
铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导在散热和抑制非线性效应方面具有独特优势,可开发作为近红外1.5μm高平均功率固体激光器的增益介质,具有重要意义。文中应用光胶热键合方法制备铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导,研究了预键合阶梯升温过程对键合...
铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导在散热和抑制非线性效应方面具有独特优势,可开发作为近红外1.5μm高平均功率固体激光器的增益介质,具有重要意义。文中应用光胶热键合方法制备铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导,研究了预键合阶梯升温过程对键合质量的影响。通过电子探针表面分析(EPMA)得到键合温度和键合时间对键合界面分子扩散层厚度的影响,并根据Fick第二定律,探讨了一维等效假设下的芯层玻璃中的Yb^(3+)扩散机理,建立了热键合过程中的固-固界面分子扩散模型。最终通过选择最优的热处理工艺参数,得到了键合质量良好且键合强度达到11.63MPa的芯层厚度为100μm的三明治结构平面波导。
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关键词
铒镱共掺磷酸盐玻璃
平面波导
热键合
固-固界面扩散
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职称材料
题名
玻璃平面波导的热键合制备与界面扩散研究
1
作者
张春瑞
李顺光
胡丽丽
何冬兵
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
中国科学院大学材料与光电研究中心
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第12期293-299,共7页
基金
国家自然科学基金(61875216)。
文摘
铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导在散热和抑制非线性效应方面具有独特优势,可开发作为近红外1.5μm高平均功率固体激光器的增益介质,具有重要意义。文中应用光胶热键合方法制备铒镱共掺磷酸盐玻璃平面波导,研究了预键合阶梯升温过程对键合质量的影响。通过电子探针表面分析(EPMA)得到键合温度和键合时间对键合界面分子扩散层厚度的影响,并根据Fick第二定律,探讨了一维等效假设下的芯层玻璃中的Yb^(3+)扩散机理,建立了热键合过程中的固-固界面分子扩散模型。最终通过选择最优的热处理工艺参数,得到了键合质量良好且键合强度达到11.63MPa的芯层厚度为100μm的三明治结构平面波导。
关键词
铒镱共掺磷酸盐玻璃
平面波导
热键合
固-固界面扩散
Keywords
erbium
-
ytterbium co
-
doped phosphate glass
planar waveguide
thermal bonding
solid
-
solid interface diffusion
分类号
TB332 [一般工业技术—材料科学与工程]
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1
玻璃平面波导的热键合制备与界面扩散研究
张春瑞
李顺光
胡丽丽
何冬兵
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022
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