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以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式薄膜体声波谐振器性能仿真分析
被引量：
1
1
作者
陆晓欣
朱嘉琦
+4 位作者
王赛
刘罡
刘远鹏
袁欣薇
霍施宇
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第14期1872-1875,共4页
为了提高固贴式薄膜体声波谐振器(SMR)的电学和声学品质,实现四面体非晶碳(ta-C)在体声波器件领域的新应用,建立了以ta-C为布拉格反射栅高声阻抗材料的SMR模型,利用MathCAD仿真研究布拉格反射栅层数对该SMR的谐振特性的影响以及ta-C中sp...
为了提高固贴式薄膜体声波谐振器(SMR)的电学和声学品质,实现四面体非晶碳(ta-C)在体声波器件领域的新应用,建立了以ta-C为布拉格反射栅高声阻抗材料的SMR模型,利用MathCAD仿真研究布拉格反射栅层数对该SMR的谐振特性的影响以及ta-C中sp3杂化含量和高/低声阻抗层厚度偏差对SMR的品质因子(Q值)的影响。结果表明层数的增加提高了SMR的品质;ta-C薄膜sp3杂化含量越高,达到饱和Q值所需层数越少,当含量为80%时,至少需要6层(3对)布拉格反射层使SMR达到优异Q值;距离压电堆越近的高/低声阻抗层,其厚度偏差对Q值的影响越大,从而实现了高频率(8GHz)低损耗的SMR的设计。
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关键词
固贴式薄膜体声波谐振器
四面
体
非晶碳
布拉格反射栅
品质因子
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职称材料
固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展
被引量：
8
2
作者
刘罡
朱嘉琦
+4 位作者
王赛
陆晓欣
刘远鹏
霍施宇
袁欣薇
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期1233-1241,共9页
固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术,具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性.基于其独特的优越性,固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点,...
固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术,具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性.基于其独特的优越性,固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点,并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用,例如作为基本单元用来制作滤波器、双工器和振荡器等第三代无线通信系统中的频率选择器件.器件选用的材料体系是决定器件性能的关键因素.本文以器件结构为线索,综述了固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系的研究进展,包括压电薄膜(氮化铝、氧化锌等)、高/低声阻抗材料以及电极薄膜,讨论了材料性能和器件性能的关系,并对材料体系下一步的研究方向进行了展望。
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关键词
固贴式薄膜体声波谐振器
压电
薄膜
布拉格反射栅
电极
薄膜
综述
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职称材料
题名
以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式薄膜体声波谐振器性能仿真分析
被引量：
1
1
作者
陆晓欣
朱嘉琦
王赛
刘罡
刘远鹏
袁欣薇
霍施宇
机构
哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第14期1872-1875,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51072039
50972031)
+1 种基金
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-10-0070)
黑龙江省自然科学基金资助项目(QC2009C56)
文摘
为了提高固贴式薄膜体声波谐振器(SMR)的电学和声学品质,实现四面体非晶碳(ta-C)在体声波器件领域的新应用,建立了以ta-C为布拉格反射栅高声阻抗材料的SMR模型,利用MathCAD仿真研究布拉格反射栅层数对该SMR的谐振特性的影响以及ta-C中sp3杂化含量和高/低声阻抗层厚度偏差对SMR的品质因子(Q值)的影响。结果表明层数的增加提高了SMR的品质;ta-C薄膜sp3杂化含量越高,达到饱和Q值所需层数越少,当含量为80%时,至少需要6层(3对)布拉格反射层使SMR达到优异Q值;距离压电堆越近的高/低声阻抗层,其厚度偏差对Q值的影响越大,从而实现了高频率(8GHz)低损耗的SMR的设计。
关键词
固贴式薄膜体声波谐振器
四面
体
非晶碳
布拉格反射栅
品质因子
Keywords
solidly mounted resonator； tetrahedral amorphous carbon； Bragg reflector； quality factor
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展
被引量：
8
2
作者
刘罡
朱嘉琦
王赛
陆晓欣
刘远鹏
霍施宇
袁欣薇
机构
哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期1233-1241,共9页
基金
国家自然科学基金(51072039)
高等学校博士点学科专项科研基金(200802131006)
黑龙江省自然科学青年基金(QC2009C56)~~
文摘
固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术,具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性.基于其独特的优越性,固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点,并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用,例如作为基本单元用来制作滤波器、双工器和振荡器等第三代无线通信系统中的频率选择器件.器件选用的材料体系是决定器件性能的关键因素.本文以器件结构为线索,综述了固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系的研究进展,包括压电薄膜(氮化铝、氧化锌等)、高/低声阻抗材料以及电极薄膜,讨论了材料性能和器件性能的关系,并对材料体系下一步的研究方向进行了展望。
关键词
固贴式薄膜体声波谐振器
压电
薄膜
布拉格反射栅
电极
薄膜
综述
Keywords
solidly mounted film bulk acoustic resonators
piezoelectric film
Bragg reflector
electrode film
review
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式薄膜体声波谐振器性能仿真分析
陆晓欣
朱嘉琦
王赛
刘罡
刘远鹏
袁欣薇
霍施宇
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展
刘罡
朱嘉琦
王赛
陆晓欣
刘远鹏
霍施宇
袁欣薇
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
8
在线阅读
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职称材料
已选择
0
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引证文献
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